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教授　佐々木 実（Minoru Sasaki ／ ササキ　ミノル）

業績

年度 題目 著者 発表日
2022 シリコンハードマスクを用いたステンレス鋼のドライエッチング ハン　ガン、 佐々木 実 2022年10月
2022 超電導電力貯蔵装置を小型化するコイル向け全長100m級スパイラル溝形成 佐々木 実、 盧柱亨（*）、 高井治（*）、 元廣友美（*） 2022年05月
2022 Bipolar Electrostatic Driving of Isolated Micro-Resonator for Sensing High Voltage of Battery Output with Resolution Naoki Nobunaga、 Shinya Kumagai、 佐々木 実 2022年04月
2021 Respiration monitoring during 6 min walk using wearable sensor measuring capacitance built across skin Momoko Karita、 Shinya Kumagai（*）、 Minoru Sasaki 2021年08月17日
2021 Microtextured die using silicon stencil mask for micro-machining of stainless steel HAN Gang、 Minoru Sasaki 2021年08月10日
2021 赤外線センサ向け静電ねじり振動子の共振周波数電気測定 畠垣 知弥、 熊谷 慎也（*）、 佐々木 実 2021年07月
2021 FINE PATTERNING ON 3D SAMPLE WITH CURVATURE AND DEPTH USING RESIST SHEET WITH LATENT IMAGE Takayuki Kuroyanagi、 Shigenori Saito（*）、 Minoru Sasaki 2021年06月20日
2020 Estimation of the Electricity Storage Volume Density of Compact SMESs of a New Concept Based on Si Microfabrication Technologies Tomoyoshi Motohiro（*）、 Minoru Sasaki、 Joo-Hyong Noh（*）、 Osamu Takai（*） 2021年03月
2020 Patterning vertical sidewall for optical assembly Taichi Yamamoto、 Hironori Kubo、 Shinya Kumagai（*）、 Shigenori Saito（*）、 Fumitaka Sahara（*）、 Minoru Sasaki 2021年02月
2020 Structure-Based Huge Hard-Spring Torsional Resonator Coupled with Thermal Bending for Infrared Sensor Masaki Okamoto、 Tomoya Hatagaki、 Shinya Kumagai（*）、 Minoru Sasaki 2020年09月
2020 一細胞に非熱平衡プラズマを照射するPlasma-on-Chipデバイス：誘電体バリア放電方式による動作特性の改善 熊谷慎也（*）、 小林未明（*）、 清水鉄司（*）、 佐々木 実 2020年04月
2020 Formation of spherical Sn particles by reducing SnO2 film in floating wire-assisted H2/Ar plasma at atmospheric pressure Thi-Thuy-Nga Nguyen（*）、 Minoru Sasaki、 Takayoshi Tsutsumi（*）、 Hidefumi Odaka（*）、 Kenji Ishikawa（*）、 Masaru Hori（*） 2020年
2019 Novel gratings for astronomical observation Noboru Ebizuka（*）、 Takayuki Okamoto（*）、 Masahiro Takeda（*）、 Takuya Hosobata（*）、 Yutaka Yamagata（*）、 Minoru Sasaki、 Ichi Tanaka（*）、 Takashi Hattori （*）、 Shinobu Ozaki（*）、 Wako Aoki（*） 2019年11月14日
2019 Estimation of electricity storage capacity of compact SMESs composed of stacks of Si-wafers loaded with superconducting thin film coils in spiral trenches formed by MEMS process Y. Ichiki（*）、 A. Ichiki（*）、 T. Hioki（*）、 Minoru Sasaki、 J.-H. Noh （*）、 O. Takai（*）、 H. Honma（*）、 T. Motohiro（*） 2019年09月01日
2019 フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成　― テクスチャリング用レリーフの一括形成 ― 佐々木 実、 弓削英翔、 鈴木大瑛 2019年07月
2018 Electrostatically Driven Isolated Voltage Sensor. Nguyen Hai Minh、 Minoru Sasaki 2019年02月28日
2018 Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass Minoru Sasaki、 T.-T.-N. Nguyen、 H. Odaka、 T. Tsutsumi、 K. Ishikawa、 M. Hori 2019年02月13日
2018 Batch Fabrication of Nano-Gap Electrode Array Using Photo-Patterning and Resist UV-curing Nguyen Hai Minh、 Mako Kumeuchi、 Shinya Kumagai、 Kenji Ishikawa、 Masaru Hori、 Minoru Sasaki 2019年01月
2018 Grating Fabrication for Wavelength Selective Infrared Emitter Using Surface Plasmon Polariton. Nguyen Hai Minh、 Minoru Sasaki 2018年11月12日
2018 Fabrication of 3-stepped Spiral Trench with Smooth Sidewall at Nano-level to Deposit Superconducting Material for Energy Storage Minoru Sasaki、 Che-Wei Hsu、 Yasuhiro Suzuki、 Tatsumi Hioki、 Joo-hyong Noh、 Osamu Takai、 Hideo Watanabe、 Hideyuki Doy、 Tomoyoshi Motohiro 2018年11月
2018 Respiratory Motion Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin in Daily Activities Makie Terazawa、 Momoko Karita、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2018年10月24日
2018 Optofluidic Device for Measuring Cell Response Against Mechanical Stimulation. Motohide Yoshimi、 Shinya Kumagai、 Yasutake Ohishi、 Minoru Sasaki 2018年09月
2017 Processing thin-film membrane and dry etching release of torsional resonator for uncooled infrared sensor Tomoya Hatagaki、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2018年03月08日
2017 A Novel Designed High-Density Atmospheric Pressure Inductively Coupled Plasma Remotely Generated at the Downstream Side of a Quartz Tube Using a Floating Wire Thi-Thuy-Nga Nguyen（*）、 Minoru Sasaki、 Hidefumi Odaka（*）、 Takayoshi Tsutsumi（*）、 Kenji Ishikawa（*）、 Masaru Hori（*） 2018年03月05日
2017 PATTERNING VERTICAL SIDEWALL USING STANDARD ALIGNER Kenji Wasa（*）、 Shigenori Saito（*）、 Fumitaka Sahara（*）、 Minoru Sasaki 2018年01月23日
2017 Replacement of NbN by YBa2Cu3O7-δ in Superconducting Thin Film Coil in a Spiral Trench on a Si-Wafer for Compact SMESs Yushi Ichiki（*）、 Kazuhiro Adachi（*）、 Yasuhiro Suzuki（*）、 Masami Kawahara（*）、 Akihisa Ichiki（*）、 Tatsumi Hioki（*）、 Che-Wei Hsu、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki、 Tomoyoshi Motohiro 2017年12月15日
2017 Insulated Voltage Sensor Using Resonator Withstanding Higher Voltage Y. Wada、 N. Nobunaga、 Shinya Kumagai、 H. Ishihara、 M. Ishii、 Minoru Sasaki 2017年11月08日
2017 Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for CO2 Gas Sensing Hiroki Ishihara（*）、 Katsuya Masuno（*）、 Makoto Ishii（*）、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2017年10月
2017 Respiratory Sensor Continuously Attached on the Abdomen M. Terasawa、 M. Karita、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2017年09月20日
2017 Cu Thin Film Polyimide Heater for Nerve-Net Tactile Sensor Yusuke Suganuma（*）、 Minoru Sasaki、 Takahiro Nakayama（*）、 Masanori Muroyama（*）、 Yutaka Nonomura （*） 2017年09月
2017 Uncooled Infrared Sensor Using Torsional Resonator and Electrostatic Detection Tomoya Hatagaki、 Shinya Kumagai、 Kyu Chang Park（*）、 Minoru Sasaki 2017年08月16日
2017 Photolithography Based Nano-Gap Formation Realized by Additional Pattern Transfer on UV-Cured Resist Nguyen Hai Minh、 M. Kumeuchi、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2017年08月
2017 Complete Fabrication of a Traversable 3um Thick NbN Film Superconducting Coil with Cu plated layer of 42m in Length in a Spiral Three-Storied Trench Engraved in a Si Wafer of 76.2 mm in Diameter Formed by MEMS Technology Y. Suzuki（*）、 N. Iguchi（*）、 K. Adachi（*）、 A. Ichiki（*）、 T. Hioki（*）、 C.-W. Hsu、 R. Sato、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki、 Tomoyoshi Motohiro（*） 2017年
2017 MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化 和田祐樹、 延永尚記、 熊谷慎也、 石原裕己（*）、 石居真（*）、 佐々木 実 2017年
2016 Plasma cell treatment device Plasma-on-Chip: Monitoring plasma-generated reactive species in microwells Jun-Seok Oh（*）、 Shinya Kojima、 Minoru Sasaki、 Akimitsu Hatta（*）、 Shinya Kumagai 2017年02月08日
2016 Diffraction Gratings for the Latest Visible and Infrared Astronomical Observations Noboru Ebizuka（*）、 Takayuki Okamoto（*）、 Miyuki Uomoto（*）、 Takehito Shimatsu（*）、 Minoru Sasaki、 Andrea Bianco（*）、 Chris Packham（*）、 Wako Aoki（*） 2017年02月
2016 Lifted Bottom of microfluidic Channel for Cell Absorption Spectroscopy Using Optical Fibers Motohide Yoshimi、 Shinya Kumagai、 Yasutake Ohishi、 Minoru Sasaki 2017年01月19日
2016 Light-absorbent liquid immersion angled exposure for patterning 3D samples with vertical sidewalls Shinya Kumagai、 Hironori Kubo（*）、 Minoru Sasaki 2017年01月13日
2016 Outline Fine Pattern Generation Using Partial UV Curing of Photoresist Takuya Iwamoto、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2017年01月
2016 Plasma-on-chip device for stable irradiation of cells cultured in media with a low-temperature atmospheric pressure plasma Tomohiro Okada、 Chun-Yao Chang、 Mime Kobayashi（*）、 Tetsuji Shimizu（+）、 佐々木 実、 熊谷慎也 2016年04月05日
2016 Frequency Response Based Analysis of Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin Makie Terasawa、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2016年04月
2015 Design of microplasma electrodes for plasma-on-chip devices C.-Y. Chang（台湾 中興大）、 佐々木 実、 熊谷慎也、 G.-J. Wang（台湾 中興大） 2016年03月14日
2015 Liquid Immersion Angled Exposure for 3D Photolithography Takafumi Hosono、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2016年03月
2015 Development of plasma-on-chip: Plasma treatment for individual cells cultured in media Shinya Kumagai、 C.-H. Chang（Micromechatronics）、 Jeong Jong Hyeon、 M. Kobayashi（NAIST）、 T. Shimizu（terraplasma, GmbH）、 Minoru Sasaki 2015年10月29日
2015 Collecting biological samples for accurate optical absorption spectroscopy Yuichiro Matsuura、 Shinya Kumagai、 Dinghuan Deng、 Yasutake Ohishi、 Minoru Sasaki 2015年06月22日
2014 Micromechanical IR thermal detector using torsional oscillation: Improvement of resonator profile for high sensitivity Jeong Jong Hyeon、 Shinya Kumagai、 Ichiro Yamashita（NAIST）、 Yukiharu Uraoka（NAIST）、 Minoru Sasaki 2015年03月20日
2014 Thermocouples fabricated on trench sidewall in micro fluidic channel bonded with film cover Takahiro Yamaguchi（豊田工大）、 Masahiro Shibata（豊田工大）、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2015年03月
2014 Effect of Shielding a Floating Electrode on the Power Efficiency of a Micro-plasma VUV Light Source Ryoto Sato（豊田工業大学）、 Daisuke Yasumatsu（豊田工業大学）、 Shinya Kumagai、 Masaru Hori（名古屋大学）、 Minoru Sasaki 2015年03月
2014 A microfluidic chip for generating reactive plasma at gas-gas interface formwd in laminar flow Masahiro Hashimoto（豊田工大）、 Katsuki Tsukasaki（豊田工大）、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2015年01月
2014 Localized plasma irradiation through a micronozzle for individual cell treatment Ryutaro Shimane（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 Hiroshi Hashizume（Meijo University）、 Takayuki Ohta（Meijo University）、 Masafumi Ito（Meijo University）、 Masaru Hori（Nagoya University）、 佐々木 実 2014年10月01日
2014 Multiple-height microstructure fabricated by deep reactive ion etching and soft resist masks combined with UV curing 佐々木 実、 R Sato（マイクロメカトロニクス）、 T Sawada（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 2014年06月03日
2014 A Novel Infrared Detector Using Highly Nonlinear Twisting Vibration 佐々木 実、 Tatsuya Yamazaki（豊田工大）、 Shouhei Ogawa（豊田工大）、 熊谷慎也 2014年06月01日
2014 Etching Profile Control of Alignment Spring for Combining MEMS Micro-Channel Device and Optical Fibers 佐々木 実、 Hikaru IIMURA（マイクロメカトロニクス）、 ディンハン　デン、 大石泰丈、 熊谷慎也 2014年
2013 A Novel Infrared Detector Using Highly Nonlinear Twisting Vibration Tatsuya Yamazaki（マイクロメカトロニクス）、 Shouhei Ogawa（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2014年03月19日
2013 Improving the Quality Factor of Polycrystalline Si Thin-Film Micromechanical Resonator by Metal-Induced Lateral Crystallization Using Biomineralized Ni Nanoparticles 熊谷慎也、 冨川崇（マイクロメカトロニクス）、 小川翔平（マイクロメカトロニクス）、 山下一郎（奈良先端科学技術大学院大学）、 浦岡行治（奈良先端科学技術大学院大学）、 佐々木 実 2013年11月25日
2013 An atmospheric pressure inductively coupled microplasma source of vacuum ultraviolet light Ryoto Sato、 Daisuke Yasumatsu、 Shinya Kumagai、 Keigo Takeda、 Masaru Hori、 Minoru Sasaki 2013年09月
2013 Micro-Channel Device for Spectrum Measurement Using Optical Fiber Aligned with Bias Spring with Reversely Tapered Profile. Hikaru Iimura、 Dinghuan Deng、 Shinya Kumagai、 Yasutake Ohishi、 Minoru Sasaki 2013年08月
2013 Non-Contact Voltage Measurement Using a Micro-Resonator Satoshi Hasegawa、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2013年
2012 Theoretical Electromagnetic Field Calculation of a Floating Metal Wire for Inductively Coupled Micro Plasma Using Spiral Coil Yun KyYoul、 Keisuke Fujisaki、 Minoru Sasaki 2013年01月21日
2012 A MICROPLASMA CHIP FOR VUV LIGHT SOURCE 佐藤龍仁（マイクロメカトロニクス）、 安松大輔（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 2013年01月
2012 Micro-Oscillator for Non-Contact Voltage Sensing 佐々木 実、 長谷川聡（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也 2012年12月06日
2012 Minimising plasma irradiation area by micronozzle device towards single-cell treatment 島根竜太郎（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 2012年12月
2012 Improving Crystallinity of Thin Si Film for Low-Energy-Loss Micro-/Nano-Electromechanical Systems Devices by Metal-Induced Lateral Crystallization Using Biomineralized Ni Nanoparticles Shinya Kumagai、 Hiromu Murase、 Syusuke Miyachi、 Nobuaki Kojima、 Yoshio Ohshita、 Masafumi Yamaguchi、 Ichiro Yamashita、 Yukiharu Uraoka、 Minoru Sasaki 2012年11月20日
2012 Wearable Capacitive Breathing Sensor クンドゥスブラタクマル（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 2012年09月
2012 Infra-Red Absorption Spectrum Measurement Combining Si Microfluidic Trench and Supercontinuum Light from Fiber 大羽祥平（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 川島浩靖（光機能物質）、 大石泰丈、 佐々木 実 2012年09月
2012 Controlling Crystallized Domain Positions in Poly-Si Film by using Ni Ferritin for Low Energy Loss and High Efficiency MEMS/NEMS Devices 冨川崇（マイクロメカトロニクス）、 小川翔平（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 山下一郎（奈良先端大）、 浦岡行治（奈良先端大）、 佐々木 実 2012年09月
2012 Analysis of Hard Spring Effect of Tense Poly-Si Torsion Bar of Micromirror クンドゥ スブラタ クマル（マイクロメカトロニクス）、 小川翔平（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 藤島正幸（東北大学）、 羽根一博（東北大学）、 佐々木 実 2012年08月
2012 Micro-Power Source of Si Photo Cells Connected across Vertical Sidewalls for Light Receiving and High Voltage Generation 山本太一（マイクロメカトロニクス）、 久保裕慎（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 2012年08月
2012 A Spatial Light Modulator Fabricated with Bionano-Crystallized Poly-Si film 熊谷慎也、 冨川崇（マイクロメカトロニクス）、 小川翔平（マイクロメカトロニクス）、 宮地修輔（マイクロメカトロニクス）、 山下一郎（奈良先端大）、 浦岡行治（奈良先端大）、 佐々木 実 2012年08月
2012 Molecular Measurement Based on Infra-Red Absorption Spectrum Using Supercontinuum Light from Fiber 大羽祥平（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 川島 浩靖（光機能物質）、 大石泰丈、 佐々木 実 2012年08月
2012 Molecular Measurement Based on Infra-Red Absorption Spectrum Using Supercontinuum Light from Fiber. S. Ohba、 S. Kumagai、 H. Kawashima、 Yasutake Ohishi、 Minoru Sasaki 2012年08月
2012 Macro Model Study for Nonlinear Spring of Tense Torsion Bar in Gap-Closing Type Electrostatic Micromirror Gyu Il Shim（マイクロメカトロニクス）、 Ryoichi Mimoto（マイクロメカトロニクス）、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2012年07月25日
2012 A MICRO NOZZLE DEVICE TOWARDS PLASMA TREATMENT OF A CELL 島根竜太郎（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 堀勝（名古屋大学）、 佐々木 実 2012年07月09日
2012 SURFACE FLATNESS OF DRUM-TYPE AND COLUMN-TYPE MICROMIRRORS IN STATIC AND DYNAMIC CONDITIONS クンドゥ スブラタ クマル、 疋田晃義（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 2012年07月09日
2012 Infrared collecting lens having millimeter-size diameter integrated with Si photo cell 青沼拓朗（マイクロメカトロニクス）、 熊谷慎也、 佐々木 実 2012年05月25日
2012 Investigation of Optical Flatness of Stretched Membrane Drum-Type Micromirror Kundu Subrata Kumar、 Akiyoshi Hikita、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2012年05月15日
2011 3-Dimensional Electromagnetic Field Calculation of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil Keisuke Fujisaki、 Yun KyYoul、 Minoru Sasaki 2012年03月06日
2011 Photoresist Spray Coating Using a Shield Plate with an Aperture for Uniform Deposition onto Trench-Type Three-Dimensional Microdevice Structures kumagai shinya、 Fukuda Naoya、 Tajima Hisayoshi、 Minoru Sasaki 2012年02月20日
2011 Wireless Driving of a Micromirror Device by Electoromagnetic Excitation Tuned to Mechanical Resonance of Rotation kumagai shinya、 Ohnishi Narimune、 Minoru Sasaki 2012年01月31日
2011 3-D WIRING ACROSS VERTICAL SIDEWALLS OF SI PHOTO CELLS FOR SERIES CONNECTION AND HIGH VOLTAGE GENERATION kumagai shinya、 T. Yamamoto、 H. Kubo、 Minoru Sasaki 2012年01月29日
2011 Floating Wire for Enhancing Ignition of Atmospheric Pressure Inductively Coupled Microplasma kumagai shinya、 Asano Hirotaka、 Hori Masaru（Nagoya University）、 Minoru Sasaki 2012年01月20日
2011 Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Selective Ashing of Resist Layer Combined with UV Curing kumagai shinya、 Akiyoshi Hikita、 Takuya Iwamoto、 Takashi Tomikawa、 Minoru Sasaki 2012年01月20日
2011 Evaluation of Stress Concentration and Deformation of Drum-Type Micromirror 佐々木 実、 S. K. Kundu、 A. Hikita、 S. Kumagai 2011年12月08日
2011 Multi-Wavelength Selective IR Emission Using Surface Plasmon Polaritons for Gas Sensing Katsuya Masuno、 Takahiro Sawada、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2011年11月15日
2011 Dynamic Deformation of Stretched Membrane in Drum-Type Micromirror Subrata Kumar Kundu、 Akiyoshi Hikita、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki 2011年11月06日
2011 Flow Analysis of Photoresist Spray Coating towards Improving Coverage on Three-Dimensional Structures kumagai shinya、 Tajima Hisayoshi、 Minoru Sasaki 2011年10月20日
2011 Novel Atmospheric Pressure Inductively Coupled Micro Plasma Source kumagai shinya、 Matsuyama Hiroki、 Yokoyama Yoshihiro、 Hori Masaru、 Minoru Sasaki 2011年08月22日
2011 Infrared collecting lens having millimeter-size diameter integrated with Si photo cell 佐々木 実、 熊谷慎也、 Takuro Aonuma 2011年
2010 Enhanced Contrast of Wavelength-Selective Mid-Infrared Detectors Stable against Incident Angle and Temperature Changes Masuno Katsuya（マイクロメカトロニクス）、 kumagai shinya、 Kohji Tashiro、 Minoru Sasaki 2011年03月22日
2010 Light-Weighted Micromirror Fabricated Using Stacked Photoresist Masks Realized by UV Curing A. Hikita、 T. Iwamoto、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2011年03月
2010 Ignition characteristics of planer micro-plasma source using floating sheet electrode Y. YOKOYAMA、 H. MATSUYAMA、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2011年03月
2010 Multiple-height Microstructure Fabricated by ICP-RIE and Masking Layers Using Only Photoresists A. HIKITA、 T. IWAMOTO、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2011年03月
2010 UV curing of photoresist for MEMS processes T. IWAMOTO、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2011年03月
2010 Reflection-type wavelength-selective infrared emitter using surface plasmon polaritons Masuno Katsuya（マイクロメカトロニクス）、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2011年01月28日
2010 Proposal of High-Density Packaging Construction and Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall Using Spray Coating Technology Morii Hiroki、 Oohira Fumikazu、 Suzuki Takaaki、 Terao Kyohei、 Minoru Sasaki、 Ochi Toshihiko、 Yuzuriha Asumi、 Wani Katsuhito 2011年01月
2010 Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror Shouhei Ogawa、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2010年12月
2010 Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Patient Monitoring Outside the Hospital Katsuya Masuno、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2010年11月
2010 Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Source with Floating Electrode kumagai shinya、 Hiroki Matsuyama、 Masaru Hori、 Minoru Sasaki 2010年10月
2010 Enhanced Contrast of Wavelength Selective Mid-IR Detector Stable against Temperature Change Masuno（Katsuya）、 Kumagai（Shinya）、 Tashiro（Kohji）、 Hori（Masaru）、 Minoru Sasaki 2010年10月
2010 Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Downsizing Sensor Module Katsuya Masuno、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2010年09月
2010 Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Light Source towards Portable Spectrometry System Kumagai（Shinya）、 Matsuyama（Hiroki）、 Hori（Masaru）、 Minoru Sasaki 2010年09月
2010 Absorbent liquid immersion angled exposure for 3D Photolithography Hironori Kubo、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2010年08月
2010 Large-size Infrared Reflow Microlens Based on Stacked Layers Takuro Aonuma、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2010年08月
2010 Contrast Enhancement of Wavelength-Selective Detection of Mid-Infrared Using Localized Atmospheric-Pressure Plasma Treatment Katsuya Masuno（マイクロメカトロニクス）、 Kohji Tashiro、 Masaru Hori、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2010年04月20日
2010 Characteristics of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil H. ASANO、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2010年03月
2010 Buckled Bridges Using Film Stress for Three-Dimensional Structures, -Effects of lateral designs to vertical profiles and dynamic characteristics- Minoru Sasaki、 Kazuhiro Hane、 Danick Briand、 Wilfried Noell、 Nicolaas F. de Rooij 2010年
2009 Wireless Driving of Micromirror Using Electromagnetic Induction Minoru Sasaki、 Narimune Ohnishi、 kumagai shinya、 Kazuhiro Hane 2009年
2009 Liquid Immersion Angled Exposure for 3D Photolithography Minoru Sasaki、 Takafumi Hosono、 kumagai shinya 2009年
2009 Thermopile IR Detector Integrated with Wavelength Selective Filter Stable Against Temperature and Incident Angle Change Masuno Katsuya、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki、 Kohji Tashiro 2009年
2009 Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror Minoru Sasaki、 kumagai shinya、 Masayuki Fujishima、 Kazuhiro Hane、 Hideo Miura 2009年
2009 Three-dimensional photolithography based on spray coating of photoresist Minoru Sasaki、 kumagai shinya 2009年
2009 Microactuator Using Tensile Thin Film Minoru Sasaki 2009年
2009 Nanomachining combined with bulk micromachining Minoru Sasaki、 kumagai shinya 2009年
2009 Tensile Thin Film for MEMS Devices Minoru Sasaki 2009年
2009 Extending Rotation Range Confirmed by Macro Model of Gap-closing Type Electrostatic Micromirror Controlling Non-linearity of Torsion Bar Shim Gyu IL、 Ryoichi Mimoto、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2009年
2009 Atmospheric Pressure Plasma for Localized Material Deposition on IR Sensor K. MASUNO、 Kohji Tashiro、 M. HORI、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2009年
2009 Characteristics of Improved Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device Takuro AONUMA、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki、 Motoki TABATA、 Kazuhiro HANE 2009年
2009 Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and Low-Voltage Driving of Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si Minoru Sasaki、 Masayuki Fujishima、 Kazuhiro Hane、 Hideo Miura 2009年
2009 温度依存性の少ない分光機能集積型赤外線ディテクタ 桝野雄矢、 熊谷慎也、 佐々木 実 2009年
2008 Characteristics of Improved Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device Takuro AONUMA、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki、 Motoki TABATA、 Kazuhiro HANE 2009年
2008 An Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress Minoru Sasaki、 Takashi Sasaki、 Kazuhiro Hane、 Hideo Miura 2008年
2008 Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates Minoru Sasaki、 Fuminori BONO、 Kazuhiro HANE 2008年
2008 Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges Minoru Sasaki、 Satoshi Endou、 Kazuhiro Hane 2008年
2008 Characteristics and Improved Design of Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device T. Aonuma（M1）、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki、 M. Tabata（東北大学）、 K. Hane（東北大学） 2008年
2008 スプレーコーティングしたレジスト膜の評価方法の検証 田嶋久義、 佐々木 実 2008年
2008 スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側壁への配線形成技術 森井裕貴、 大平文和、 佐々木 実、 越智寿彦、 杠明日美、 和爾克人 2008年
2008 MEMS用アッシング装置に開発 岩本拓也、 佐々木 実、 熊谷慎也 2008年
2008 ギャップクロージング型静電マクロミラーのマクロモデルよるpull-in現象解析 味元良一、 佐々木 実、 熊谷慎也 2008年
2008 Micromirror Using Thin Film Torsion Bar with Crystallization-Induced Stress Minoru Sasaki、 Masayuki Fujishima、 Hideo Miura、 Kazuhiro Hane 2008年
2008 Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si Minoru Sasaki、 Masayuki Fujishima、 Kazuhiro Hane、 Hideo Miura 2008年
2008 Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall using Spray Coating and Angled Exposure Technologies H. Morii、 F. Oohira、 Minoru Sasaki、 T. Ochi、 A. Yuzuriha 2008年
2008 Piezoresistive Rotation Angle Sensor in Micromirror for Feedback Control Takuro Aonuma、 Minoru Sasaki、 kumagai shinya、 Motoki Tabata、 Kazuhiro Hane 2008年
2008 Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device Takuro Aonuma、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki、 Motoki Tabata、 Kazuhiro Hane 2008年
2008 Nonlinear Rotational Spring with Tension for Stabilizing Electrostatically Driven Micromirror Minoru Sasaki、 kumagai shinya、 K. Hane 2008年
2008 Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress Minoru Sasaki、 K. Hane、 D. Briand、 W. Noell、 N. de Rooij 2008年
2008 Combination of LOCOS process and plasma Si etching using delayed mask for integrating sensor inside micromirror kumagai shinya、 T. Aonuma、 Minoru Sasaki、 M. Tabata、 K. Hane 2008年
2008 Liquid immersion angled exposure technique for 3D photolithography TAKAFUMI HOSONO、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki 2008年
2008 Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching Minoru Sasaki、 kumagai shinya、 KAZUHIRO HANE 2008年
2008 Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device T.Aonuma（M1）、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki、 M.Tabata（東北大学）、 H.Hane（.東北大学） 2008年
2008 機器のヘルスモニタリング用ＭＥＭＳセンサについての考察 佐々木 実、 熊谷慎也、 青沼　拓朗、 上野 明、 徐 超男（産業技術総合研究所） 2008年
2008 Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress Minoru Sasaki、 Takashi Sasaki、 Kazuhiro Hane、 Hideo Miura 2008年
2008 Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges Minoru Sasaki、 Satoshi Endou、 Kazuhiro Hane 2008年
2008 Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates Minoru Sasaki、 Fuminori Bono、 Kazuhiro Hane 2008年
2007 Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure Hayato Izumi、 Yohei Matsumoto、 Seiji Aoyagi、 Yusaku Harada、 Shoso Shingubara.、 Minoru Sasaki、 Kazuhiro Hane、 Hiroshi Tokunaga 2007年
2007 Angled Exposure Method for Pattering on Three-Dimensional Structures Vijay Kumar SINGH、 Minoru Sasaki、 Kazuhiro HANE 2007年
2007 Micromirror Using Stretched Thin Film for Lower Electrostatic Driving Voltage and Higher Resonant Frequency Minoru Sasaki 2007年
2007 Anodic Wafer Bonding Realizing Ball Lens Assembly for Absolute Micro-encoder Minoru Sasaki、 Fuki Nakai、 Kazuhiro Hane 2007年
2007 Optically Flat Micromirror Designs Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress Minoru Sasaki、 Takashi Sasaki、 Kazuhiro Hane、 Hideo Miura 2007年
2007 Development of MEMS Capacitive Sensor USING a MOSFET Structure Hayato Izumi、 Yohei Matsumoto、 Seiji Aoyagi、 Yusaku Harada、 Shoso Shingubara、 Minoru Sasaki、 Kazuhiro Hane、 Hiroshi Tokunaga 2007年
2007 Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror Minoru Sasaki、 Shinya Yuki、 Kazuhiro Hane 2007年
2007 Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates Minoru Sasaki、 Fuminori Bono、 Kazuhiro Hane 2007年
2007 Passivated Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Minoru Sasaki、 Motoki Tabata、 Kazuhiro Hane 2007年
2007 Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress Minoru Sasaki、 Takashi Sasaki、 Kazuhiro Hane、 Hideo Miura 2007年
2007 DRIVING OF MICROMIRROR AND SIMULTANEOUS DETECTION OF ROTATION ANGLE USING INTEGRATED PIEZORESISTIVE SENSOR Minoru Sasaki、 Motoki Tabata（Tohoku University）、 Kazuhiro Hane（Tohoku University） 2007年

プロフィール

学位 博士(工学)  
生年月日 年齢
所属研究室 マイクロメカトロニクス研究室
研究分野 立体部品への微細加工（三次元フォトリソグラフィ）、MEMS
URL http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
最終学歴 名古屋大学 大学院工学研究科博士課程
職歴 豊田工業大学 教授　（2007年04月～現在）
東北大学大学院工学研究科 助教授　（2001年11月～2007年03月）
東北大学大学院工学研究科　 講師　（2000年07月～2001年10月）
東北大学工学部　助手　（1996年01月～2000年07月）
日本学術振興会　特別研究員(PD)　（1995年04月～1995年12月）
主な研究論文 ・N. Nobunaga, S. Kumagai, M. Sasaki, "Bipolar Electrostatic Driving of Isolated Micro-Resonator for Sensing High Voltage of Battery Output with Resolution" Int. J. Automation Tech., Vol.16 No.4 (2022) pp.464-470.
・M. Karita, S. Kumagai, M. Sasaki, "Respiration Monitoring During 6-min Walk Using Wearable Sensor Measuring Capacitance Built Across Skin", Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 61 (2022) SA1010.
・T. Yamamoto, H. Kubo, S. Kumagai, S. Saito, F. Sahara, K. Wasa, M. Sasaki, "Patterning vertical sidewall for optical assembly", J. Optical Microsystems, Vol. 1, No. 2 (2021) 023501.
・佐々木実, 弓削英翔, 鈴木大瑛「フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成　― テクスチャリング用レリーフの一括形成 ―」日本塑性加工学会論文誌「塑性と加工」Vol. 60, No.702, pp.195-202 (2019-7)
・T.-T.-N. Nguyen, M. Sasaki, H. Odaka, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Hori, “Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass，J. Appl. Phys. Vol. 125, pp. 063304（2019）
・H. Ishihara, K. Masuno, M. Ishii, S. Kumagai, M. Sasaki, “Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for CO2 Gas Sensing, Materials，10 (9), No. 1085, pp. 2017
・和田祐樹，延永尚記，熊谷慎也，石原裕己，石居真，佐々木実, “MEMS 振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化，電気学会論文誌E Vol. 137, No. ８, pp. 239-244 （2017）
学会活動 ・（公財）科学技術交流財団 第１回「三次元リソグラフィと精密加工技術の融合」研究会 座長
・2018 Program Committee of Solid State Devices and Materials, Area 7 Organic / Molecular / Bio-electronics
・2018 Guest Editor, MDPI Micromachines, Special Issue on "Advanced MEMS/NEMS Technology"
・2022年度～　塑性加工学会　金型分科会　幹事
・2018年4月～ 電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム（MSS）技術委員会 委員長
・2013 General Chair of IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
・2010年5月～2013年4月（社）電気学会 スマートグリッド特別研究グループ E部門委員
・2009～2010年度 JSTイノベーションプラザ東海「マイクロシステム応用研究会」座長
社会活動（研究に関する学会活動以外） 日本機械学会 東海支部「小中学生のためのハイテクイベント」2011.8.2 への出展
文部科学省 ナノテクノロジープラットフォーム　2012-2021年度　微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム 実施責任者
文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ　2021-2030年度　実施責任者 
学内運営（委員会活動等） ナノテクノロジープラットフォーム運営部会 議長 2012-2021年度
マテリアル先端リサーチインフラ運営部会 議長 2022年度から 
担当授業科目 学部：機械振動学、特別講義（台湾中興大学とオンライン接続）、機構学、工学実験 
修士：微小機械学aおよびb、機械力学 
教育実践上の主な業績 １　教育内容・方法の工夫（授業評価等を含む）

機械振動学（2019-2021年度）
2014年度から立ち上げた機械振動学の授業を改善してきた。中間テストは解答を詳細に説明して、後半の学びに支障が生じ難いように配慮した。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。コロナ禍にてオンライン授業を組み合わせるようになったこともあり、毎回の授業のポイントを明示し、出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

工学実験（2019-2021年度）
「連続体の振動」を担当した。機械振動学の内容と接続を高め、理解し易くした。2020年の学生が出校不可になった時期でも、自宅で手配できる広告紙を用いて、振動モードの節について妥当な実験結果が得られることで実験を行った。出校可になった後は、振動子の材料バリエーションを増やす工夫を加えた。

機構学（2019-2021年度）
2019年度から新しく授業担当となった。学生の興味を出させること、理解を促進させること、を目指して教科書を変更した。中間テストも用意して、歯車機構までを授業でカバーした。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

特別講義（エネルギー関係）（2019-2021年度）
特別講義2回分（台湾 中興大と共同web配信）の授業内容を更新し、レポート課題を毎回新しくした。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

機械力学特論（2019-2021年度）
前半は英語テキストを使い、後半は日本語テキストとMatlabを利用した。各人の計算機を利用してFEM解析の基礎を学ぶ。少しずつ後半の内容を充実させた。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

微小機械学 aおよびb（2019-2021年度）
微小機械学の授業内容を更新した。2017年度からaとbの各々1単位科目に分け、クオーター制に対応した。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

創造性開発セミナー（2019-2021年度）
創造性開発セミナーを進める学生に、付き添う形でコメント等をした。担当となった機構学の知見が、アドバイス内容に関係するようになた。

マイクロメカトロニクスセミナー（2019-2021年度）
修士学生（ダブルディグリー学生を含む）の研究テーマに合わせて、基礎となる学術部分の学習を行った。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。


２　作成した教科書、教材、参考書

機械振動学（2019-2021年度）
2020年以降は主にGoogle classに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

工学実験（2019-2021年度）
「連続体の振動」実験テキストを推敲した。高校レベルからの前提となる基礎を復習して実験に臨むことで位置付けを明確にした。振動を引き起こす力の強いアクチュエータを見つけたことで、振動振幅が大きくなり、学生には見易くなった。

機構学（2019-2021年度）
2020年以降は主にGoogle classに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。

特別講義（エネルギー関係）（2019-2021年度）
学生に配布する講義資料を推敲した。2022年度は、学生が解けなかった課題に対して、解答を台湾の中興大にも示した。

機械力学特論（2019-2021年度）
2020年以降は主にGoogle classに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

微小機械学 aおよびb（2019-2021年度）
学生に配布する講義資料を推敲した。2020年以降は主にGoogle classに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。


３　教育方法・教育実践に関する発表、講演等

該当なし


４　その他教育活動上特記すべき事項

社会人向け実習・講習会（有料、例年9月開催、定員約40名満員）（2019年度）
熱電対デバイスの試作テーマを立ち上げ、毎年少しずつ内容とテキストを改善した。「MEMSセンサと製作プロセス －車載･人検出センサ－」のテーマにて講演を行う。関係教員が減ったため、講演だけでなく実習でも電子ビーム蒸着の担当をこなした（2019年度は名古屋大学の支援員の協力を受けた。実習のための事前指導を行った。）。

マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）学生研修（2022年度）
他大学学生（徳島大学の学生１名）向けの実習を３日間受け入れた。

社会人向け実習・講習会（有料、2019年度は3/4-5の1回）
マスクレスリソグラフィによる小規模講習会を行った。試作サンプルのCADデザインを工夫することで、撥水パターンの領域をほぼウェハ全面に用意できるように改良した。また、利用する撥水剤の薬品を、新しいものを試して使った。毎回、受講者の要望を汲取って、実習内容を改善している。

ナノテクPFのナノ・マイクロ加工実践セミナー実習コース（無料、2020年の2/27, 3/3, コロナ対策で実験キット送付の３回）（2019年度）
バイオ応用向けマイクロ流路試作に本学が対応できるようにするため、小規模講習会を行った。企業から２名、他大学教員１名が参加。

オープンキャンパスでの授業と実験（7/14）（2018年度）
オープンキャンパスの中で「小さなセンサが拓く世界」の授業を行った。加速度センサの簡単な実験を合わせて実施した。

高校生向け授業と実験 2019は7/23と10/19、2022は9/24（2019, 2022年度）
2015年度に「加速度センサ」実験テーマを立ち上げたが、これを大幅改良した。以前は、市販の加速度センサを電気配線して利用する内容で、高校生向け実験としては長時間の用意とコストがかかった。これを、スマートフォンに内蔵されているものでできるようにした。スマートフォンは中古品を入手し、フリーWifiを使ってアプリをインストールした。より良いアプリに変えるなど、高校生にとって、より馴染み易いテーマに変更できた。

１年生（Eグループ）むけアカデミックアドバイザー（2021年度）

ナノテクPF技術支援員（新人）の技術指導（2019-2021年度）
2018年6月に入職した、アルバイト雇用の技術支援員を技術指導した。週2-3日ながら、毎回の仕事内容を設定した。特に、ナノテクの代表である電子ビーム描画装置の操作を習得してもらい、名古屋大学や企業向け支援に対応できるようにした。その後も、技能を高め、2020年度に専門技術者の称号を付与された。

サマーセミナーでのベトナム学生１名を受け入れ（2019年度）
「振動計測（微小振動子の応用を目指して）」のテーマで、実験と考察を指導した。
サマーセミナー（オンライン形式）にて「MEMS sensors and microfabrication」のテーマで講演とオンラインごしにスマートフォンを使った実験を実施（2022年度）

文科省ナノテクPF微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
第10回技術セミナー（2021.11.24）チュートリアル「マイクロアクチュエータの基礎」講師
第8回技術セミナー（2021.8.25）「SiのCVDと薄膜利用MEMS」講師
文科省ナノテクPF微細加工シンポジウムにて「曲面・立体への３次元フォトリソグラフィ微細加工」を発表。（2020年3月6日）

応用物理学会春季学術講演会における、半導体Bからの分科企画シンポジウム世話人代表（2019年度）
シンポジウムタイトル「生産現場での活用が進むIoTデバイス技術(2020.3.12)」は新型コロナ感染症拡大防止で予稿集配布で発表扱い、「IoTの発展を支える集積化システム (2019. 3. 10)」では自身も発表。

電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム（MSS）技術委員会 委員長（2018から2023年度まで）
年4回程度開催する研究会いは、実行委員として参画。特に、2020.7.6-7のE部門総合研究会は、電気学会でも早期のオンライン開催の研究会となり、その最高責任者である実行委員長を担った。2023年度では豊田工業大学にてリアル開催を目指して準備中。 
その他

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