| 掲載年度 |
2013 |
| 種類 |
国外
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| 学会名 |
Abstracts of The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12) |
| 発表題目 |
Etching profile control of alignment spring for combining MEMS micro-channel device and optical fibers |
| 発表者 |
佐々木 実
H. Iimura（マイクロメカトロニクス）
ディンハン デン
熊谷慎也
大石泰丈
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| 主催団体 |
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| 発表場所 |
幕張メッセ |
| 発表日 |
2013/07/14
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| 講演内容 |
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