総説

機械創成
教授 古谷克司

RecordID:2017191

掲載年度 2019
題目 多相空気流や超音波浮揚による薄板の非接触搬送 =クリーン環境における薄板搬送=
研究者 古谷克司
掲載誌 出版者 日本興業出版
掲載誌名 超音波TECHNO
巻(vol.)31 号(No.)6 頁(pp.)97-100
出版年月日 2019/12/01