学会発表

半導体
講師 小島信晃

掲載年度 2012
種類 国内
学会名 第9回次世代の太陽光発電システムシンポジウム
発表題目 SiNx:H膜の界面特性に対する高速熱処理の影響
発表者 小島拓人
上甲朋広
青木真理
竹内重富
小島信晃
大下祥雄
主催団体 日本学術振興会 産学協力研究委員会 第175委員会
発表場所 京都テルサ
発表日 2012/05/31
講演内容