原著論文

半導体
講師 小島信晃

RecordID:2002124

掲載年度 2002
題目 A comprehensive electron paramagnetic resonance study of influence of annealing on defect center in phosphorus ion-implanted C60 films
発表区分 原著論文
著者 N. F. Fahim (National Research Center)
Nobuaki Kojima
Masafumi Yamaguchi
Yoshio Ohshita
A. Eid (National Research Center)
B. Barsoum (Cairo University)
掲載誌 出版者
掲載誌名 Materials Science in Semiconductor Processing
ISBN/ISSN
巻(vol.)5 号(No.)6 頁(pp.)483-490
発行年月日 2002