| 掲載年度 |
1999 |
| 題目 |
VUV transmittance of fused silica glass influenced by thermal disorder |
| 発表区分 |
Proceedings
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| 著者 |
Noriaki Shimodaira（Asahi Glass Co. Ltd.）
Kazuya Saito
Akira J. Ikushima
Toru Kamihori（Asahi Glass Co. Ltd.）
Shuhei Yoshizawa（Asahi Glass Co. Ltd.）
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| 掲載誌 |
出版者 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
掲載誌名 Proceedings of SPIE on Microlithography
ISBN/ISSN
巻（vol.）4000 号（No.） 頁（pp.）1553-1559
発行年月日 1999
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