総説

機械創成
教授 古谷克司

RecordID:2017320

掲載年度 2019
題目 多相空気流や超音波浮揚による薄板の非接触搬送 クリーン環境における薄板搬送
研究者 古谷克司
掲載誌 出版者 日本工業出版
掲載誌名 油空圧技術
巻(vol.)59 号(No.)3 頁(pp.)13-17
出版年月日 2020/03/01