学会発表

半導体
講師 小島信晃

掲載年度 2012
種類 国内
学会名 第73回応用物理学会学術講演会(2012秋季)
発表題目 SiNx:H膜のp型単結晶シリコンに対するパッシベーション性能への高速熱処理の影響
発表者 小島拓人
小田裕貴
高井大輔
小島信晃
大下祥雄
山口真史
主催団体 公益社団法人 応用物理学会
発表場所 愛媛大学城北地区、松山大学文京キャンパス
発表日 2012/09/13
講演内容