マイクロメカトロニクス研究室
ＰＤ研究員　ハン　ガン

掲載年度	2021
種類	国内
学会名	第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発表題目	シリコンハードマスクを用いたステンレス鋼のドライエッチング
発表者	ハン　ガン
主催団体
発表場所	オンライン
発表日	2021/11/09
講演内容