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教授　佐々木 実（Minoru Sasaki ／ ササキ　ミノル）

業績

年度 講演名 講演者 講演題目 講演日
2022 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 佐々木 実　 Respiration Sensor Measuring Capacitance Built Across Skin and Fine Patterning Technique on Flexible Film 2022年11月09日
2021 第34回マルチモーダルバイオイメージセンサ研究会 佐々木 実　 皮膚の性質を利用したウェアラブル呼吸センサと、曲面・立体への微細加工 2021年11月17日
2021 The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Short Course 1: Key Technologies Available in Nanofabrication Centers Worldwide SC1-1T5 Minoru Sasaki　 LITHOGRAPHY ON NON-FLAT 3-D SURFACE 2021年06月20日
2020 第２ 回「新産業創出に向けたマイクロセンサデバイス 」 研究会 佐々木 実　 ウェアラブル呼気センサ 2020年12月14日
2020 31st IEEE International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science Minoru Sasaki　 Respiration Sensor Sewn Inside Belly Band Measuring Capacitance Built Across Skin Allowing Walking Activity 2020年12月07日
2019 2019 年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム シンポジウム 佐々木 実　 曲面・立体への３次元フォトリソグラフィ微細加工 2020年03月06日
2019 The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2019) Minoru Sasaki　 MEMS-Approaches for Controlling Infrared Thermal Energy in Light Source and Detector 2019年11月07日
2019 3rd International Conference on Photonics Research (Inter Optics 2019) Minoru Sasaki　 MEMS-BASED INFRARED LIGHT SOURCE AND DETECTOR 2019年11月04日
2019 2019 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) Minoru Sasaki　 Wearable Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin Allowing Walking Motion 2019年09月05日
2019 (公財)金型技術振興財団　令和元年度　研究成果発表会（第１９回） 佐々木 実　 金型曲面のフォトリソグラフィ微細加工 2019年07月26日
2018 The 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2018) Minoru Sasaki　 Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for Gas Sensing 2018年04月23日
2017 第65回 応用物理学会春季学術講演会　特別シンポジウム 佐々木 実　 MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサ 2018年03月18日
2017 第７回　可視赤外線観測装置技術ワークショップ 佐々木 実　 MEMS技術（曲面への反射防止微細パターン転写、他） 2017年11月17日
2017 The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA) Minoru Sasaki　 Fabrication of Trench Having Smooth Sidewall at Nano-level 2017年11月10日
2016 2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics Minoru Sasaki　 Silicon MEMS for Two Different Light Sources 2016年08月02日
2016 2016 Collaborative Conference on 3D & Materials Research Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai　 3D devices realized by photolithography using spray coating of photoresist 2016年06月22日
2015 The 9th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2015) 佐々木 実、 熊谷慎也　 Unconstrained Wearable Respiratory Sensor Across Skin 2015年12月08日
2015 The 5th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2015) 佐々木 実、 熊谷慎也　 Wavelength Selective IR Emitter Using MEMS Microheater for CO2 Monitoring 2015年11月14日
2015 15th International Meeting on Information Display Shinya Kumagai、 I. Yamashita（NAIST）、 Y. Uraoka（NAIST）、 Minoru Sasaki　 Bio-Nano Crystallization of Amorphous Si Thin-Film for MEMS Devices 2015年08月
2015 平成27年　電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　20周年企画　パネルディスカッション 佐々木 実　 研究者・技術者のためのE部門の活用方法を考えよう 2015年07月02日
2014 International Conference on Small Science (ICSS 2014) 佐々木 実、 熊谷慎也　 MEMS Plasma Source and Combinations with Microfluidic Functions 2014年12月10日
2014 The 8th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2014) 佐々木 実、 熊谷慎也　 3D processing using resist spray coating or microplasma nozzle 2014年12月01日
2013 第61回応用物理学会春季学術講演会　 熊谷慎也、 山下一郎（奈良先端科学技術大学院大学）、 浦岡行治（奈良先端科学技術大学院大学）、 佐々木 実　 バイオナノプロセスのMEMS応用 2014年03月18日
2013 Photonics West 2014 佐々木 実、 熊谷慎也　 MEMS Infrared Approaches to Detector Based on Nonlinear Oscillation and Wavelength Selective Emitter Using Surface Plasmon Polariton 2014年02月06日
2013 The 7th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2013) 佐々木 実、 熊谷慎也　 Advanced Thermal MEMS for Resonant Infrared Detector Using Nonlinear Oscillation and Wavelength Selective Emitter Using Surface Plasmon Polariton 2013年12月03日
2013 The 4th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2013) 佐々木 実、 熊谷慎也　 MEMS Plasma Source and its Applications 2013年11月15日
2013 第3回次世代ものづくり基盤技術産業展 Tech Biz Expo 2013 佐々木 実　 マイクロ・ナノ構造を利用した大気圧プラズマ紫外光源とプラズモニック赤外光源 2013年10月11日
2012 The 6th Internatinal Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2012) 佐々木 実、 熊谷慎也　 Indirect Plasmonic Thermal MEMS Emitter for Gas Sensing 2012年12月03日
2012 The 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 佐々木 実、 熊谷慎也　 Micromachining techniques for wider variety of 3D devices 2012年11月01日
2011 レーザー学会学術講演会第32回年次大会 熊谷慎也、 佐々木 実　 レジストのスプレー成膜と斜め露光を用いた立体加工 2012年01月30日
2011 Electromagnetically Energized Wireless Driving of Micromirror 佐々木 実　 2011年12月06日
2011 Reflection-type Wavelength Selective IR Emitter Using Surface Plasmon Polariton for Gas Sensing Minoru Sasaki　 2011年11月12日
2010 The 17th International Display Workshops, MEET2-3 Minoru Sasaki　 Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror 2010年12月02日
2010 独立行政法人 日本学術振興会 将来加工技術第136委員会 研究会 佐々木 実　 機械加工とリソグラフィ加工をつなぐ３次元リソグラフィ 2010年04月23日

プロフィール

学位 博士(工学)  
生年月日 年齢
所属研究室 マイクロメカトロニクス研究室
研究分野 立体部品への微細加工（三次元フォトリソグラフィ）、MEMS
URL http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
最終学歴 名古屋大学 大学院工学研究科博士課程
職歴 豊田工業大学 教授　（2007年04月～現在）
東北大学大学院工学研究科 助教授　（2001年11月～2007年03月）
東北大学大学院工学研究科　 講師　（2000年07月～2001年10月）
東北大学工学部　助手　（1996年01月～2000年07月）
日本学術振興会　特別研究員(PD)　（1995年04月～1995年12月）
主な研究論文 ・N. Nobunaga, S. Kumagai, M. Sasaki, "Bipolar Electrostatic Driving of Isolated Micro-Resonator for Sensing High Voltage of Battery Output with Resolution" Int. J. Automation Tech., Vol.16 No.4 (2022) pp.464-470.
・M. Karita, S. Kumagai, M. Sasaki, "Respiration Monitoring During 6-min Walk Using Wearable Sensor Measuring Capacitance Built Across Skin", Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 61 (2022) SA1010.
・T. Yamamoto, H. Kubo, S. Kumagai, S. Saito, F. Sahara, K. Wasa, M. Sasaki, "Patterning vertical sidewall for optical assembly", J. Optical Microsystems, Vol. 1, No. 2 (2021) 023501.
・佐々木実, 弓削英翔, 鈴木大瑛「フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成　― テクスチャリング用レリーフの一括形成 ―」日本塑性加工学会論文誌「塑性と加工」Vol. 60, No.702, pp.195-202 (2019-7)
・T.-T.-N. Nguyen, M. Sasaki, H. Odaka, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Hori, “Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass，J. Appl. Phys. Vol. 125, pp. 063304（2019）
・H. Ishihara, K. Masuno, M. Ishii, S. Kumagai, M. Sasaki, “Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for CO2 Gas Sensing, Materials，10 (9), No. 1085, pp. 2017
・和田祐樹，延永尚記，熊谷慎也，石原裕己，石居真，佐々木実, “MEMS 振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化，電気学会論文誌E Vol. 137, No. ８, pp. 239-244 （2017）
学会活動 ・（公財）科学技術交流財団 第１回「三次元リソグラフィと精密加工技術の融合」研究会 座長
・2018 Program Committee of Solid State Devices and Materials, Area 7 Organic / Molecular / Bio-electronics
・2018 Guest Editor, MDPI Micromachines, Special Issue on "Advanced MEMS/NEMS Technology"
・2022年度～　塑性加工学会　金型分科会　幹事
・2018年4月～ 電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム（MSS）技術委員会 委員長
・2013 General Chair of IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
・2010年5月～2013年4月（社）電気学会 スマートグリッド特別研究グループ E部門委員
・2009～2010年度 JSTイノベーションプラザ東海「マイクロシステム応用研究会」座長
社会活動（研究に関する学会活動以外） 日本機械学会 東海支部「小中学生のためのハイテクイベント」2011.8.2 への出展
文部科学省 ナノテクノロジープラットフォーム　2012-2021年度　微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム 実施責任者
文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ　2021-2030年度　実施責任者 
学内運営（委員会活動等） ナノテクノロジープラットフォーム運営部会 議長 2012-2021年度
マテリアル先端リサーチインフラ運営部会 議長 2022年度から 
担当授業科目 学部：機械振動学、特別講義（台湾中興大学とオンライン接続）、機構学、工学実験 
修士：微小機械学aおよびb、機械力学 
教育実践上の主な業績 １　教育内容・方法の工夫（授業評価等を含む）

機械振動学（2019-2021年度）
2014年度から立ち上げた機械振動学の授業を改善してきた。中間テストは解答を詳細に説明して、後半の学びに支障が生じ難いように配慮した。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。コロナ禍にてオンライン授業を組み合わせるようになったこともあり、毎回の授業のポイントを明示し、出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

工学実験（2019-2021年度）
「連続体の振動」を担当した。機械振動学の内容と接続を高め、理解し易くした。2020年の学生が出校不可になった時期でも、自宅で手配できる広告紙を用いて、振動モードの節について妥当な実験結果が得られることで実験を行った。出校可になった後は、振動子の材料バリエーションを増やす工夫を加えた。

機構学（2019-2021年度）
2019年度から新しく授業担当となった。学生の興味を出させること、理解を促進させること、を目指して教科書を変更した。中間テストも用意して、歯車機構までを授業でカバーした。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

特別講義（エネルギー関係）（2019-2021年度）
特別講義2回分（台湾 中興大と共同web配信）の授業内容を更新し、レポート課題を毎回新しくした。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

機械力学特論（2019-2021年度）
前半は英語テキストを使い、後半は日本語テキストとMatlabを利用した。各人の計算機を利用してFEM解析の基礎を学ぶ。少しずつ後半の内容を充実させた。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

微小機械学 aおよびb（2019-2021年度）
微小機械学の授業内容を更新した。2017年度からaとbの各々1単位科目に分け、クオーター制に対応した。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

創造性開発セミナー（2019-2021年度）
創造性開発セミナーを進める学生に、付き添う形でコメント等をした。担当となった機構学の知見が、アドバイス内容に関係するようになた。

マイクロメカトロニクスセミナー（2019-2021年度）
修士学生（ダブルディグリー学生を含む）の研究テーマに合わせて、基礎となる学術部分の学習を行った。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。


２　作成した教科書、教材、参考書

機械振動学（2019-2021年度）
2020年以降は主にGoogle classに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

工学実験（2019-2021年度）
「連続体の振動」実験テキストを推敲した。高校レベルからの前提となる基礎を復習して実験に臨むことで位置付けを明確にした。振動を引き起こす力の強いアクチュエータを見つけたことで、振動振幅が大きくなり、学生には見易くなった。

機構学（2019-2021年度）
2020年以降は主にGoogle classに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。

特別講義（エネルギー関係）（2019-2021年度）
学生に配布する講義資料を推敲した。2022年度は、学生が解けなかった課題に対して、解答を台湾の中興大にも示した。

機械力学特論（2019-2021年度）
2020年以降は主にGoogle classに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

微小機械学 aおよびb（2019-2021年度）
学生に配布する講義資料を推敲した。2020年以降は主にGoogle classに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。


３　教育方法・教育実践に関する発表、講演等

該当なし


４　その他教育活動上特記すべき事項

社会人向け実習・講習会（有料、例年9月開催、定員約40名満員）（2019年度）
熱電対デバイスの試作テーマを立ち上げ、毎年少しずつ内容とテキストを改善した。「MEMSセンサと製作プロセス －車載･人検出センサ－」のテーマにて講演を行う。関係教員が減ったため、講演だけでなく実習でも電子ビーム蒸着の担当をこなした（2019年度は名古屋大学の支援員の協力を受けた。実習のための事前指導を行った。）。

マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）学生研修（2022年度）
他大学学生（徳島大学の学生１名）向けの実習を３日間受け入れた。

社会人向け実習・講習会（有料、2019年度は3/4-5の1回）
マスクレスリソグラフィによる小規模講習会を行った。試作サンプルのCADデザインを工夫することで、撥水パターンの領域をほぼウェハ全面に用意できるように改良した。また、利用する撥水剤の薬品を、新しいものを試して使った。毎回、受講者の要望を汲取って、実習内容を改善している。

ナノテクPFのナノ・マイクロ加工実践セミナー実習コース（無料、2020年の2/27, 3/3, コロナ対策で実験キット送付の３回）（2019年度）
バイオ応用向けマイクロ流路試作に本学が対応できるようにするため、小規模講習会を行った。企業から２名、他大学教員１名が参加。

オープンキャンパスでの授業と実験（7/14）（2018年度）
オープンキャンパスの中で「小さなセンサが拓く世界」の授業を行った。加速度センサの簡単な実験を合わせて実施した。

高校生向け授業と実験 2019は7/23と10/19、2022は9/24（2019, 2022年度）
2015年度に「加速度センサ」実験テーマを立ち上げたが、これを大幅改良した。以前は、市販の加速度センサを電気配線して利用する内容で、高校生向け実験としては長時間の用意とコストがかかった。これを、スマートフォンに内蔵されているものでできるようにした。スマートフォンは中古品を入手し、フリーWifiを使ってアプリをインストールした。より良いアプリに変えるなど、高校生にとって、より馴染み易いテーマに変更できた。

１年生（Eグループ）むけアカデミックアドバイザー（2021年度）

ナノテクPF技術支援員（新人）の技術指導（2019-2021年度）
2018年6月に入職した、アルバイト雇用の技術支援員を技術指導した。週2-3日ながら、毎回の仕事内容を設定した。特に、ナノテクの代表である電子ビーム描画装置の操作を習得してもらい、名古屋大学や企業向け支援に対応できるようにした。その後も、技能を高め、2020年度に専門技術者の称号を付与された。

サマーセミナーでのベトナム学生１名を受け入れ（2019年度）
「振動計測（微小振動子の応用を目指して）」のテーマで、実験と考察を指導した。
サマーセミナー（オンライン形式）にて「MEMS sensors and microfabrication」のテーマで講演とオンラインごしにスマートフォンを使った実験を実施（2022年度）

文科省ナノテクPF微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
第10回技術セミナー（2021.11.24）チュートリアル「マイクロアクチュエータの基礎」講師
第8回技術セミナー（2021.8.25）「SiのCVDと薄膜利用MEMS」講師
文科省ナノテクPF微細加工シンポジウムにて「曲面・立体への３次元フォトリソグラフィ微細加工」を発表。（2020年3月6日）

応用物理学会春季学術講演会における、半導体Bからの分科企画シンポジウム世話人代表（2019年度）
シンポジウムタイトル「生産現場での活用が進むIoTデバイス技術(2020.3.12)」は新型コロナ感染症拡大防止で予稿集配布で発表扱い、「IoTの発展を支える集積化システム (2019. 3. 10)」では自身も発表。

電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム（MSS）技術委員会 委員長（2018から2023年度まで）
年4回程度開催する研究会いは、実行委員として参画。特に、2020.7.6-7のE部門総合研究会は、電気学会でも早期のオンライン開催の研究会となり、その最高責任者である実行委員長を担った。2023年度では豊田工業大学にてリアル開催を目指して準備中。 
その他

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