学会発表

機械創成
教授 古谷克司

掲載年度 2011
種類 国内
学会名 2012年度精密工学会春季大会学術講演会
発表題目 電流パルスによる圧電アクチュエータステージの変位制御
発表者 坂田敦伺(修士2年)
古谷克司
主催団体 精密工学会
発表場所 東京都八王子市,首都大学東京・南大沢キャンパス
発表日 2012/03/14
講演内容 本研究では,電流パルスによる圧電アクチュエータの駆動を提案している.電圧駆動と⽐較してヒステリシスが⼩さくオープンループ制御が可能である.また,電流パルスの⼊⼒を最適化することで残留振動が低減できることがわかっている.本報では,オープンループ制御で電圧駆動と電流パルス駆動を⽤いてステージを駆動し,位置決め精度を⽐較することで,電流パルス駆動の有効性について述べる.