原著論文

機械創成
教授 古谷克司

RecordID:1999154

掲載年度 1999
題目 XYZ-stage for Scanning Probe Microscope by Using Parallel Mechanism
発表区分 Proceedings
著者 k. Yamakawa(H10修士修了)
光洋精工)
Katsushi Furutani
N. Mohri
掲載誌 出版者
掲載誌名 Proceedings of the 1999 ASME Design Engineering Technical Conferences (DETC99/ MOVIC)
ISBN/ISSN
巻(vol.) 号(No.) 頁(pp.)8425/1-6
発行年月日 1999