著書

半導体
教授 大下祥雄

RecordID:2017303

掲載年度 2019
種類 国内
書名 2020版薄膜作製応用ハンドブック
著者 大下祥雄
編集者
監修者
權田俊一(*)
編集
監修
出版 出版者:株式会社エヌ・ティー・エス
ISBN/ISSN 978-4-86043-631-5
巻(vol.) 号(No.) 頁(pp.)403-407
出版年月日 2020年02月14日
執筆担当箇所

第2編薄膜の作製と加工、第3章CVD法、第1節熱CVD法、5.ポストスケーリング用材料(有機分子を原料とした熱CVD)

共著者 共著