学会発表

電子デバイス
教授 岩田直高

掲載年度 2018
種類 国内
学会名 第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表題目 Mgイオン注入GaNのフラッシュランプアニールによる活性化
発表者 大森雅登(名大未来研)
山田隆泰(SCREENセミコンダクターソリューションズ)
谷村英昭(SCREENセミコンダクターソリューションズ)
加藤慎一(SCREENセミコンダクターソリューションズ)
岩田直高
塩崎宏司(名大未来研)
主催団体 応用物理学会
発表場所 名古屋国際会議場
発表日 2018/09/18
講演内容 Mgイオン注入GaNのフラッシュランプアニールによる活性化