学会発表

電子デバイス
教授 岩田直高

掲載年度 2016
種類 国内
学会名 第77回応用物理学会秋季学術講演会
発表題目 プラズマ励起原子層堆積プラズマ励起原子層堆積保護膜によるAlGaN/GaN HEMTの表面安定化
発表者 鈴木貴之
山田富明
河合亮輔
川口翔平
張東岩
岩田直高
主催団体 応用物理学会
発表場所 朱鷺メッセ (新潟県新潟市)
発表日 2016/09/16
講演内容