原著論文

光機能物質
教授 大石泰丈

RecordID:2013776

掲載年度 2014
題目 Etching Profile Control of Alignment Spring for Combining MEMS Micro-Channel Device and Optical Fibers
発表区分 原著論文
著者 佐々木 実
Hikaru IIMURA(マイクロメカトロニクス)
ディンハン デン
大石泰丈
熊谷慎也
掲載誌 出版者 JPS
掲載誌名 Proceedings of the 12th Asia Pacific Physics Conference JPS Conf. Proc.
ISBN/ISSN
巻(vol.) 号(No.) 頁(pp.)015071
発行年月日 2014