フロンティア材料研究室
教授　齋藤和也

RecordID：2001144

掲載年度	2001
題目	Study of defect formation/relaxation processes in Ge-doped SiO2 by ArF laser irradiation
発表区分	Proceedings
著者	Makoto Yamaguchi Kazuya Saito Akira J. Ikushim
掲載誌	出版者 SPIE 掲載誌名 Proceedings of SPIE, Design, Fabrication, and Characterization of Photonic Devices Ⅱ ISBN/ISSN 巻（vol.）　号（No.）　頁（pp.）300-307 発行年月日 2001