学会発表

電子デバイス
教授 岩田直高

掲載年度 2015
種類 国内
学会名 第63回応用物理学会春季学術講演会
発表題目 Excellent Surface Passivation of Crystalline Silicon by Atomic Layer Deposition AlxMg1-xOy Thin Films
発表者 Lee Hyunju
Takefumi Kamioka
Zhang Dongyan
Naotaka Iwata
Yoshio Ohshita
主催団体 応用物理学会
発表場所 東京工業大学 大岡山キャンパス
発表日 2016/03/21
講演内容 Excellent Surface Passivation of Crystalline Silicon by Atomic Layer Deposition AlxMg1-xOy Thin Films