原著論文

機械創成
教授 古谷克司

RecordID:2005055

掲載年度 2005
題目 Application of AZARASHI (Seal) Mechanism to Fine Motion Stage of Atomic Force Microscope
発表区分 Proceedings
著者 Katsushi Furutani
Katsumi Kawagoe(2003年度修士修了・現不二越)
Yoshitaka Mieda
掲載誌 出版者 Japan Society of Mechanical Engineers
掲載誌名 The 3rd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21),
ISBN/ISSN
巻(vol.)3 号(No.) 頁(pp.)975-980
発行年月日 2005