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教授 佐々木 実(Minoru Sasaki / ササキ ミノル)

業績

年度 講演名 講演者 講演題目 講演日
2020 第2 回「新産業創出に向けたマイクロセンサデバイス 」 研究会 佐々木 実  ウェアラブル呼気センサ 2020年12月14日
2020 31st IEEE International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science Minoru Sasaki  Respiration Sensor Sewn Inside Belly Band Measuring Capacitance Built Across Skin Allowing Walking Activity 2020年12月07日
2019 2019 年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム シンポジウム 佐々木 実  曲面・立体への3次元フォトリソグラフィ微細加工 2020年03月06日
2019 The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2019) Minoru Sasaki  MEMS-Approaches for Controlling Infrared Thermal Energy in Light Source and Detector 2019年11月07日
2019 3rd International Conference on Photonics Research (Inter Optics 2019) Minoru Sasaki  MEMS-BASED INFRARED LIGHT SOURCE AND DETECTOR 2019年11月04日
2019 2019 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) Minoru Sasaki  Wearable Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin Allowing Walking Motion 2019年09月05日
2019 (公財)金型技術振興財団 令和元年度 研究成果発表会(第19回) 佐々木 実  金型曲面のフォトリソグラフィ微細加工 2019年07月26日
2018 The 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2018) Minoru Sasaki  Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for Gas Sensing 2018年04月23日
2017 第65回 応用物理学会春季学術講演会 特別シンポジウム 佐々木 実  MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサ 2018年03月18日
2017 第7回 可視赤外線観測装置技術ワークショップ 佐々木 実  MEMS技術(曲面への反射防止微細パターン転写、他) 2017年11月17日
2017 The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA) Minoru Sasaki  Fabrication of Trench Having Smooth Sidewall at Nano-level 2017年11月10日
2016 2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics Minoru Sasaki  Silicon MEMS for Two Different Light Sources 2016年08月02日
2016 2016 Collaborative Conference on 3D & Materials Research Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai  3D devices realized by photolithography using spray coating of photoresist 2016年06月22日
2015 The 9th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2015) 佐々木 実、 熊谷慎也  Unconstrained Wearable Respiratory Sensor Across Skin 2015年12月08日
2015 The 5th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2015) 佐々木 実、 熊谷慎也  Wavelength Selective IR Emitter Using MEMS Microheater for CO2 Monitoring 2015年11月14日
2015 15th International Meeting on Information Display Shinya Kumagai、 I. Yamashita(NAIST)、 Y. Uraoka(NAIST)、 Minoru Sasaki  Bio-Nano Crystallization of Amorphous Si Thin-Film for MEMS Devices 2015年08月
2015 平成27年 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 20周年企画 パネルディスカッション 佐々木 実  研究者・技術者のためのE部門の活用方法を考えよう 2015年07月02日
2014 International Conference on Small Science (ICSS 2014) 佐々木 実、 熊谷慎也  MEMS Plasma Source and Combinations with Microfluidic Functions 2014年12月10日
2014 The 8th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2014) 佐々木 実、 熊谷慎也  3D processing using resist spray coating or microplasma nozzle 2014年12月01日
2013 第61回応用物理学会春季学術講演会  熊谷慎也、 山下一郎(奈良先端科学技術大学院大学)、 浦岡行治(奈良先端科学技術大学院大学)、 佐々木 実  バイオナノプロセスのMEMS応用 2014年03月18日
2013 Photonics West 2014 佐々木 実、 熊谷慎也  MEMS Infrared Approaches to Detector Based on Nonlinear Oscillation and Wavelength Selective Emitter Using Surface Plasmon Polariton 2014年02月06日
2013 The 7th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2013) 佐々木 実、 熊谷慎也  Advanced Thermal MEMS for Resonant Infrared Detector Using Nonlinear Oscillation and Wavelength Selective Emitter Using Surface Plasmon Polariton 2013年12月03日
2013 The 4th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2013) 佐々木 実、 熊谷慎也  MEMS Plasma Source and its Applications 2013年11月15日
2013 第3回次世代ものづくり基盤技術産業展 Tech Biz Expo 2013 佐々木 実  マイクロ・ナノ構造を利用した大気圧プラズマ紫外光源とプラズモニック赤外光源 2013年10月11日
2012 The 6th Internatinal Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2012) 佐々木 実、 熊谷慎也  Indirect Plasmonic Thermal MEMS Emitter for Gas Sensing 2012年12月03日
2012 The 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 佐々木 実、 熊谷慎也  Micromachining techniques for wider variety of 3D devices 2012年11月01日
2011 レーザー学会学術講演会第32回年次大会 熊谷慎也、 佐々木 実  レジストのスプレー成膜と斜め露光を用いた立体加工 2012年01月30日
2011 Electromagnetically Energized Wireless Driving of Micromirror 佐々木 実  2011年12月06日
2011 Reflection-type Wavelength Selective IR Emitter Using Surface Plasmon Polariton for Gas Sensing Minoru Sasaki  2011年11月12日
2010 The 17th International Display Workshops, MEET2-3 Minoru Sasaki  Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror 2010年12月02日
2010 独立行政法人 日本学術振興会 将来加工技術第136委員会 研究会 佐々木 実  機械加工とリソグラフィ加工をつなぐ3次元リソグラフィ 2010年04月23日

プロフィール

学位 博士(工学)  
生年月日 年齢
所属研究室 マイクロメカトロニクス
研究分野 立体部品への微細加工(三次元フォトリソグラフィ)、MEMS
URL http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
最終学歴 名古屋大学 大学院工学研究科博士課程
職歴 豊田工業大学 教授 (2007年04月~現在)
東北大学大学院工学研究科 助教授 (2001年11月~2007年03月)
東北大学大学院工学研究科  講師 (2000年07月~2001年10月)
東北大学工学部 助手 (1996年01月~2000年07月)
日本学術振興会 特別研究員(PD) (1995年04月~1995年12月)
主な研究論文 ・佐々木実, 弓削英翔, 鈴木大瑛「フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成 ― テクスチャリング用レリーフの一括形成 ―」日本塑性加工学会論文誌「塑性と加工」Vol. 60, No.702, pp.195-202 (2019-7)
・T.-T.-N. Nguyen, M. Sasaki, H. Odaka, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Hori, “Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass,J. Appl. Phys. Vol. 125, pp. 063304(2019)
・Hiroki Ishihara, Katsuya Masuno, Makoto Ishii, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, “Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for CO2 Gas Sensing, Materials,10 (9), No. 1085, pp. 2017
・和田祐樹,延永尚記,熊谷慎也,石原裕己,石居真,佐々木実, “MEMS 振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化,電気学会論文誌E Vol. 137, No. 8, pp. 239-244 (2017)
・Makie Terazawa, Momoko Karita, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, “Respiratory Motion Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin in Daily Activities, Micromachines Vol. 9, pp. 543(2018)
学会活動 ・2018 Program Committee of Solid State Devices and Materials, Area 7 Organic / Molecular / Bio-electronics
・2018 Guest Editor, MDPI Micromachines, Special Issue on "Advanced MEMS/NEMS Technology"
・2018年4月~ 電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム(MSS)技術委員会 委員長
・2013 General Chair of IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
・2010年5月~2013年4月(社)電気学会 スマートグリッド特別研究グループ E部門委員
・2009~2010年度 JSTイノベーションプラザ東海「マイクロシステム応用研究会」座長
社会活動(研究に関する学会活動以外) 文部科学省 ナノテクノロジープラットフォーム 平成24-33年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム 実施責任者
日本機械学会 東海支部「小中学生のためのハイテクイベント」2011.8.2 への出展参加 
学内運営(委員会活動等) ナノテクノロジープラットフォーム運営部会 議長 2012- 
担当授業科目 学部:機械振動学、特別講義(台湾中興大学とweb接続)、機構学、工学実験 
修士:微小機械学aおよびb、機械力学 
教育実践上の主な業績 1 教育内容・方法の工夫(授業評価等を含む)

機械振動学(2017-2019年度)
2014年度から立ち上げた機械振動学の授業を改善してきた。中間テストは解答を詳細に説明して、後半の学びに支障が生じ難いように配慮した。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。

工学実験(2017-2019年度)
「連続体の振動」を担当した。機械振動学の内容と接続を高め、理解し易くした。

機構学(2019年度から)
新しく授業担当となった。前任者が使っていた教科書を見て、学生の興味を出させること、教科書で理解を促進させること、を目指して教科書を変更した。歯車機構までを(例年と同じ範囲)授業でカバーできた。

特別講義(エネルギー関係)(2017-2019年度)
特別講義2回分(台湾 中興大と共同web配信)の授業内容を更新し、レポート課題を毎回新しくした。

機械力学特論(2017-2019年度)
前半は英語テキストを使い、後半は日本語テキストとMatlabを利用した。各人の計算機を利用してFEM解析の基礎を学ぶ。少しずつ後半の内容を充実させた。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。

微小機械学 aおよびb(2017-2019年度)
微小機械学の授業内容を更新した。2017年度からaとbの各々1単位科目に分け、クオーター制に対応した。

創造性開発セミナー(2017-2019年度)
創造性開発セミナーを進める学生に、付き添う形でコメント等をした。

マイクロメカトロニクスセミナー(2017-2019年度)
修士学生(ダブルディグリー学生を含む)の研究テーマに合わせて、基礎となる学術部分の学習を行った。


2 作成した教科書、教材、参考書

機械振動学(2017-2019年度)
Moodleに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

工学実験(2017-2019年度)
「連続体の振動」実験テキストを推敲した。高校レベルからの前提となる基礎を復習して実験に臨むことで位置付けを明確にした。南棟への引越しに伴う設備調整を行った。振動を引き起こす力の強いアクチュエータを見つけて、振動振幅を大きくし、学生に見易くする改良を行った。

機構学(2019年度)
Moodleに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。

特別講義(エネルギー関係)(2017-2019年度)
学生に配布する講義資料を推敲した。

機械力学特論(2017-2019年度)
Moodleに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

微小機械学 aおよびb(2017-2019年度)
学生に配布する講義資料を推敲した。Moodleに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。


3 教育方法・教育実践に関する発表、講演等

該当なし


4 その他教育活動上特記すべき事項

社会人向け実習・講習会(有料、例年9月開催、定員約40名満員)(2017-2019年度)
熱電対デバイスの試作テーマを立ち上げ、毎年少しずつ内容とテキストを改善した。「MEMSセンサと製作プロセス -車載・人検出センサ-」のテーマにて講演を行う。関係教員が減ったため、講演だけでなく実習でも電子ビーム蒸着の担当をこなした(2019年度は名古屋大学の支援員の協力を受けた。実習のための事前指導を行った。)。2018と2019年度はトヨタ自動車から1名の参加者。

社会人向け MEMS集中講義(会場費の収入有、2018/8/2-4)受講者 約70名(2018年度)
東北大学の江刺教授が、例年行っている集中講義を、2018年は本学で開催した。3日間の集中講義の中で、佐々木は1コマ(1.5時間「豊田工大と、その施設およびMEMS研究紹介」)の授業を担当した。

ナノテクPF学生研修(有料)(2018年度)
上記の、社会人向け実習・講習会に、一緒に参加する形で、群馬大学と大島商船高等専門学校の学生1名ずつを学生研修として受け入れた(希望は毎年募集している)。後の9/28に、東大で発表会があったさいに、挨拶等を行うことも担当した。

企業向け個別講習会(有料、2018/9/14のデンソー向け個別講習)(2018年度)
(株)デンソーむけに、MEMS関連テーマの講演を企業研修として実施した。日程の制限から、上記の一般向け実習・講習会と同時に実施。

社会人向け実習・講習会(有料、2018年度は2/27-28と、3/20と、3/26-27の3回、2019年度は3/4-5の1回)(2018、2019年度)
マスクレスリソグラフィによる小規模講習会を行った。試作サンプルのCADデザインを工夫することで、撥水パターンの領域をほぼウェハ全面に用意できるように改良した。また、利用する撥水剤の薬品を、新しいものを試して使った。毎回、受講者の要望を汲取って、実習内容を改善している。

ナノテクPFのナノ・マイクロ加工実践セミナー実習コース(無料、2020年の2/27, 3/3, コロナ対策で実験キット送付の3回)(2019年度)
バイオ応用向けマイクロ流路試作に本学が対応できるようにするため、小規模講習会を行った。企業から2名、他大学教員1名が参加。

オープンキャンパスでの授業と実験(7/14)(2018年度)
オープンキャンパスの中で「小さなセンサが拓く世界」の授業を行った。加速度センサの簡単な実験を合わせて実施した。

高校生向け授業と実験 2018は8/1と8/27、2019は7/23と10/19(2018、2019年度)
2015年度に「加速度センサ」実験テーマを立ち上げたが、これを大幅改良した。以前は、市販の加速度センサを電気配線して利用する内容で、高校生向け実験としては長時間の用意とコストがかかった。これを、スマートフォンに内蔵されているものでできるようにした。スマートフォンはハードオフ店で売っている中古品なら1台4000円程度で入手でき、フリーWifiを使って通信契約しなくてもアプリがインストールできる方法を見い出した。高校生にとって、より馴染み易いテーマに変更することができた。

ナノテクPF関係の高校生向け実験 3/7(2018年度)
大阪の清風南海高校が、体験実験をしに来校するのをアレンジした。後の報告書作成でもアドバイスした。

1年生むけアカデミックアドバイザー(2018年度)
1年生Jグループのアカデミックアドバイザーを担当した

ナノテクPF技術支援員(新人)の技術指導(2018-2019年度)
2018年7月で完全退職した梶原氏を一部でも補うため、技術支援員のアルバイト雇用を6/21から開始した。週2-3日ながら、毎回の仕事内容を設定した。特に、ナノテクの代表である電子ビーム描画装置の操作を習得してもらい、名古屋大学向け支援に対応できるようにした。その後も、マスクレス露光装置や金属エッチングにて技能を高めている。

台湾中興大からのダブルディグリー学生の指導(2018年度)
ダブルディグリー学生1名を指導した。当該学生は帰国後、台湾の大学で博士課程に進学した。

サマーセミナーでのベトナム学生1名を受け入れ(2019年度)
「振動計測(微小振動子の応用を目指して)」のテーマで、実験と考察を指導した。

他大学 博士学生3名の学位論文の副査担当(2017年度)
博士学生(名古屋大学の機械系1名と電気系1名、シンガポール南洋理工大学(Nanyang Technological University)1名)学位論文の副査を担当した。

ナノテクPF微細加工のシンポジウムにて「曲面・立体への3次元フォトリソグラフィ微細加工」を発表し技術紹介。(2020年3月6日)

応用物理学会春季学術講演会における、半導体Bからの分科企画シンポジウム世話人代表(2017, 2018, 2019年度)
シンポジウムタイトル「生産現場での活用が進むIoTデバイス技術(2020.3.12)」は新型コロナ感染症拡大防止で予稿集配布で発表扱い、「IoTの発展を支える集積化システム (2019. 3. 10)」、「特別シンポジウム 集積化MEMSの発展と展望(2018.3.18)」では自身も発表。

電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム(MSS)技術委員会 委員長(2018年度から)
年4回程度開催する研究会の実行委員メンバーとして参画。特に、2020.7.6-7のE部門総合研究会では実行委員長を担う。 
その他

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