原著論文

半導体
講師 小島信晃

RecordID:2003161

掲載年度 2003
題目 HIGH- SPEED GROWTH OF SILICON THIN FILMS BY EBEP-CVD USING SI2H6
発表区分 Proceedings
著者 Yagi Yasutaka(修士2)
Motegi Hideaki(2001修士修了・矢崎総業)
Yoshio Ohshita
Masafumi Yamaguchi
Nobuaki Kojima
掲載誌 出版者
掲載誌名 Proc. of the 3rd World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, WCPEC-3
ISBN/ISSN
巻(vol.) 号(No.) 頁(pp.)1667-1670
発行年月日 2003