| 年度 |
学会名 |
発表者 |
発表題目 |
発表日 |
| 2022 |
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 14P4-D-3 |
久野友滉、 ハン ガン、 佐々木 実 |
シリコン貫通格子の細線化 |
2022年11月14日 |
| 2022 |
「三次元リソグラフィと精密加工技術の融合」研究会 |
佐々木 実 |
三次元フォトリソグラフィ加工技術の話題提供 #1 |
2022年07月05日 |
| 2022 |
電子実装工学研究所 接合界面創成技術研究会 第39回研究会 |
佐々木 実 |
レジスト膜接合による曲⾯３次元リソグラフィの研究現況 |
2022年06月12日 |
| 2022 |
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, MSS-22-043, pp.93-96 |
伊東⼋重、 佐々木 実 |
正・逆熱電効果を利⽤した薄膜デバイス |
2022年06月07日 |
| 2022 |
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, MSS-22-028, pp.13-18 |
阪井拓、 佐々木 実 |
⾚外線レンズ⽤モスアイ微細構造付き凹曲⾯⾦型 |
2022年06月07日 |
| 2022 |
2022年度塑性加工春季講演会[511] pp.183-184 |
池ヶ谷巧、 佐々木 実 |
翼用リブレット形成のためのプレス金型曲面の微細加工 ―三次元フォトリソグラフィによる曲面加工― |
2022年06月04日 |
| 2022 |
10th Asia-Pacific Conf. Transducers and Micro-Nano Technology, A0131, pp.51-52 |
G. Han、 S. Fujita、 M. Watanabe、 Minoru Sasaki |
Solid Lubricant Film on Deep Micro-textured Die to Transfer Pyramidal Structure on Metal Element for Generating Lotus Effect |
2022年05月31日 |
| 2022 |
10th Asia-Pacific Conf. Transducers and Micro-Nano Technology, A0148 |
Masafumi Miyake、 Shigenori Saito、 Minoru Sasaki |
Transferring Fine Pattern to Pipe Inner Wall for Reducing Flow Resistance |
2022年05月31日 |
| 2021 |
令和4年電気学会全国大会 |
佐々木 実 |
電力管理のための絶縁型MEMSリング電圧センサ |
2022年03月23日 |
| 2021 |
14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials(ISPlasma2022)/ 15th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science(IC-PLANT2022) |
Gang Han、 Masaya Watanabe、 Seiya Fujita、 佐々木 実 |
Deposition of PFCs Films on Die with Microstructures using CF4 Gas |
2022年03月07日 |
| 2021 |
The 13th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT2021) and The 3rd Asian Pacific Symposium on Technology of Plasticity (APSTP2021) |
Yuta Yamada、 Shigenori Saito、 佐々木 実 |
Fine Grating on Thin Metal Wire or Foil Filament for Controlling Its Thermal Radiation |
2021年11月04日 |
| 2021 |
2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration |
Tomoya Onuki、 Shigenori Saito、 Minoru Sasaki |
Uniform resist film on chip substrate prepared by bonding film coated on sheet |
2021年10月06日 |
| 2021 |
令和3年度E部門総合研究会 |
盧柱亨、 高井治、 元廣友美、 佐々木 実 |
超電導電力貯蔵装置を小型化するための100m超かつ平滑な渦巻溝形成 |
2021年07月26日 |
| 2021 |
The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems |
Takayuki Kuroyanagi、 Shigenori Saito、 Minoru Sasaki |
FINE PATTERNING ON 3D SAMPLE WITH CURVATURE AND DEPTH USING RESIST SHEET WITH LATENT IMAGE |
2021年06月25日 |
| 2021 |
2021年度塑性加工春季講演会 |
山田雄大、 佐々木 実 |
ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工 |
2021年06月04日 |
| 2020 |
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science |
Momoko Karita、 Shinya Kumagai（名城大学*）、 Minoru Sasaki |
Respiration Sensing Measuring Capacitance Built Across Skin Stabilized Against Twisting Motion While Walking |
2021年03月10日 |
| 2020 |
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science |
Thi-Thuy-Nga Nguyen（名古屋大学*）、 Minoru Sasaki、 Takayoshi Tsutsumi（名古屋大学*）、 Kenji Ishikawa（名古屋大学*）、 Masaru Hori（名古屋大学*） |
Design of removal process of SnO2 on glass by H2/Ar plasma at atmospheric pressure and medium pressure |
2021年03月09日 |
| 2020 |
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science |
Seiya Fujita、 Minoru Sasaki |
Additional pattern etching of microtextured die for higher aspect ratio |
2021年03月08日 |
| 2020 |
13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science |
Gang Han、 Minoru Sasaki |
Microtextured Die Using Silicon Stencil Mask for Antibacterial Effect |
2021年03月08日 |
| 2020 |
73rd Annual Gaseous Electronics Virtual Conference |
Thi-Thuy-Nga Nguyen（名古屋大学*）、 Minoru Sasaki、 Hidefumi Odaka（AGC株式会社*）、 Takayoshi Tsutsumi（名古屋大学*）、 Kenji Ishikawa（名古屋大学*）、 Masaru Hori（名古屋大学*） |
Interactions of floating-wire-assisted atmospheric-pressure H2/Ar plasma with SnO2 film on glass substrate forming spherical Sn particles |
2020年10月08日 |
| 2020 |
令和2年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会 |
佐々木 実 |
マイクロマシン・センサシステム技術委員会の活動について |
2020年09月01日 |
| 2020 |
令和2年度E部門総合研究会 |
山田雄大、 佐々木 実 |
フォトリソグラフィ加工したプレス金型による高精度ロータリー金属スケールの試作 |
2020年07月07日 |
| 2020 |
令和2年度E部門総合研究会 |
藤田聖也、 佐々木 実 |
マイクロテクスチャ付き金型を利用した熱交換器フィン材への超撥水構造形成 |
2020年07月07日 |
| 2019 |
令和２年電気学会全国大会 |
弓削英翔、 鈴木大瑛、 佐々木 実 |
フォトリソグラフィ一括加工した微細パターン付き圧延ロールによるアルミ板の表面処理 |
2020年03月11日 |
| 2019 |
International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials |
Seiya Fujita、 Minoru Sasaki |
Microtextured die for forming super water-repellent structure |
2020年03月10日 |
| 2019 |
International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials |
Masaki Okamoto、 Tomoya Hatagaki （*）、 Shinya Kumagai （*）、 Minoru Sasaki |
STRUCTURE-BASED LARGE HARD-SPRING TORSIONAL RESONATOR COUPLED WITH THERMAL BENDING FOR INFRARED SENSOR |
2020年03月10日 |
| 2019 |
第17回赤外放射応用関連学会年会 |
纐纈真一、 Chang Yen-Wei、 矢作秀賀、 佐々木 実 |
マイクロヒータを用いた波長選択赤外光源 |
2020年01月30日 |
| 2019 |
The 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) |
Motohide Yoshimi（*）、 Shinya Kumagai（*）、 Yasutake Ohishi、 Minoru Sasaki |
CELL TRAPPING AND MECHANICAL STIMULATION IN MICROFLUIDIC SENSOR COMBINED WITH OPTICAL FIBER COMPONENTS |
2020年01月19日 |
| 2019 |
The 32nd International Symposium on Superconductivity (ISS 2019) |
Tomoyoshi Motohiro（*）、 Minoru Sasaki、 Joo-Hyong Noh（*）、 Osamu Takai（*）、 Hideo Honma （*） |
Estimatin of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Stacks of Si-wafers Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches formed by MEMS Process under the Constraint of Critical Magnetic Flux Density |
2019年12月03日 |
| 2019 |
第70回塑性加工連合講演会 |
弓削英翔、 鈴木大瑛、 佐々木 実 |
フォトリソグラフィ加工を用いたアルミ表面加工のための圧延ロール面への微細パターン転写 |
2019年10月12日 |
| 2019 |
第80回応用物理学会秋季学術講演会 |
弓削英翔、 鈴木大瑛、 佐々木 実 |
微細加工した圧延ロールによるアルミ材の艶消しパターン転写 |
2019年09月19日 |
| 2019 |
マイクロマシン・センサシステム／バイオ・マイクロシステム合同研究会 |
寺澤槙恵（*）、 Subrata Kumar Kundu （*）、 熊谷慎也（*）、 佐々木 実 |
容量計測型ウェアラブル呼吸センサと無線計測 |
2019年08月06日 |
| 2019 |
The 12th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT 2019) |
Yuta Yamada、 Jiwang Yan （*）、 Minoru Sasaki |
Photolithography fine patterning on mold surface for the metal scale of rotary encoder |
2019年08月01日 |
| 2019 |
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 |
山田雄大、 閻紀旺（*）、 佐々木 実 |
ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工 |
2019年07月01日 |
| 2019 |
The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019) |
Naoki Nobunaga、 Shinya Kumagai、 Katsuya Masuno、 Hiroki Ishihara、 Makoto Ishii、 Minoru Sasaki |
SOLATED VOLTAGE SENSOR USING RING RESONATOR FOR BATTERY POWER MANAGEMENT |
2019年06月23日 |
| 2019 |
6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D) |
Minoru Sasaki、 Y. Suzuki、 T. Hioki、 T. Motohiro |
Stacking 4” Si Wafer with Parallel 3-Stepped Micro-Trenches to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage |
2019年06月22日 |
| 2018 |
International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials |
Minoru Sasaki、 Y. Suzuki、 K. Adachi、 T. Hioki、 T. Motohiro |
Over 100m Length Single Spiral Silicon Micro-Trench with 3-Step Smooth Sidewalls to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage |
2019年03月19日 |
| 2018 |
International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials |
T.-T.-N. Nguyen、 Minoru Sasaki、 H. Odaka、 T. Tsutsumi、 K. Ishikawa、 M. Hori |
Floating-wire-assisted atmospheric pressure plasma for high-speed and large-area glass treatment |
2019年03月18日 |
| 2018 |
電気学会全国大会 |
Y.-W. Chang、 矢作秀賀、 H. M. Nguyen、 佐々木 実 |
波長選択赤外光源用マイクロヒータ |
2019年03月14日 |
| 2018 |
電気学会研究会 交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム 合同研究会 |
グエン ハイ ミン、 延永尚記、 桝野雄矢、 杉山洋貴、 石居真、 佐々木 実 |
絶縁に適した静電駆動型MEMS電圧センサ |
2019年02月28日 |
| 2018 |
The 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2019) |
M. Okamoto、 T. Hatagaki、 S. Kumagai、 Minoru Sasaki |
STRUCTURE-BASED LARGE HARD-SPRING TORSIONAL RESONATOR COUPLED WITH THERMAL BENDING FOR INFRARED SENSOR |
2019年01月30日 |
| 2018 |
The 40th International Symposium on Dry Process (DPS2018) |
S. Yahagi、 Nguyen Hai Minh、 S. Kumagai、 Minoru Sasaki |
Grating Fabrication for Wavelength Selective Infrared Emitter Using Surface Plasmon Polariton |
2018年11月15日 |
| 2018 |
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2018) |
T.-T.-N. Nguyen、 Minoru Sasaki、 H. Odaka、 T. Tsutsumi、 K. Ishikawa、 M. Hori |
Floating-Wire-Assisted Remote Generation of High-Density Atmospheric Pressure Inductively Coupled Plasma |
2018年11月06日 |
| 2018 |
応用物理学会秋季学術講演会 |
T.-T.-N. Nguyen、 佐々木 実、 H. Odaka、 T. Tsutsumi、 K. Ishikawa、 M. Hori |
Etching of glass by floating-wire assisted atmospheric pressure plasma |
2018年09月18日 |
| 2018 |
応用物理学会秋季学術講演会 |
畠垣知弥、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
静電動作ねじり振動型非冷却赤外線センサ |
2018年09月18日 |
| 2018 |
2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018) |
M. Yoshimi、 S. Kumagai、 Y. Ohishi、 Minoru Sasaki |
Optofluidic Device for Measuring Cell Response Against Mechanical Stimulation |
2018年09月12日 |
| 2018 |
2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018) |
S. Yahagi、 S. Kumagai、 K. Masuno、 M. Ishii、 Minoru Sasaki |
Wavelength Selective Plasmonic Grating for CO2 Gas Sensing Based on Nondispersive Infrared |
2018年09月12日 |
| 2018 |
マイクロマシン・センサシステム研究会 |
山田雄大、 佐々木 実 |
熱輻射を制御する表面機能付き金属細線ヒータの製作 |
2018年07月12日 |
| 2017 |
第65回応用物理学会春季学術講演会 |
石川孝一、 佐々木 実、 熊谷慎也 |
大気圧プラズマジェットによって生成されるOHラジカルの液体中での可視化 |
2018年03月18日 |
| 2017 |
平成30年 電気学会全国大会 |
菅沼雄介（*）、 大橋祐也（*）、 佐々木 実、 野々村裕（*） |
触覚熱流センサのための薄膜サーミスタ作製 |
2018年03月16日 |
| 2017 |
2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA2) |
Jun-Seok Oh（*）、 Koichi Ishikawa、 Minoru Sasaki、 Masafumi Ito（*）、 Shinya Kumagai |
Measurement of Plasma-Generated Reactive Oxygen/Nitrogen Species in Liquid Delivered via a Microthrough-hole |
2018年03月09日 |
| 2017 |
2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA2) |
Yuto Nakayama、 Ryutaro Shimane、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki |
Localized Plasma Treatment of Biological Sample Using MEMS Nozzle Device |
2018年03月09日 |
| 2017 |
ISPlasma2018/IC-PLANTS2018 |
Tomoya Hatagaki、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki |
Processing thin-film membrane and dry etching release of torsional resonator for uncooled infrared sensor |
2018年03月08日 |
| 2017 |
ISPlasma2018/IC-PLANTS2018 |
Koichi Ishikawa、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki |
Visualization of plasma-generated reactive species delivered in liquid via a micro through-hole |
2018年03月07日 |
| 2017 |
The first International Workpshop by the 174th Committee JSPS "Symbiosis of Biology and Nanodevice" |
Shinya Kumagai、 Mime Kobayashi（*）、 Tetsuji Shimizu（*）、 Minoru Sasaki |
Plasma-on-Chip: single-cell analysis using a non-thermal atmospheric pressure plasma |
2017年12月21日 |
| 2017 |
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
許 哲瑋、 熊谷慎也、 佐々木 実、 鈴木 康広（*）、 日置 辰視（*）、 元廣 友美（*）、 盧 柱亨（*）、 高井 治（*） |
超電導電力貯蔵装置を小型化するための 渦巻溝形成と壁面の低スキャロップ化 |
2017年11月02日 |
| 2017 |
第78回応用物理学会春季学術講演会 |
柄﨑克樹（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
細胞サンプル搬送機能を持つプラズマ処理デバイス |
2017年09月06日 |
| 2016 |
電気学会全国大会シンポジウム H3 学会の国際化に向けたビジョンと取り組み |
佐々木 実 |
（Ｅ部門）-日本・台湾国際交流シンポジウムを中心として- |
2017年03月16日 |
| 2016 |
第64回春季応用物理学学術講演会 |
Shinya Kojima（マイクロメカトロニクス）、 Mime Kobayashi（*）、 Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai |
Analyzing Activities of L929 Cells Irradiated with An Atmospheric Pressure Plasma |
2017年03月16日 |
| 2016 |
第64回春季応用物理学学術講演会 |
Kundu Suburata（マイクロメカトロニクス）、 寺澤 槙恵（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
ウェアラブルセンサによる着席状態での呼吸計測 |
2017年03月16日 |
| 2016 |
ISPlasma2017/IC-PLANTS2017 |
Hsu Che-Wei、 Shinya Kumagai、 Yasuhiro Suzuki（Nagoya University）、 Tatsumi Hioki（Nagoya University）、 Tomohiro Motoyoshi（Nagoya University）、 Minoru Sasaki |
Multi-Stepped Silicon Micro-Trenches with Smooth Sidewalls to Deposite Superconducting Material for Magnetic Energy Storage |
2017年03月03日 |
| 2016 |
ISPlasma2017/IC-PLANTS2017 |
Yusuke Nakanishi、 Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai |
Analysis of Plasma-Generated Reactive Species in Liquid |
2017年03月03日 |
| 2016 |
The 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems |
Minoru Sasaki、 Naoki Nobunaga（マイクロメカトロニクス）、 Hiroki Ishihara（Yazaki Corporation）、 Makoto Ishii（Yazaki Corporation）、 Shinya Kumagai |
BIPOLAR ELECTROSTATIC DRIVING FOR HIGH-RESOLUTION ISOLATED BATTERY VOLTAGE SENSOR |
2017年01月24日 |
| 2016 |
第４回日本磁気学会超高感度マイクロ磁気センサ専門研究会 |
佐々木 実 |
3次元フォトリソグラフィ（マイクロコイル形成などへの応用） |
2016年11月24日 |
| 2016 |
応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会講習会 |
佐々木 実 |
皮膚を介して形成される容量に基づくウェアラブル呼吸センサ |
2016年11月07日 |
| 2016 |
1st Asian International Cryogenic Materials Conference-50th Anniversary Conference of Cryogenics and Superconductivity Society Japan |
N. Iguchi*, Y. Suzuki*, K. Adachi*, T. Hioki*, A. Ichiki*、 Tomoyoshi Motohiro、 N. Sugimoto*、 Hsu Che-Wei、 R. Sato*、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki、 Jeong Jong Hyeon、 Y. Sakurahara*, K. Okabe*, O. Takai*, H. Honma*, H. Watanabe*, H. Sakoda*, H. Sasagawa*, H. Doy*, S. Zhou*, T. Nozaki*, H. Hori*, S. Nishikawa* |
Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries (IV) |
2016年11月07日 |
| 2016 |
1st Asian International Cryogenic Materials Conference-50th Anniversary Conference of Cryogenics and Superconductivity Society Japan |
Y. Suzuki*, N. Iguchi*, K. Adachi*, T. Hioki*, A. Ichiki*、 Tomoyoshi Motohiro、 N. Sugimoto*、 Hsu Che-Wei、 R. Sato*、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki、 Jeong Jong Hyeon、 Y. Sakurahara*, K. Okabe*, O. Takai*, H. Honma*, H. Watanabe*, H. Sakoda*, H. Sasagawa*, H. Doy*, S. Zhou*, T. Nozaki*, H. Hori*, S. Nishikawa* |
Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries (III) |
2016年11月07日 |
| 2016 |
第8回集積化MEMSシンポジウム |
佐々木 実、 和田祐樹（マイクロメカトロニクス）、 延永尚記（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 石原裕己（矢崎総業）、 石居真（矢崎総業） |
MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化 |
2016年10月25日 |
| 2016 |
第 33 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
Minoru Sasaki、 Hsu Che-Wei、 佐藤龍仁（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai |
Stepped Micro-trenches Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Soft Resist Masks Combined with UV Curing |
2016年10月25日 |
| 2016 |
International Conference on Solid State Devices and Materials |
Minoru Sasaki、 M. Yoshimi（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai、 Yasutake Ohishi |
Si Micro-Optical-Bench Combining with Fiber and Flow Channel for Absorption Spectroscopy of Cells in Suspension |
2016年09月29日 |
| 2016 |
第77回応用物理学会秋季学術講演会 |
粂内 真子（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 趙 亨峻（名古屋大学）、 近藤 博基（名古屋大学）、 石川 健治（名古屋大学）、 堀 勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
フォトリソグラフィとUVキュア処理によるナノギャップ電極アレイ形成 |
2016年09月14日 |
| 2016 |
KJF-ICOMEP 2016 |
Shinya Kumagai、 Tomohiro Okada（マイクロメカトロニクス）、 Koichi Ishikawa（マイクロメカトロニクス）、 Mime Kobayashi（Nara Institute of Science and Technology）、 Tetsuji Shimizu（terraplasma, GmbH）、 Minoru Sasaki |
Plasma-on-Chip Device: Plasma Treatment for Cells in Microwells |
2016年09月05日 |
| 2016 |
2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics |
Tomohiro Okada、 Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai |
A micro plasma chip using dielectric barrier discharge |
2016年08月04日 |
| 2016 |
IEEE-NEMS2016 |
Shuga Yahagi（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki |
Effect of Grating Profile on the Infrared Wavelength Coupled with Surface Plasmon Polariton |
2016年04月19日 |
| 2016 |
IEEE-NEMS2016 |
Yuto Nakayama（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai、 Hiroshi Hashizume（Nagoya University）、 Takayuki Ohta（Meijo University）、 Masafumi Ito（Meijo University）、 Masaru Hori（Nagoya University）、 Minoru Sasaki |
Activating Biological Reactions with A Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma |
2016年04月19日 |
| 2015 |
第63回 応用物理学会 春季学術講演会 |
佐々木 実、 寺澤槙恵（マイクロメカトロニクス）、 苅田桃子（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
容量計測型呼吸センサにおける電極配置と信号の安定化 |
2016年03月21日 |
| 2015 |
第63回応用物理学会春季学術講演会 |
J.-S. Oh（Kochi Univeristy of Technology）、 S. Kojima（Micromechatronics）、 A. Hatta（Kochi Univesity of Technology）、 佐々木 実、 熊谷慎也 |
Meacurement of Reactive Species for the Development of Plasma-on-Chip |
2016年03月21日 |
| 2015 |
ISPlasma2016/IC-PLANTS2016 |
J.-S. Oh（Kochi University of Technology）、 S. Kojima（Micromechatronics）、 A. Hatta（Kochi University of Technology）、 佐々木 実、 熊谷慎也 |
Plasma-on-Chip: Evidence of Reactive Species Through Through-holes |
2016年03月 |
| 2015 |
The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies 2015 |
C.-H. Chang（Micromechatronics）、 ジョン ゾン ヒョン、 M. Kobayashi（NAIST）、 T. Shimizu（terraplasma, GmbH）、 佐々木 実、 熊谷慎也 |
Plasma-on-chip device for analyzing interactions between plasma gas and individual cells |
2015年12月17日 |
| 2015 |
International Display Workshops '15 |
Minoru Sasaki、 Hiroki Ishihara（Yazaki Corp.）、 Katsuya Masuno（Yazaki Corp.）、 Makoto Ishii（Yazaki Corp.）、 Shinya Kumagai |
Membrane-Type Microheater for Wavelength Selective Infrared Emitter and CO2 gas Sensing |
2015年12月11日 |
| 2015 |
第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム |
佐々木 実、 寺澤槙恵（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
密着型呼吸センサ |
2015年10月30日 |
| 2015 |
第 32 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
佐々木 実、 粂内真子（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 趙享峻（名古屋大学）、 今井駿（名古屋大学）、 近藤博基（名古屋大学）、 石川健治（名古屋大学）、 堀勝（名古屋大学） |
フォトリソグラフィと UV キュア処理によるナノギャップ電極形成 |
2015年10月30日 |
| 2015 |
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials |
佐々木 実、 M. Terasawa（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin |
2015年09月30日 |
| 2015 |
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials |
Minoru Sasaki、 Y. Nakayama（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai、 H. Hashizume（Nagoya Univ.）、 T. Ohta（Meijo Univ.）、 M. Ito（Meijo Univ.）、 M. Hori（Nagoya Univ.） |
Temperature-Lowered Plasma Treatment by Controlling Direction of Supplying Reactive Species for Biological Application |
2015年09月29日 |
| 2015 |
2016 International Conference on Solid State Devices and Materials |
Y. Nakayama（Micromechatronics）、 熊谷慎也、 H. Hashizume（Nagoya University）、 T. Ohta（Meijo University）、 M. Ito（Meijo University）、 M. Hori（Nagoya University）、 佐々木 実 |
Temperature-Lowered Plasma Treatment by Controlling Direction of Supplying Reactive Species for Biological Application |
2015年09月29日 |
| 2015 |
The 10th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering |
Minoru Sasaki、 K. Tsukasaki（マイクロメカトロニクス）、 D. Yasumatsu（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai、 K. Takeda（Nagoya Univ.）、 M. Hori（Nagoya Univ.） |
Resonant Floating Electrode in Inductively Coupled Micro-Plasma Source for Power Efficiency |
2015年09月22日 |
| 2015 |
電気学会マイクロマシン・センサシステム技術委員会 研究会 |
佐々木 実、 岩本拓也（マイクロメカトロニク）、 熊谷慎也 |
微細パターン形成のためのフォトレジストのUVキュア処理 |
2015年09月18日 |
| 2015 |
第76回 応用物理学会 秋季学術講演会 |
佐々木 実、 延永尚記（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 石原裕己（矢崎総業）、 石居真（矢崎総業） |
ギャップクロージング型電極を利用した絶縁型電圧センサ |
2015年09月14日 |
| 2015 |
第76回応用物理学会秋季学術講演会 |
C.-H. Chang（Micromechatronics）、 Jeong Jong Hyeon、 M. Kobayashi（NAIST）、 T. Shimizu（terraplasma, GmbH）、 Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai |
Plasma-on-Chip for Treatment of Individual Cells Cultured in Medium |
2015年09月03日 |
| 2015 |
The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015) |
Shinya Kumagai、 C.-H. Chang（Micromechatronics）、 Jeong Jong Hyeon、 M. Kobayashi（NAIST）、 T. Shimizu（terraplasma, GmbH）、 Minoru Sasaki |
Irradiating Cells Cultured in Microwells with Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma |
2015年09月 |
| 2015 |
第40回光学シンポジウム |
佐々木 実、 海老塚昇（理化学研究所）、 岡本隆之（理化学研究所）、 森田晋也（理化学研究所）、 山形豊（理化学研究所）、 魚本幸（東北大学）、 橋本信幸（シチズンホールディングス（株））、 桐野宙治（（株）クリスタル光学開発部）、 尾崎忍夫（国立天文台TMT推進室）、 青木和光（国立天文台TMT推進室） |
次世代天文学観測装置用の新しい高分散回折格子 |
2015年06月25日 |
| 2015 |
The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015) |
Minoru Sasaki、 H. Ishihara（Yazaki Corp.）、 K. Masuno（Yazaki Corp.）、 M. Ishii（Yazaki Corp.）、 Shinya Kumagai |
POWER EFFICIENT MICROHEATER FOR WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED EMITTER AND CO2 GAS SENSING |
2015年06月23日 |
| 2015 |
18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers 2015 |
Jeong Jong Hyeon、 Shinya Kumagai、 Ichiro Yamashita、 Yukiharu Uraoka、 Minoru Sasaki |
Characterization of Vibration-type Infrared Thermal Detector on Temperature, Light, and Thermal Infrared |
2015年06月23日 |
| 2015 |
Eighth International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics (M&BE8) |
Y. Matsuura（Micromechatronics）、 Shinya Kumagai、 Dinghuan Deng、 Yasutake Ohishi、 Minoru Sasaki |
Collecting biological samples for accurate optical absorption spectroscopy |
2015年06月 |
| 2015 |
Transducers 2015 |
Y. Nakayama（Micromechatronics）、 R. Shimane（Micromechatronics）、 熊谷慎也、 H. Hashizume（Nagoya University）、 T. Ohta（Meijo Univeristy）、 M. Ito（Meijo University）、 M. Hori（Nagoya University）、 佐々木 実 |
IRRADIATING LOW-TEMPERATURE ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA TO CELLS USING MEMS NOZZLE |
2015年06月 |
| 2014 |
第18回日本体力医学会東海地方会学術集会 |
佐々木 実、 齊藤満（愛知学院大学）、 水藤弘吏（愛知学院大学） |
運動時の呼吸リズム観察への新しい呼吸モニターの応用 |
2015年03月16日 |
| 2014 |
第62回 応用物理学会 春季学術講演会 |
佐々木 実、 熊谷慎也 |
室内CO2モニタリングのための波長選択赤外光源 |
2015年03月12日 |
| 2014 |
第62回 応用物理学会 春季学術講演会 |
佐々木 実、 寺澤槙恵（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
容量計測型呼吸センサのための衣服組み込み電極 |
2015年03月11日 |
| 2014 |
28th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2015) |
佐々木 実、 Masahiro Shibata（マイクロメカトロニクス）、 Takahiro Yamaguchi（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
THERMOCOUPLES ON TRENCH SIDEWALL IN CHANNEL FRONTING ON FLOWING MATERIAL |
2015年01月20日 |
| 2014 |
International Display Workshops Volume 21 |
佐々木 実、 ジョン ゾン ヒョン、 熊谷慎也、 S. Tajima（名古屋大学）、 T. Hayashi（名古屋大学）、 K. Yamakawa（片桐エンジニアリング） |
Resonator-Type Infrared Detector Released by Plasmaless Sacrificial Si Etching
|
2014年12月04日 |
| 2014 |
第6回集積化MEMSシンポジウム |
佐々木 実、 飯村ひかる（マイクロメカトロニクス）、 ディンハン デン、 熊谷慎也、 大石泰丈 |
逆テーパをもつバイアススプリングによる光ファイバ固定とマイクロ流路デバイス中でのスペクトル測定 |
2014年10月21日 |
| 2014 |
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
佐々木 実、 クンドウ スブラタ クマル（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
容量計測による衣服型呼吸センサ |
2014年10月21日 |
| 2014 |
第75回 応用物理学会秋季学術講演会 |
佐々木 実、 田嶋聡美（名古屋大学）、 林俊雄（名古屋大学）、 石川健治（名古屋大学）、 関根誠（名古屋大学）、 山川晃司（片桐エンジニアリング）、 堀勝（名古屋大学） |
NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(II) |
2014年09月19日 |
| 2014 |
精密工学会秋季大会学術講演会 |
佐々木 実、 海老塚昇 ら（理化学研究所） |
次世代天文学観測装置用の新しい回折格子 |
2014年09月18日 |
| 2014 |
第75回 応用物理学会秋季学術講演会 |
佐々木 実、 柴田真宏（マイクロメカトロニクス）、 山口貴大（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
壁面に熱電対を配置したマイクロ流路デバイス |
2014年09月17日 |
| 2014 |
第75回 応用物理学会秋季学術講演会 |
佐々木 実、 柄崎克樹（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成 |
2014年09月17日 |
| 2014 |
2014 International Conference on Solid Stae Devices and Materials |
Jeong Jong Hyeon、 Shinya Kumagai、 Ichiro Yamashita（NAIST）、 Yukiharu Uraoka（NAIST）、 Minoru Sasaki |
A Micro-Machined IR Thermal Detector Using Torsional Oscillation: Improvement of Resonator Profile for High Sensitivity |
2014年09月11日 |
| 2014 |
2014 Interrnational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics |
Takashi Tomikawa（マイクロメカトロニクス）、 Jonghyeon Jeong（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai、 Ichiro Yamashita（Nara Institute of Scence and Technology）、 Yukiharu Uraoka（Nara Institute of Sicence and Technology）、 Minoru Sasaki |
DESIGNING POSITIONS OF GRAIN BOUNDARIES IN Si THIN-FILM FOR LOW-ENERGY-LOSS OPTICAL MEMS/NEMS DEVICES |
2014年08月20日 |
| 2014 |
2014 Interrnational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics |
Jeong Jong Hyeon、 Shinya Kumagai、 Ichiro Yamashita（NAIST）、 Yukiharu Uraoka（NAIST）、 Minoru Sasaki |
Vibrational IR MEMS Sensor: Applicationof Torsion-Bars Tension-Enhanced by Bio-Nano Crystallization for Highly Sensitive Detection |
2014年08月20日 |
| 2014 |
2014 IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics |
佐々木 実、 Ryoto Sato（マイクロメカトロニクス）、 Daisuke Yasumatsu（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 Masaru Hori（名古屋大学） |
SHIELD EFFECT OF FLOATING ELECTRODE FOR POWER EFFICIENT MICRO-PLASMA VUV LIGHT SOURCE |
2014年08月20日 |
| 2014 |
4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D) |
佐々木 実、 Masahiro Shibata（マイクロメカトロニクス）、 Takahiro Yamaguchi（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
Thermocouples Fabricated on Microfluidic Trench Sidewall Capped with Film |
2014年07月15日 |
| 2014 |
International Symposium on Micro/Nano Mechanical Machining and Manufacturing（ISMNM2014） |
佐々木 実 |
3D lithography and micro-plasma possibilities for combining with precision machining |
2014年04月22日 |
| 2014 |
Proc. SPIE |
佐々木 実、 N. Ebizuka ら（理化学研究所） |
Birefringence Bragg Binary (3B) Grating, Quasi-Bragg Grating and Immersion Gratings |
2014年 |
| 2013 |
第61回応用物理学会春季学術講演会 |
佐々木 実、 田嶋聡美（名古屋大学）、 林俊雄（名古屋大学）、 石川健治（名古屋大学）、 関根誠（名古屋大学）、 山川晃司（片桐エンジニアリング）、 堀勝（名古屋大学） |
NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(I) |
2014年03月20日 |
| 2013 |
第61回応用物理学会春季学術講演会 |
佐藤龍仁（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
MEMS大気圧プラズマ光源の省電力化 |
2014年03月19日 |
| 2013 |
日本機械学会 東海支部 第63期総会・講演会 |
佐々木 実、 柄崎克樹（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成 |
2014年03月18日 |
| 2013 |
第61回応用物理学会春季学術講演会 |
丹羽貴大（金沢大学）、 中西一浩（金沢大学）、 熊谷慎也、 川江健（金沢大学）、 森本章治（金沢大学）、 佐々木 実 |
水リフトオフ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜のサブミクロンパターニング |
2014年03月17日 |
| 2013 |
International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2014/IC-PLANTS2014) |
Minoru Sasaki、 S. TAJIMA（名古屋大学）、 T. HAYASHI（名古屋大学）、 K. ISHIKAWA（名古屋大学）、 M. SEKINE（名古屋大学）、 K. YAMAKAWA（片桐エンジニアリング）、 M. HORI（名古屋大学） |
The relationship between the pressure and the Si etch rate using the reaction of F2 + NO → F + FNO |
2014年03月06日 |
| 2013 |
ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014 |
島根竜太郎（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 橋爪博司（名城大学）、 太田貴之（名城大学）、 伊藤昌文（名城大学）、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
MEMS Nozzle for Localized Irradiation of Atmospheric Pressure Plasma Trapping Micro-Samples |
2014年03月06日 |
| 2013 |
ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014 |
佐藤龍仁（マイクロメカトロニクス）、 澤田貴裕（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
Delay Masking Process Using UV Cured Resist Layer Combined with Deep Reactive Ion Etching for Multiple Height Microstructures |
2014年03月06日 |
| 2013 |
ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014 |
安松大輔（マイクロメカトロニクス）、 松山弘樹（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 武田圭吾（名古屋大学）、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
Length Effect of Floating Wire Electrode In Transportable 144mhz Inductively Coupled Micro-Plasma Source |
2014年03月03日 |
| 2013 |
8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31) |
佐々木 実、 Masahiro Hashimoto（マイクロメカトロニクス）、 Katsuki Tsukasaki（マイクロメカトロニクス）、 Ryoto Sato（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
A Microplasma Reactor Chip for Utilizing Gas-Gas Interface |
2014年02月06日 |
| 2013 |
8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31) |
佐々木 実、 Satomi Tajima（名古屋大学）、 Toshio Hayashi（名古屋大学）、 Koji Yamakawa（片桐エンジニアリング）、 Kenji Ishikawa（名古屋大学）、 Shoji Den（片桐エンジニアリング）、 Makoto Sekine（名古屋大学）、 Masaru Hori（名古屋大学） |
Evaluation of the loss of F during the Si chemical dry etching using the reaction of F 2 + NO → F + FNO |
2014年02月06日 |
| 2013 |
8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31) |
佐々木 実、 T. Sawada（マイクロメカトロニクス）、 T. Chikuba（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 K. Masuno（矢崎総業）、 M. Ishii（矢崎総業）、 S. Uematsu（矢崎総業） |
Surface Plasmon Polariton Based Wavelength Selective IR Emitter Combined with MEMS Heater with Reduced Thermal Loss |
2014年02月05日 |
| 2013 |
27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2014) |
佐々木 実、 T. Sawad（マイクロメカトロニクス）、 K. Masuno（矢崎総業）、 熊谷慎也、 M. Ishii（矢崎総業）、 S. Uematsu（矢崎総業） |
ENHANCED WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED EMISSION USING SURFACE PLASMON POLARITON AND THERMAL ENERGY CONFINED IN MICRO-HEATER |
2014年01月30日 |
| 2013 |
20th International Display Workshops (IDW'13) |
佐々木 実、 Ryoto Sato（マイクロメカトロニクス）、 Daisuke Yasumatsu（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 Masaru Hori（名古屋大学） |
Localized Microplasma Generation in MEMS Gas Channel |
2013年12月05日 |
| 2013 |
2013 International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science (MHS2013) |
佐々木 実、 Daisuke Momonoi（マイクロメカトロニクス）、 Tatsuya Yamazaki（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
Infrared Detection Based on Nonlinear Oscillation of Thin Film Resonator |
2013年11月12日 |
| 2013 |
IEEE Nanotechnology Meterials and Devices Conference |
橋本將寛（マイクロメカトロニクス）、 佐藤龍仁（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
A Micro Plasma Reactor Chip: Using Interface in Micro-/Nano-Channels towards Materials Processing |
2013年10月09日 |
| 2013 |
2013 International Conference on Solid State Devices and Materials |
山口貴大（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
A Thermocouple Device Fabricated on Trench Sidewall for Measuring Accurate Temperature of Microfluid |
2013年09月26日 |
| 2013 |
2013 International Conference on Solid State Devices and Materials |
飯村ひかる（マイクロメカトロニクス）、 ディンハン デン（光機能物質）、 熊谷慎也、 大石泰丈、 佐々木 実 |
Microfluidic Device with Accurately Aligned Optical Fibers for Measuring Transmission Spectrum Using Supercontinuum Light |
2013年09月26日 |
| 2013 |
2013 International Conference on Solid State Devices and Materials |
島根竜太郎（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
Localized Plasma Treatment for Individual Cells |
2013年09月25日 |
| 2013 |
第26回プラズマ材料科学シンポジウム（SPSM26） |
佐々木 実、 Ryoto Sato（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Soft Resist Masks Combined with UV Curing |
2013年09月24日 |
| 2013 |
2013 JSAP-MRS Joint Symposia |
佐々木 実、 Takahiro Yamaguchi（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
A microfluidics device with thermocouples fabricated on sidewall for precise monitoring of biomolecule-dispersed solution |
2013年09月18日 |
| 2013 |
醍74回応用物理学会学術秋季学術講演会 |
山本太一（マイクロメカトロニクス）、 久保裕慎（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
光電池垂直壁を介した配線による昇圧とマイクロミラーの静電駆動 |
2013年09月18日 |
| 2013 |
2013 JSAP-MRS Joint Symposia |
佐々木 実、 Katsuya Masuno（矢崎総業）、 Takahiro Sawada（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 Makoto Ishii（矢崎総業）、 Shouichi Uematsu（矢崎総業） |
Wavelength Selective Infrared Emission via Surface Plasmon Polariton from MEMS Heater for CO2 Gas Sensin |
2013年09月17日 |
| 2013 |
第74回応用物理学会秋季学術講演会 |
冨川崇（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 山下一郎（奈良先端科学技術大学院大学）、 浦岡行治（奈良先端科学技術大学院大学）、 佐々木 実 |
Niフェリチンを用いたSi薄膜カンチレバー振動子の均一結晶化 |
2013年09月17日 |
| 2013 |
Optical MEMS and Nanophotonics 2013 |
桃井大輔（マイクロメカトロニクス）、 山崎辰也（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
AN INFRARED DETECTOR BASED ON NONLINEAR OSCILLATION |
2013年08月22日 |
| 2013 |
2013 IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics |
佐々木 実、 Hikaru Iimura（マイクロメカトロニクス）、 ディンハン デン、 熊谷慎也、 大石泰丈 |
MICRO-CHANNEL DEVICE FOR SPECTRUM MEASUREMENT USING OPTICAL FIBER ALIGNED WITH BIAS SPRING WITH REVERSELY TAPERED PROFILE |
2013年08月21日 |
| 2013 |
Optical MEMS and Nanophotonics 2013 |
青沼拓朗（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
INFRARED COLLECTING MICROLENS INTEGRATED WITH SI PHOTO CELL |
2013年08月21日 |
| 2013 |
Optical MEMS and Nanophotonics 2013 |
澤田貴裕（マイクロメカトロニクス）、 桝野雄矢（矢崎総業株式会社）、 熊谷慎也、 石居真（矢崎総業株式会社）、 植松彰一（矢崎総業株式会社）、 佐々木 実 |
SURFACE PLASMON POLARITON BASED WAVELENGTH SELECTIVE IR EMITTER COMBINED WITH MICROHEATER |
2013年08月20日 |
| 2013 |
Optical MEMS and Nanophotonics 2013 |
佐藤龍仁（マイクロメカトロニクス）、 安松大輔（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
A MICROPLASMA CHIP FOR RADICAL MONITOR |
2013年08月20日 |
| 2013 |
Abstracts of The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12) |
佐々木 実、 H. Iimura（マイクロメカトロニクス）、 ディンハン デン、 熊谷慎也、 大石泰丈 |
Etching profile control of alignment spring for combining MEMS micro-channel device and optical fibers |
2013年07月14日 |
| 2013 |
The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13) |
佐々木 実、 N. Nobunaga（マイクロメカトロニクス）、 S. Hasegawa（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 K. Masuno（矢崎総業）、 M. Ishii（矢崎総業）、 S. Uematsu（矢崎総業） |
ISOLATED VOLTAGE SENSING USING MICRO-RESONATOR |
2013年06月19日 |
| 2013 |
The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13) |
佐々木 実、 T. Sawada（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 K. Masuno（矢崎総業）、 M. Ishii（矢崎総業）、 S. Uematsu（矢崎総業） |
INDIRECT WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED MICRO-EMITTER USING SURFACE PLASMON POLARITON FOR GAS SENSING |
2013年06月19日 |
| 2013 |
The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13) |
佐々木 実、 T. Tomikawa（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 I. Yamashita（奈良先端大）、 Y. Uraoka（奈良先端大） |
EXCLUDING GRAIN BOUDARIES FROM THIN SI FILM MEMS/NEMS DEVICES |
2013年06月19日 |
| 2013 |
The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13) |
佐々木 実、 T. Yamazaki（マイクロメカトロニクス）、 S. Ogawa（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 |
A NOVEL INFRARED DETECTOR USING NONLINEAR VIBRATION FOR HIGH SENSITIVITY |
2013年06月19日 |
| 2013 |
Ｇｅｎｅｒａｌ Ｃｈａｉｒ of IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2013 |
佐々木 実 |
|
|
| 2012 |
日本化学会 第93春季年会 |
佐々木 実、 梶原建（クリーンルーム） |
シリコンと各種物質のナノ微細加工によるハイブリッド化ものづくり |
2013年03月25日 |
| 2012 |
平成25年 電気学会全国大会 |
佐々木 実、 柴﨑一郎（豊橋技術科学大学） |
電力分野へのセンサ・マイクロシステム応用の可能性について |
2013年03月21日 |
| 2012 |
第60回応用物理学会学術講演会 |
熊谷慎也、 クンドゥスブラタクマル（マイクロメカトロニクス）、 佐々木 実 |
着衣可能な容量型呼吸センサ |
2013年03月 |
| 2012 |
第60回応用物理学会学術講演会 |
澤田貴裕（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
CO2 ガスセンサのための波長選択赤外放射 |
2013年03月 |
| 2012 |
第60回 応用物理学会学術講演会 |
冨川崇（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 山下一郎（奈良先端大）、 浦岡行治（奈良先端大）、 佐々木 実 |
Ni フェリチンを用いたSi 薄膜振動子の高効率化 |
2013年03月 |
| 2012 |
The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science |
安松大輔（マイクロメカトロニクス）、 松山弘樹（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 竹田圭吾（名古屋大学）、 海老塚昇（名古屋大学）、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
Transportable micro-plasma VUV light source system |
2013年02月02日 |
| 2012 |
The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science |
島根竜太郎（マイクロメカトロニクス）、 浅野博敬（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
Local micro-plasma irradiation using MEMS nozzles |
2013年02月02日 |
| 2012 |
第30回プラズマプロセシング研究会 SPP-30 |
島根竜太郎（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 太田貴之（名城大学）、 伊藤昌文（名城大学）、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
MEMSノズルを利用した大気圧プラズマ照射によるマイクロ加工 |
2013年01月23日 |
| 2012 |
5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials |
佐藤龍仁（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
MEMS plasma VUV light source |
2013年01月 |
| 2012 |
5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials |
安松大輔（マイクロメカトロニクス）、 松山弘樹（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 竹田圭吾（名古屋大学）、 海老塚昇（名古屋大学）、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
VUV emission from transportable micro plasma light source system |
2013年01月 |
| 2012 |
5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials |
熊谷慎也、 山本太一（マイクロメカトロニクス）、 佐々木 実 |
3D wiring of vertically etched photo cell islands high voltage generation |
2013年01月 |
| 2012 |
第4回集積化MEMS シンポジウム |
クンドゥ スブラタ クマル、 疋田晃義（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
ドラム型マイクロミラーの平面度評価 |
2012年10月24日 |
| 2012 |
第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 |
山本太一（マイクロメカトロニクス）、 久保裕慎（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
垂直壁を利用して直列接続したマイクロ光電池アレイ |
2012年10月23日 |
| 2012 |
第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 |
長谷川聡（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
マイクロ振動子を利用した非接触電圧測定 |
2012年10月23日 |
| 2012 |
第73回応用物理学会学術講演会 |
松山弘樹（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 竹田圭吾（名古屋大学）、 海老塚昇（名古屋大学）、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
可搬マイクロプラズマ光源システム |
2012年09月13日 |
| 2012 |
日本機械学会2012年度年次大会 |
島根竜太郎（マイクロメカトロニクス）、 浅野博敬（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
MEMSノズルを利用したマイクロプラズマ照射 |
2012年09月11日 |
| 2011 |
ISPlasma2012 |
Yun KyYoul、 Keisuke Fujisaki、 Minoru Sasaki |
3-Dimensional Electromagnetic Field Calculation of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil |
2012年03月06日 |
| 2010 |
第58回応用物理学関係連合講演会 |
熊谷慎也、 疋田晃義（マイクロメカトロニクス）、 岩本拓也（マイクロメカトロニクス）、 佐々木 実 |
UVキュアによるレジスト硬化を利用した多段階立体構造のエッチング加工 |
2011年03月25日 |
| 2010 |
第58回応用物理学関係連合講演会 |
桝野雄矢（マイクロメカトロニクス）、 澤田貴裕（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
傍熱型波長選択プラズモニック赤外光源 |
2011年03月25日 |
| 2010 |
第58回応用物理学関係連合講演会 |
熊谷慎也、 福田直也（マイクロメカトロニクス）、 田嶋久義（マイクロメカトロニクス）、 佐々木 実 |
3次元立体構造上にスプレー塗布されるレジスト膜厚の均一化 |
2011年03月24日 |
| 2010 |
第58回応用物理学関係連合講演会 |
浅野博敬（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
スパイラルコイル型マイクロICPに導入した浮遊電極による点火特性 |
2011年03月24日 |
| 2010 |
日本機械学会 東海支部 第60期 総会・講演会 |
小川翔平（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
マイクロミラー用薄膜トーションバーの精密計測とハードスプリング効果に関する考察 |
2011年03月14日 |
| 2010 |
日本機械学会 東海学生会 第42回学生員卒業研究発表講演会 |
澤田貴裕（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
赤外吸収式ガスセンサのための小型・省電力波長選択光源 |
2011年03月13日 |
| 2010 |
The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies |
kumagai shinya、 Miyachi Shusuke（マイクロメカトロニクス）、 Yamashita Ichiro（奈良先端科学技術大学院大学）、 Uraoka Yukiharu（奈良先端科学技術大学院大学）、 Minoru Sasaki |
Increasing tensile stress in poly-Si film structure by metal-induced lateral crystallization using ferritin supramolecules with Ni nanoparticles |
2010年12月15日 |
| 2010 |
第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
佐々木 実、 田嶋久義（マイクロメカトロニクス）、 福田直也（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也（マイクロメカトロニクス） |
スプレーコーティングの気流解析と膜厚分布均一化 |
2010年10月14日 |
| 2010 |
第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
Minoru Sasaki、 Hironori Kubo（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai（マイクロメカトロニクス） |
Absorbent liquid immersion angled exposure for patterning 3D samples with vertical side walls |
2010年10月14日 |
| 2010 |
2010 International Conference of Solid State Devices and Materials |
Masuno Katsuya（マイクロメカトロニクス）、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki |
Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Downsizing Sensor Module |
2010年09月24日 |
| 2010 |
2010 International Conference on Solid State Devices and Materials |
Matsuyama Hiroki（マイクロメカトロニクス）、 kumagai shinya、 Hori Masaru（名古屋大学）、 Minoru Sasaki |
Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Light Source |
2010年09月24日 |
| 2010 |
第71回秋季 応用物理学会学術講演会 |
熊谷慎也、 松山弘樹（マイクロメカトロニクス）、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 |
MEMS化に適した大気圧プラズマ光源 |
2010年09月14日 |
| 2010 |
日本機械学会 2010年度年次大会 |
熊谷慎也、 宮地修輔（マイクロメカトロニクス）、 山下一郎（奈良先端科学技術大学院大学）、 浦岡行治（奈良先端科学技術大学院大学）、 佐々木 実 |
MEMS 用Si 薄膜材料の内部応力増強に向けた |
2010年09月08日 |
| 2010 |
日本機械学会 2010年度 年次大会 |
福田直也（マイクロメカトロニクス）、 田嶋久義（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
レジストのスプレー成膜におけるアパーチャの効 |
2010年09月07日 |
| 2010 |
日本機械学会 2010年度年次大会 |
浅野博敬（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 |
高輝度大気圧マイクロプラズマ |
2010年09月07日 |
