| 掲載年度 |
2011 |
| 種類 |
国外
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| 学会名 |
19th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy |
| 発表題目 |
Thickness measurement of oxide nanostructures buried in a semiconductor surface |
| 発表者 |
Fumihiko Yamada
Itaru Kamiya
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| 主催団体 |
日本応用物理学会 薄膜・表面物理分科会 |
| 発表場所 |
北海道 |
| 発表日 |
2011/12/19
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| 講演内容 |
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