原著論文

機械創成
教授 古谷克司

RecordID:2015726

掲載年度 2017
題目 Two-Dimensional Displacement Control of Piezoelectric Actuator Stage Driven by Series of Current Pulses
発表区分 原著論文
著者 Katsushi Furutani
Atsushi Sakata(*)
掲載誌 出版者 電気学会
掲載誌名 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
ISBN/ISSN 1341-8939
巻(vol.)138 号(No.)1 頁(pp.)30-36
発行年月日 2018/01/05