マイクロメカトロニクス研究室
ＰＤ研究員　ハン　ガン

掲載年度	2021
種類	国外
学会名	ISPlasma2022
発表題目	Deposition of PFCs Films on Die with Microstructures using CF4 Gas
発表者	ハン　ガン
主催団体
発表場所
発表日	2022/03/07
講演内容