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教授 佐々木 実(Minoru Sasaki / ササキ ミノル)

業績

年度 学会名 発表者 発表題目 発表日
2020 13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science Momoko Karita、 Shinya Kumagai(名城大学*)、 Minoru Sasaki  Respiration Sensing Measuring Capacitance Built Across Skin Stabilized Against Twisting Motion While Walking 2021年03月10日
2020 13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science Thi-Thuy-Nga Nguyen(名古屋大学*)、 Minoru Sasaki、 Takayoshi Tsutsumi(名古屋大学*)、 Kenji Ishikawa(名古屋大学*)、 Masaru Hori(名古屋大学*)  Design of removal process of SnO2 on glass by H2/Ar plasma at atmospheric pressure and medium pressure 2021年03月09日
2020 13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science Seiya Fujita、 Minoru Sasaki  Additional pattern etching of microtextured die for higher aspect ratio 2021年03月08日
2020 13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science Gang Han、 Minoru Sasaki  Microtextured Die Using Silicon Stencil Mask for Antibacterial Effect 2021年03月08日
2020 73rd Annual Gaseous Electronics Virtual Conference Thi-Thuy-Nga Nguyen(名古屋大学*)、 Minoru Sasaki、 Hidefumi Odaka(AGC株式会社*)、 Takayoshi Tsutsumi(名古屋大学*)、 Kenji Ishikawa(名古屋大学*)、 Masaru Hori(名古屋大学*)  Interactions of floating-wire-assisted atmospheric-pressure H2/Ar plasma with SnO2 film on glass substrate forming spherical Sn particles 2020年10月08日
2020 令和2年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会 佐々木 実  マイクロマシン・センサシステム技術委員会の活動について 2020年09月01日
2020 令和2年度E部門総合研究会 山田雄大、 佐々木 実  フォトリソグラフィ加工したプレス金型による高精度ロータリー金属スケールの試作 2020年07月07日
2020 令和2年度E部門総合研究会 藤田聖也、 佐々木 実  マイクロテクスチャ付き金型を利用した熱交換器フィン材への超撥水構造形成 2020年07月07日
2019 令和2年電気学会全国大会 弓削英翔、 鈴木大瑛、 佐々木 実  フォトリソグラフィ一括加工した微細パターン付き圧延ロールによるアルミ板の表面処理 2020年03月11日
2019 International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials Seiya Fujita、 Minoru Sasaki  Microtextured die for forming super water-repellent structure 2020年03月10日
2019 International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials Masaki Okamoto、 Tomoya Hatagaki (*)、 Shinya Kumagai (*)、 Minoru Sasaki  STRUCTURE-BASED LARGE HARD-SPRING TORSIONAL RESONATOR COUPLED WITH THERMAL BENDING FOR INFRARED SENSOR 2020年03月10日
2019 第17回赤外放射応用関連学会年会 纐纈真一、 Chang Yen-Wei、 矢作秀賀、 佐々木 実  マイクロヒータを用いた波長選択赤外光源 2020年01月30日
2019 The 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Motohide Yoshimi(*)、 Shinya Kumagai(*)、 Yasutake Ohishi、 Minoru Sasaki  CELL TRAPPING AND MECHANICAL STIMULATION IN MICROFLUIDIC SENSOR COMBINED WITH OPTICAL FIBER COMPONENTS 2020年01月19日
2019 The 32nd International Symposium on Superconductivity (ISS 2019) Tomoyoshi Motohiro(*)、 Minoru Sasaki、 Joo-Hyong Noh(*)、 Osamu Takai(*)、 Hideo Honma (*)  Estimatin of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Stacks of Si-wafers Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches formed by MEMS Process under the Constraint of Critical Magnetic Flux Density 2019年12月03日
2019 第70回塑性加工連合講演会 弓削英翔、 鈴木大瑛、 佐々木 実  フォトリソグラフィ加工を用いたアルミ表面加工のための圧延ロール面への微細パターン転写 2019年10月12日
2019 第80回応用物理学会秋季学術講演会 弓削英翔、 鈴木大瑛、 佐々木 実  微細加工した圧延ロールによるアルミ材の艶消しパターン転写 2019年09月19日
2019 マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会 寺澤槙恵(*)、 Subrata Kumar Kundu (*)、 熊谷慎也(*)、 佐々木 実  容量計測型ウェアラブル呼吸センサと無線計測 2019年08月06日
2019 The 12th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT 2019) Yuta Yamada、 Jiwang Yan (*)、 Minoru Sasaki  Photolithography fine patterning on mold surface for the metal scale of rotary encoder 2019年08月01日
2019 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 山田雄大、 閻紀旺(*)、 佐々木 実  ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工 2019年07月01日
2019 The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019) Naoki Nobunaga、 Shinya Kumagai、 Katsuya Masuno、 Hiroki Ishihara、 Makoto Ishii、 Minoru Sasaki  SOLATED VOLTAGE SENSOR USING RING RESONATOR FOR BATTERY POWER MANAGEMENT 2019年06月23日
2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D) Minoru Sasaki、 Y. Suzuki、 T. Hioki、 T. Motohiro  Stacking 4” Si Wafer with Parallel 3-Stepped Micro-Trenches to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage 2019年06月22日
2018 International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials Minoru Sasaki、 Y. Suzuki、 K. Adachi、 T. Hioki、 T. Motohiro  Over 100m Length Single Spiral Silicon Micro-Trench with 3-Step Smooth Sidewalls to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage 2019年03月19日
2018 International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials T.-T.-N. Nguyen、 Minoru Sasaki、 H. Odaka、 T. Tsutsumi、 K. Ishikawa、 M. Hori  Floating-wire-assisted atmospheric pressure plasma for high-speed and large-area glass treatment 2019年03月18日
2018 電気学会全国大会 Y.-W. Chang、 矢作秀賀、 H. M. Nguyen、 佐々木 実  波長選択赤外光源用マイクロヒータ 2019年03月14日
2018 電気学会研究会 交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム 合同研究会 グエン ハイ ミン、 延永尚記、 桝野雄矢、 杉山洋貴、 石居真、 佐々木 実  絶縁に適した静電駆動型MEMS電圧センサ 2019年02月28日
2018 The 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2019) M. Okamoto、 T. Hatagaki、 S. Kumagai、 Minoru Sasaki  STRUCTURE-BASED LARGE HARD-SPRING TORSIONAL RESONATOR COUPLED WITH THERMAL BENDING FOR INFRARED SENSOR 2019年01月30日
2018 The 40th International Symposium on Dry Process (DPS2018) S. Yahagi、 Nguyen Hai Minh、 S. Kumagai、 Minoru Sasaki  Grating Fabrication for Wavelength Selective Infrared Emitter Using Surface Plasmon Polariton 2018年11月15日
2018 The 71st Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2018) T.-T.-N. Nguyen、 Minoru Sasaki、 H. Odaka、 T. Tsutsumi、 K. Ishikawa、 M. Hori  Floating-Wire-Assisted Remote Generation of High-Density Atmospheric Pressure Inductively Coupled Plasma 2018年11月06日
2018 応用物理学会秋季学術講演会 T.-T.-N. Nguyen、 佐々木 実、 H. Odaka、 T. Tsutsumi、 K. Ishikawa、 M. Hori  Etching of glass by floating-wire assisted atmospheric pressure plasma 2018年09月18日
2018 応用物理学会秋季学術講演会 畠垣知弥、 熊谷慎也、 佐々木 実  静電動作ねじり振動型非冷却赤外線センサ 2018年09月18日
2018 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018) M. Yoshimi、 S. Kumagai、 Y. Ohishi、 Minoru Sasaki  Optofluidic Device for Measuring Cell Response Against Mechanical Stimulation 2018年09月12日
2018 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018) S. Yahagi、 S. Kumagai、 K. Masuno、 M. Ishii、 Minoru Sasaki  Wavelength Selective Plasmonic Grating for CO2 Gas Sensing Based on Nondispersive Infrared 2018年09月12日
2018 マイクロマシン・センサシステム研究会 山田雄大、 佐々木 実  熱輻射を制御する表面機能付き金属細線ヒータの製作 2018年07月12日
2017 第65回応用物理学会春季学術講演会 石川孝一、 佐々木 実、 熊谷慎也  大気圧プラズマジェットによって生成されるOHラジカルの液体中での可視化 2018年03月18日
2017 平成30年 電気学会全国大会 菅沼雄介(*)、 大橋祐也(*)、 佐々木 実、 野々村裕(*)  触覚熱流センサのための薄膜サーミスタ作製 2018年03月16日
2017 2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA2) Jun-Seok Oh(*)、 Koichi Ishikawa、 Minoru Sasaki、 Masafumi Ito(*)、 Shinya Kumagai  Measurement of Plasma-Generated Reactive Oxygen/Nitrogen Species in Liquid Delivered via a Microthrough-hole 2018年03月09日
2017 2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA2) Yuto Nakayama、 Ryutaro Shimane、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki  Localized Plasma Treatment of Biological Sample Using MEMS Nozzle Device 2018年03月09日
2017 ISPlasma2018/IC-PLANTS2018 Tomoya Hatagaki、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki  Processing thin-film membrane and dry etching release of torsional resonator for uncooled infrared sensor 2018年03月08日
2017 ISPlasma2018/IC-PLANTS2018 Koichi Ishikawa、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki  Visualization of plasma-generated reactive species delivered in liquid via a micro through-hole 2018年03月07日
2017 The first International Workpshop by the 174th Committee JSPS "Symbiosis of Biology and Nanodevice" Shinya Kumagai、 Mime Kobayashi(*)、 Tetsuji Shimizu(*)、 Minoru Sasaki  Plasma-on-Chip: single-cell analysis using a non-thermal atmospheric pressure plasma 2017年12月21日
2017 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 許 哲瑋、 熊谷慎也、 佐々木 実、 鈴木 康広(*)、 日置 辰視(*)、 元廣 友美(*)、 盧 柱亨(*)、 高井 治(*)  超電導電力貯蔵装置を小型化するための 渦巻溝形成と壁面の低スキャロップ化 2017年11月02日
2017 第78回応用物理学会春季学術講演会 柄﨑克樹(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  細胞サンプル搬送機能を持つプラズマ処理デバイス 2017年09月06日
2016 電気学会全国大会シンポジウム H3 学会の国際化に向けたビジョンと取り組み 佐々木 実  (E部門)-日本・台湾国際交流シンポジウムを中心として- 2017年03月16日
2016 第64回春季応用物理学学術講演会 Shinya Kojima(マイクロメカトロニクス)、 Mime Kobayashi(*)、 Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai  Analyzing Activities of L929 Cells Irradiated with An Atmospheric Pressure Plasma 2017年03月16日
2016 第64回春季応用物理学学術講演会 Kundu Suburata(マイクロメカトロニクス)、 寺澤 槙恵(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  ウェアラブルセンサによる着席状態での呼吸計測 2017年03月16日
2016 ISPlasma2017/IC-PLANTS2017 Hsu Che-Wei、 Shinya Kumagai、 Yasuhiro Suzuki(Nagoya University)、 Tatsumi Hioki(Nagoya University)、 Tomohiro Motoyoshi(Nagoya University)、 Minoru Sasaki  Multi-Stepped Silicon Micro-Trenches with Smooth Sidewalls to Deposite Superconducting Material for Magnetic Energy Storage 2017年03月03日
2016 ISPlasma2017/IC-PLANTS2017 Yusuke Nakanishi、 Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai  Analysis of Plasma-Generated Reactive Species in Liquid 2017年03月03日
2016 The 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Minoru Sasaki、 Naoki Nobunaga(マイクロメカトロニクス)、 Hiroki Ishihara(Yazaki Corporation)、 Makoto Ishii(Yazaki Corporation)、 Shinya Kumagai  BIPOLAR ELECTROSTATIC DRIVING FOR HIGH-RESOLUTION ISOLATED BATTERY VOLTAGE SENSOR 2017年01月24日
2016 第4回日本磁気学会超高感度マイクロ磁気センサ専門研究会 佐々木 実  3次元フォトリソグラフィ(マイクロコイル形成などへの応用) 2016年11月24日
2016 応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会講習会 佐々木 実  皮膚を介して形成される容量に基づくウェアラブル呼吸センサ 2016年11月07日
2016 1st Asian International Cryogenic Materials Conference-50th Anniversary Conference of Cryogenics and Superconductivity Society Japan N. Iguchi*, Y. Suzuki*, K. Adachi*, T. Hioki*, A. Ichiki*、 Tomoyoshi Motohiro、 N. Sugimoto*、 Hsu Che-Wei、 R. Sato*、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki、 Jeong Jong Hyeon、 Y. Sakurahara*, K. Okabe*, O. Takai*, H. Honma*, H. Watanabe*, H. Sakoda*, H. Sasagawa*, H. Doy*, S. Zhou*, T. Nozaki*, H. Hori*, S. Nishikawa*  Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries (IV) 2016年11月07日
2016 1st Asian International Cryogenic Materials Conference-50th Anniversary Conference of Cryogenics and Superconductivity Society Japan Y. Suzuki*, N. Iguchi*, K. Adachi*, T. Hioki*, A. Ichiki*、 Tomoyoshi Motohiro、 N. Sugimoto*、 Hsu Che-Wei、 R. Sato*、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki、 Jeong Jong Hyeon、 Y. Sakurahara*, K. Okabe*, O. Takai*, H. Honma*, H. Watanabe*, H. Sakoda*, H. Sasagawa*, H. Doy*, S. Zhou*, T. Nozaki*, H. Hori*, S. Nishikawa*  Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries (III) 2016年11月07日
2016 第8回集積化MEMSシンポジウム 佐々木 実、 和田祐樹(マイクロメカトロニクス)、 延永尚記(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 石原裕己(矢崎総業)、 石居真(矢崎総業)  MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化 2016年10月25日
2016 第 33 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム Minoru Sasaki、 Hsu Che-Wei、 佐藤龍仁(マイクロメカトロニクス)、 Shinya Kumagai  Stepped Micro-trenches Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Soft Resist Masks Combined with UV Curing 2016年10月25日
2016 International Conference on Solid State Devices and Materials Minoru Sasaki、 M. Yoshimi(マイクロメカトロニクス)、 Shinya Kumagai、 Yasutake Ohishi  Si Micro-Optical-Bench Combining with Fiber and Flow Channel for Absorption Spectroscopy of Cells in Suspension 2016年09月29日
2016 第77回応用物理学会秋季学術講演会 粂内 真子(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 趙 亨峻(名古屋大学)、 近藤 博基(名古屋大学)、 石川 健治(名古屋大学)、 堀 勝(名古屋大学)、 佐々木 実  フォトリソグラフィとUVキュア処理によるナノギャップ電極アレイ形成 2016年09月14日
2016 KJF-ICOMEP 2016 Shinya Kumagai、 Tomohiro Okada(マイクロメカトロニクス)、 Koichi Ishikawa(マイクロメカトロニクス)、 Mime Kobayashi(Nara Institute of Science and Technology)、 Tetsuji Shimizu(terraplasma, GmbH)、 Minoru Sasaki  Plasma-on-Chip Device: Plasma Treatment for Cells in Microwells 2016年09月05日
2016 2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics Tomohiro Okada、 Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai  A micro plasma chip using dielectric barrier discharge 2016年08月04日
2016 IEEE-NEMS2016 Shuga Yahagi(マイクロメカトロニクス)、 Shinya Kumagai、 Minoru Sasaki  Effect of Grating Profile on the Infrared Wavelength Coupled with Surface Plasmon Polariton 2016年04月19日
2016 IEEE-NEMS2016 Yuto Nakayama(マイクロメカトロニクス)、 Shinya Kumagai、 Hiroshi Hashizume(Nagoya University)、 Takayuki Ohta(Meijo University)、 Masafumi Ito(Meijo University)、 Masaru Hori(Nagoya University)、 Minoru Sasaki  Activating Biological Reactions with A Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma 2016年04月19日
2015 第63回 応用物理学会 春季学術講演会 佐々木 実、 寺澤槙恵(マイクロメカトロニクス)、 苅田桃子(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  容量計測型呼吸センサにおける電極配置と信号の安定化 2016年03月21日
2015 第63回応用物理学会春季学術講演会 J.-S. Oh(Kochi Univeristy of Technology)、 S. Kojima(Micromechatronics)、 A. Hatta(Kochi Univesity of Technology)、 佐々木 実、 熊谷慎也  Meacurement of Reactive Species for the Development of Plasma-on-Chip 2016年03月21日
2015 ISPlasma2016/IC-PLANTS2016 J.-S. Oh(Kochi University of Technology)、 S. Kojima(Micromechatronics)、 A. Hatta(Kochi University of Technology)、 佐々木 実、 熊谷慎也  Plasma-on-Chip: Evidence of Reactive Species Through Through-holes 2016年03月
2015 The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies 2015 C.-H. Chang(Micromechatronics)、 ジョン ゾン ヒョン、 M. Kobayashi(NAIST)、 T. Shimizu(terraplasma, GmbH)、 佐々木 実、 熊谷慎也  Plasma-on-chip device for analyzing interactions between plasma gas and individual cells 2015年12月17日
2015 International Display Workshops '15 Minoru Sasaki、 Hiroki Ishihara(Yazaki Corp.)、 Katsuya Masuno(Yazaki Corp.)、 Makoto Ishii(Yazaki Corp.)、 Shinya Kumagai  Membrane-Type Microheater for Wavelength Selective Infrared Emitter and CO2 gas Sensing 2015年12月11日
2015 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 佐々木 実、 寺澤槙恵(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  密着型呼吸センサ 2015年10月30日
2015 第 32 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 佐々木 実、 粂内真子(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 趙享峻(名古屋大学)、 今井駿(名古屋大学)、 近藤博基(名古屋大学)、 石川健治(名古屋大学)、 堀勝(名古屋大学)  フォトリソグラフィと UV キュア処理によるナノギャップ電極形成 2015年10月30日
2015 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials 佐々木 実、 M. Terasawa(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin 2015年09月30日
2015 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials Minoru Sasaki、 Y. Nakayama(マイクロメカトロニクス)、 Shinya Kumagai、 H. Hashizume(Nagoya Univ.)、 T. Ohta(Meijo Univ.)、 M. Ito(Meijo Univ.)、 M. Hori(Nagoya Univ.)  Temperature-Lowered Plasma Treatment by Controlling Direction of Supplying Reactive Species for Biological Application 2015年09月29日
2015 2016 International Conference on Solid State Devices and Materials Y. Nakayama(Micromechatronics)、 熊谷慎也、 H. Hashizume(Nagoya University)、 T. Ohta(Meijo University)、 M. Ito(Meijo University)、 M. Hori(Nagoya University)、 佐々木 実  Temperature-Lowered Plasma Treatment by Controlling Direction of Supplying Reactive Species for Biological Application 2015年09月29日
2015 The 10th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering Minoru Sasaki、 K. Tsukasaki(マイクロメカトロニクス)、 D. Yasumatsu(マイクロメカトロニクス)、 Shinya Kumagai、 K. Takeda(Nagoya Univ.)、 M. Hori(Nagoya Univ.)  Resonant Floating Electrode in Inductively Coupled Micro-Plasma Source for Power Efficiency 2015年09月22日
2015 電気学会マイクロマシン・センサシステム技術委員会 研究会 佐々木 実、 岩本拓也(マイクロメカトロニク)、 熊谷慎也  微細パターン形成のためのフォトレジストのUVキュア処理 2015年09月18日
2015 第76回 応用物理学会 秋季学術講演会 佐々木 実、 延永尚記(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 石原裕己(矢崎総業)、 石居真(矢崎総業)  ギャップクロージング型電極を利用した絶縁型電圧センサ 2015年09月14日
2015 第76回応用物理学会秋季学術講演会 C.-H. Chang(Micromechatronics)、 Jeong Jong Hyeon、 M. Kobayashi(NAIST)、 T. Shimizu(terraplasma, GmbH)、 Minoru Sasaki、 Shinya Kumagai  Plasma-on-Chip for Treatment of Individual Cells Cultured in Medium 2015年09月03日
2015 The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015) Shinya Kumagai、 C.-H. Chang(Micromechatronics)、 Jeong Jong Hyeon、 M. Kobayashi(NAIST)、 T. Shimizu(terraplasma, GmbH)、 Minoru Sasaki  Irradiating Cells Cultured in Microwells with Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma 2015年09月
2015 第40回光学シンポジウム 佐々木 実、 海老塚昇(理化学研究所)、 岡本隆之(理化学研究所)、 森田晋也(理化学研究所)、 山形豊(理化学研究所)、 魚本幸(東北大学)、 橋本信幸(シチズンホールディングス(株))、 桐野宙治((株)クリスタル光学開発部)、 尾崎忍夫(国立天文台TMT推進室)、 青木和光(国立天文台TMT推進室)  次世代天文学観測装置用の新しい高分散回折格子 2015年06月25日
2015 The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015) Minoru Sasaki、 H. Ishihara(Yazaki Corp.)、 K. Masuno(Yazaki Corp.)、 M. Ishii(Yazaki Corp.)、 Shinya Kumagai  POWER EFFICIENT MICROHEATER FOR WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED EMITTER AND CO2 GAS SENSING 2015年06月23日
2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers 2015 Jeong Jong Hyeon、 Shinya Kumagai、 Ichiro Yamashita、 Yukiharu Uraoka、 Minoru Sasaki  Characterization of Vibration-type Infrared Thermal Detector on Temperature, Light, and Thermal Infrared 2015年06月23日
2015 Eighth International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics (M&BE8) Y. Matsuura(Micromechatronics)、 Shinya Kumagai、 Dinghuan Deng、 Yasutake Ohishi、 Minoru Sasaki  Collecting biological samples for accurate optical absorption spectroscopy 2015年06月
2015 Transducers 2015 Y. Nakayama(Micromechatronics)、 R. Shimane(Micromechatronics)、 熊谷慎也、 H. Hashizume(Nagoya University)、 T. Ohta(Meijo Univeristy)、 M. Ito(Meijo University)、 M. Hori(Nagoya University)、 佐々木 実  IRRADIATING LOW-TEMPERATURE ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA TO CELLS USING MEMS NOZZLE 2015年06月
2014 第18回日本体力医学会東海地方会学術集会 佐々木 実、 齊藤満(愛知学院大学)、 水藤弘吏(愛知学院大学)  運動時の呼吸リズム観察への新しい呼吸モニターの応用 2015年03月16日
2014 第62回 応用物理学会 春季学術講演会 佐々木 実、 熊谷慎也  室内CO2モニタリングのための波長選択赤外光源 2015年03月12日
2014 第62回 応用物理学会 春季学術講演会 佐々木 実、 寺澤槙恵(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  容量計測型呼吸センサのための衣服組み込み電極 2015年03月11日
2014 28th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2015) 佐々木 実、 Masahiro Shibata(マイクロメカトロニクス)、 Takahiro Yamaguchi(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  THERMOCOUPLES ON TRENCH SIDEWALL IN CHANNEL FRONTING ON FLOWING MATERIAL 2015年01月20日
2014 International Display Workshops Volume 21 佐々木 実、 ジョン ゾン ヒョン、 熊谷慎也、 S. Tajima(名古屋大学)、 T. Hayashi(名古屋大学)、 K. Yamakawa(片桐エンジニアリング)  Resonator-Type Infrared Detector Released by Plasmaless Sacrificial Si Etching
 2014年12月04日
2014 第6回集積化MEMSシンポジウム 佐々木 実、 飯村ひかる(マイクロメカトロニクス)、 ディンハン デン、 熊谷慎也、 大石泰丈  逆テーパをもつバイアススプリングによる光ファイバ固定とマイクロ流路デバイス中でのスペクトル測定 2014年10月21日
2014 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 佐々木 実、 クンドウ スブラタ クマル(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  容量計測による衣服型呼吸センサ 2014年10月21日
2014 第75回 応用物理学会秋季学術講演会 佐々木 実、 田嶋聡美(名古屋大学)、 林俊雄(名古屋大学)、 石川健治(名古屋大学)、 関根誠(名古屋大学)、 山川晃司(片桐エンジニアリング)、 堀勝(名古屋大学)  NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(II) 2014年09月19日
2014 精密工学会秋季大会学術講演会 佐々木 実、 海老塚昇 ら(理化学研究所)  次世代天文学観測装置用の新しい回折格子 2014年09月18日
2014 第75回 応用物理学会秋季学術講演会 佐々木 実、 柴田真宏(マイクロメカトロニクス)、 山口貴大(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  壁面に熱電対を配置したマイクロ流路デバイス 2014年09月17日
2014 第75回 応用物理学会秋季学術講演会 佐々木 実、 柄崎克樹(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成 2014年09月17日
2014 2014 International Conference on Solid Stae Devices and Materials Jeong Jong Hyeon、 Shinya Kumagai、 Ichiro Yamashita(NAIST)、 Yukiharu Uraoka(NAIST)、 Minoru Sasaki  A Micro-Machined IR Thermal Detector Using Torsional Oscillation: Improvement of Resonator Profile for High Sensitivity 2014年09月11日
2014 2014 Interrnational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics Takashi Tomikawa(マイクロメカトロニクス)、 Jonghyeon Jeong(マイクロメカトロニクス)、 Shinya Kumagai、 Ichiro Yamashita(Nara Institute of Scence and Technology)、 Yukiharu Uraoka(Nara Institute of Sicence and Technology)、 Minoru Sasaki  DESIGNING POSITIONS OF GRAIN BOUNDARIES IN Si THIN-FILM FOR LOW-ENERGY-LOSS OPTICAL MEMS/NEMS DEVICES 2014年08月20日
2014 2014 Interrnational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics Jeong Jong Hyeon、 Shinya Kumagai、 Ichiro Yamashita(NAIST)、 Yukiharu Uraoka(NAIST)、 Minoru Sasaki  Vibrational IR MEMS Sensor: Applicationof Torsion-Bars Tension-Enhanced by Bio-Nano Crystallization for Highly Sensitive Detection 2014年08月20日
2014 2014 IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 佐々木 実、 Ryoto Sato(マイクロメカトロニクス)、 Daisuke Yasumatsu(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 Masaru Hori(名古屋大学)  SHIELD EFFECT OF FLOATING ELECTRODE FOR POWER EFFICIENT MICRO-PLASMA VUV LIGHT SOURCE 2014年08月20日
2014 4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D) 佐々木 実、 Masahiro Shibata(マイクロメカトロニクス)、 Takahiro Yamaguchi(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  Thermocouples Fabricated on Microfluidic Trench Sidewall Capped with Film 2014年07月15日
2014 International Symposium on Micro/Nano Mechanical Machining and Manufacturing(ISMNM2014) 佐々木 実  3D lithography and micro-plasma possibilities for combining with precision machining 2014年04月22日
2014 Proc. SPIE 佐々木 実、 N. Ebizuka ら(理化学研究所)  Birefringence Bragg Binary (3B) Grating, Quasi-Bragg Grating and Immersion Gratings 2014年
2013 第61回応用物理学会春季学術講演会 佐々木 実、 田嶋聡美(名古屋大学)、 林俊雄(名古屋大学)、 石川健治(名古屋大学)、 関根誠(名古屋大学)、 山川晃司(片桐エンジニアリング)、 堀勝(名古屋大学)  NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(I) 2014年03月20日
2013 第61回応用物理学会春季学術講演会 佐藤龍仁(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  MEMS大気圧プラズマ光源の省電力化 2014年03月19日
2013 日本機械学会 東海支部 第63期総会・講演会 佐々木 実、 柄崎克樹(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成 2014年03月18日
2013 第61回応用物理学会春季学術講演会 丹羽貴大(金沢大学)、 中西一浩(金沢大学)、 熊谷慎也、 川江健(金沢大学)、 森本章治(金沢大学)、 佐々木 実  水リフトオフ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜のサブミクロンパターニング 2014年03月17日
2013 International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2014/IC-PLANTS2014) Minoru Sasaki、 S. TAJIMA(名古屋大学)、 T. HAYASHI(名古屋大学)、 K. ISHIKAWA(名古屋大学)、 M. SEKINE(名古屋大学)、 K. YAMAKAWA(片桐エンジニアリング)、 M. HORI(名古屋大学)  The relationship between the pressure and the Si etch rate using the reaction of F2 + NO → F + FNO 2014年03月06日
2013 ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014 島根竜太郎(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 橋爪博司(名城大学)、 太田貴之(名城大学)、 伊藤昌文(名城大学)、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  MEMS Nozzle for Localized Irradiation of Atmospheric Pressure Plasma Trapping Micro-Samples 2014年03月06日
2013 ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014 佐藤龍仁(マイクロメカトロニクス)、 澤田貴裕(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  Delay Masking Process Using UV Cured Resist Layer Combined with Deep Reactive Ion Etching for Multiple Height Microstructures 2014年03月06日
2013 ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014 安松大輔(マイクロメカトロニクス)、 松山弘樹(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 武田圭吾(名古屋大学)、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  Length Effect of Floating Wire Electrode In Transportable 144mhz Inductively Coupled Micro-Plasma Source 2014年03月03日
2013 8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31) 佐々木 実、 Masahiro Hashimoto(マイクロメカトロニクス)、 Katsuki Tsukasaki(マイクロメカトロニクス)、 Ryoto Sato(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  A Microplasma Reactor Chip for Utilizing Gas-Gas Interface 2014年02月06日
2013 8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31) 佐々木 実、 Satomi Tajima(名古屋大学)、 Toshio Hayashi(名古屋大学)、 Koji Yamakawa(片桐エンジニアリング)、 Kenji Ishikawa(名古屋大学)、 Shoji Den(片桐エンジニアリング)、 Makoto Sekine(名古屋大学)、 Masaru Hori(名古屋大学)  Evaluation of the loss of F during the Si chemical dry etching using the reaction of F 2 + NO → F + FNO 2014年02月06日
2013 8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31) 佐々木 実、 T. Sawada(マイクロメカトロニクス)、 T. Chikuba(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 K. Masuno(矢崎総業)、 M. Ishii(矢崎総業)、 S. Uematsu(矢崎総業)  Surface Plasmon Polariton Based Wavelength Selective IR Emitter Combined with MEMS Heater with Reduced Thermal Loss 2014年02月05日
2013 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2014) 佐々木 実、 T. Sawad(マイクロメカトロニクス)、 K. Masuno(矢崎総業)、 熊谷慎也、 M. Ishii(矢崎総業)、 S. Uematsu(矢崎総業)  ENHANCED WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED EMISSION USING SURFACE PLASMON POLARITON AND THERMAL ENERGY CONFINED IN MICRO-HEATER 2014年01月30日
2013 20th International Display Workshops (IDW'13) 佐々木 実、 Ryoto Sato(マイクロメカトロニクス)、 Daisuke Yasumatsu(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 Masaru Hori(名古屋大学)  Localized Microplasma Generation in MEMS Gas Channel 2013年12月05日
2013 2013 International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science (MHS2013) 佐々木 実、 Daisuke Momonoi(マイクロメカトロニクス)、 Tatsuya Yamazaki(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  Infrared Detection Based on Nonlinear Oscillation of Thin Film Resonator 2013年11月12日
2013 IEEE Nanotechnology Meterials and Devices Conference 橋本將寛(マイクロメカトロニクス)、 佐藤龍仁(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  A Micro Plasma Reactor Chip: Using Interface in Micro-/Nano-Channels towards Materials Processing 2013年10月09日
2013 2013 International Conference on Solid State Devices and Materials 山口貴大(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  A Thermocouple Device Fabricated on Trench Sidewall for Measuring Accurate Temperature of Microfluid 2013年09月26日
2013 2013 International Conference on Solid State Devices and Materials 飯村ひかる(マイクロメカトロニクス)、 ディンハン デン(光機能物質)、 熊谷慎也、 大石泰丈、 佐々木 実  Microfluidic Device with Accurately Aligned Optical Fibers for Measuring Transmission Spectrum Using Supercontinuum Light 2013年09月26日
2013 2013 International Conference on Solid State Devices and Materials 島根竜太郎(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  Localized Plasma Treatment for Individual Cells 2013年09月25日
2013 第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26) 佐々木 実、 Ryoto Sato(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Soft Resist Masks Combined with UV Curing 2013年09月24日
2013 2013 JSAP-MRS Joint Symposia 佐々木 実、 Takahiro Yamaguchi(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  A microfluidics device with thermocouples fabricated on sidewall for precise monitoring of biomolecule-dispersed solution 2013年09月18日
2013 醍74回応用物理学会学術秋季学術講演会 山本太一(マイクロメカトロニクス)、 久保裕慎(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  光電池垂直壁を介した配線による昇圧とマイクロミラーの静電駆動 2013年09月18日
2013 2013 JSAP-MRS Joint Symposia 佐々木 実、 Katsuya Masuno(矢崎総業)、 Takahiro Sawada(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 Makoto Ishii(矢崎総業)、 Shouichi Uematsu(矢崎総業)  Wavelength Selective Infrared Emission via Surface Plasmon Polariton from MEMS Heater for CO2 Gas Sensin 2013年09月17日
2013 第74回応用物理学会秋季学術講演会 冨川崇(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 山下一郎(奈良先端科学技術大学院大学)、 浦岡行治(奈良先端科学技術大学院大学)、 佐々木 実  Niフェリチンを用いたSi薄膜カンチレバー振動子の均一結晶化 2013年09月17日
2013 Optical MEMS and Nanophotonics 2013 桃井大輔(マイクロメカトロニクス)、 山崎辰也(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  AN INFRARED DETECTOR BASED ON NONLINEAR OSCILLATION 2013年08月22日
2013 2013 IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 佐々木 実、 Hikaru Iimura(マイクロメカトロニクス)、 ディンハン デン、 熊谷慎也、 大石泰丈  MICRO-CHANNEL DEVICE FOR SPECTRUM MEASUREMENT USING OPTICAL FIBER ALIGNED WITH BIAS SPRING WITH REVERSELY TAPERED PROFILE 2013年08月21日
2013 Optical MEMS and Nanophotonics 2013 青沼拓朗(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  INFRARED COLLECTING MICROLENS INTEGRATED WITH SI PHOTO CELL 2013年08月21日
2013 Optical MEMS and Nanophotonics 2013 澤田貴裕(マイクロメカトロニクス)、 桝野雄矢(矢崎総業株式会社)、 熊谷慎也、 石居真(矢崎総業株式会社)、 植松彰一(矢崎総業株式会社)、 佐々木 実  SURFACE PLASMON POLARITON BASED WAVELENGTH SELECTIVE IR EMITTER COMBINED WITH MICROHEATER 2013年08月20日
2013 Optical MEMS and Nanophotonics 2013 佐藤龍仁(マイクロメカトロニクス)、 安松大輔(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  A MICROPLASMA CHIP FOR RADICAL MONITOR 2013年08月20日
2013 Abstracts of The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12) 佐々木 実、 H. Iimura(マイクロメカトロニクス)、 ディンハン デン、 熊谷慎也、 大石泰丈  Etching profile control of alignment spring for combining MEMS micro-channel device and optical fibers 2013年07月14日
2013 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13) 佐々木 実、 N. Nobunaga(マイクロメカトロニクス)、 S. Hasegawa(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 K. Masuno(矢崎総業)、 M. Ishii(矢崎総業)、 S. Uematsu(矢崎総業)  ISOLATED VOLTAGE SENSING USING MICRO-RESONATOR 2013年06月19日
2013 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13) 佐々木 実、 T. Sawada(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 K. Masuno(矢崎総業)、 M. Ishii(矢崎総業)、 S. Uematsu(矢崎総業)  INDIRECT WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED MICRO-EMITTER USING SURFACE PLASMON POLARITON FOR GAS SENSING 2013年06月19日
2013 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13) 佐々木 実、 T. Tomikawa(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 I. Yamashita(奈良先端大)、 Y. Uraoka(奈良先端大)  EXCLUDING GRAIN BOUDARIES FROM THIN SI FILM MEMS/NEMS DEVICES 2013年06月19日
2013 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13) 佐々木 実、 T. Yamazaki(マイクロメカトロニクス)、 S. Ogawa(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也  A NOVEL INFRARED DETECTOR USING NONLINEAR VIBRATION FOR HIGH SENSITIVITY 2013年06月19日
2013 General Chair of IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2013 佐々木 実 
2012 日本化学会 第93春季年会 佐々木 実、 梶原建(クリーンルーム)  シリコンと各種物質のナノ微細加工によるハイブリッド化ものづくり 2013年03月25日
2012 平成25年 電気学会全国大会 佐々木 実、 柴﨑一郎(豊橋技術科学大学)  電力分野へのセンサ・マイクロシステム応用の可能性について 2013年03月21日
2012 第60回応用物理学会学術講演会 熊谷慎也、 クンドゥスブラタクマル(マイクロメカトロニクス)、 佐々木 実  着衣可能な容量型呼吸センサ 2013年03月
2012 第60回応用物理学会学術講演会 澤田貴裕(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  CO2 ガスセンサのための波長選択赤外放射 2013年03月
2012 第60回 応用物理学会学術講演会 冨川崇(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 山下一郎(奈良先端大)、 浦岡行治(奈良先端大)、 佐々木 実  Ni フェリチンを用いたSi 薄膜振動子の高効率化 2013年03月
2012 The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science 安松大輔(マイクロメカトロニクス)、 松山弘樹(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 竹田圭吾(名古屋大学)、 海老塚昇(名古屋大学)、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  Transportable micro-plasma VUV light source system 2013年02月02日
2012 The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science 島根竜太郎(マイクロメカトロニクス)、 浅野博敬(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  Local micro-plasma irradiation using MEMS nozzles 2013年02月02日
2012 第30回プラズマプロセシング研究会 SPP-30 島根竜太郎(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 太田貴之(名城大学)、 伊藤昌文(名城大学)、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  MEMSノズルを利用した大気圧プラズマ照射によるマイクロ加工 2013年01月23日
2012 5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 佐藤龍仁(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  MEMS plasma VUV light source 2013年01月
2012 5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 安松大輔(マイクロメカトロニクス)、 松山弘樹(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 竹田圭吾(名古屋大学)、 海老塚昇(名古屋大学)、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  VUV emission from transportable micro plasma light source system 2013年01月
2012 5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 熊谷慎也、 山本太一(マイクロメカトロニクス)、 佐々木 実  3D wiring of vertically etched photo cell islands high voltage generation 2013年01月
2012 第4回集積化MEMS シンポジウム クンドゥ スブラタ クマル、 疋田晃義(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  ドラム型マイクロミラーの平面度評価 2012年10月24日
2012 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 山本太一(マイクロメカトロニクス)、 久保裕慎(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  垂直壁を利用して直列接続したマイクロ光電池アレイ 2012年10月23日
2012 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 長谷川聡(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  マイクロ振動子を利用した非接触電圧測定 2012年10月23日
2012 第73回応用物理学会学術講演会 松山弘樹(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 竹田圭吾(名古屋大学)、 海老塚昇(名古屋大学)、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  可搬マイクロプラズマ光源システム 2012年09月13日
2012 日本機械学会2012年度年次大会 島根竜太郎(マイクロメカトロニクス)、 浅野博敬(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  MEMSノズルを利用したマイクロプラズマ照射 2012年09月11日
2011 ISPlasma2012 Yun KyYoul、 Keisuke Fujisaki、 Minoru Sasaki  3-Dimensional Electromagnetic Field Calculation of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil 2012年03月06日
2010 第58回応用物理学関係連合講演会 熊谷慎也、 疋田晃義(マイクロメカトロニクス)、 岩本拓也(マイクロメカトロニクス)、 佐々木 実  UVキュアによるレジスト硬化を利用した多段階立体構造のエッチング加工 2011年03月25日
2010 第58回応用物理学関係連合講演会 桝野雄矢(マイクロメカトロニクス)、 澤田貴裕(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  傍熱型波長選択プラズモニック赤外光源 2011年03月25日
2010 第58回応用物理学関係連合講演会 熊谷慎也、 福田直也(マイクロメカトロニクス)、 田嶋久義(マイクロメカトロニクス)、 佐々木 実  3次元立体構造上にスプレー塗布されるレジスト膜厚の均一化 2011年03月24日
2010 第58回応用物理学関係連合講演会 浅野博敬(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  スパイラルコイル型マイクロICPに導入した浮遊電極による点火特性 2011年03月24日
2010 日本機械学会 東海支部 第60期 総会・講演会 小川翔平(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  マイクロミラー用薄膜トーションバーの精密計測とハードスプリング効果に関する考察 2011年03月14日
2010 日本機械学会 東海学生会 第42回学生員卒業研究発表講演会 澤田貴裕(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  赤外吸収式ガスセンサのための小型・省電力波長選択光源 2011年03月13日
2010 The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies kumagai shinya、 Miyachi Shusuke(マイクロメカトロニクス)、 Yamashita Ichiro(奈良先端科学技術大学院大学)、 Uraoka Yukiharu(奈良先端科学技術大学院大学)、 Minoru Sasaki  Increasing tensile stress in poly-Si film structure by metal-induced lateral crystallization using ferritin supramolecules with Ni nanoparticles 2010年12月15日
2010 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 佐々木 実、 田嶋久義(マイクロメカトロニクス)、 福田直也(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也(マイクロメカトロニクス)  スプレーコーティングの気流解析と膜厚分布均一化 2010年10月14日
2010 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム Minoru Sasaki、 Hironori Kubo(マイクロメカトロニクス)、 Shinya Kumagai(マイクロメカトロニクス)  Absorbent liquid immersion angled exposure for patterning 3D samples with vertical side walls 2010年10月14日
2010 2010 International Conference of Solid State Devices and Materials Masuno Katsuya(マイクロメカトロニクス)、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki  Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Downsizing Sensor Module 2010年09月24日
2010 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials Matsuyama Hiroki(マイクロメカトロニクス)、 kumagai shinya、 Hori Masaru(名古屋大学)、 Minoru Sasaki  Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Light Source 2010年09月24日
2010 第71回秋季 応用物理学会学術講演会 熊谷慎也、 松山弘樹(マイクロメカトロニクス)、 堀勝(名古屋大学)、 佐々木 実  MEMS化に適した大気圧プラズマ光源 2010年09月14日
2010 日本機械学会 2010年度年次大会 熊谷慎也、 宮地修輔(マイクロメカトロニクス)、 山下一郎(奈良先端科学技術大学院大学)、 浦岡行治(奈良先端科学技術大学院大学)、 佐々木 実  MEMS 用Si 薄膜材料の内部応力増強に向けた 2010年09月08日
2010 日本機械学会 2010年度 年次大会 福田直也(マイクロメカトロニクス)、 田嶋久義(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  レジストのスプレー成膜におけるアパーチャの効 2010年09月07日
2010 日本機械学会 2010年度年次大会 浅野博敬(マイクロメカトロニクス)、 熊谷慎也、 佐々木 実  高輝度大気圧マイクロプラズマ 2010年09月07日

プロフィール

学位 博士(工学)  
生年月日 年齢
所属研究室 マイクロメカトロニクス
研究分野 立体部品への微細加工(三次元フォトリソグラフィ)、MEMS
URL http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
最終学歴 名古屋大学 大学院工学研究科博士課程
職歴 豊田工業大学 教授 (2007年04月~現在)
東北大学大学院工学研究科 助教授 (2001年11月~2007年03月)
東北大学大学院工学研究科  講師 (2000年07月~2001年10月)
東北大学工学部 助手 (1996年01月~2000年07月)
日本学術振興会 特別研究員(PD) (1995年04月~1995年12月)
主な研究論文 ・佐々木実, 弓削英翔, 鈴木大瑛「フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成 ― テクスチャリング用レリーフの一括形成 ―」日本塑性加工学会論文誌「塑性と加工」Vol. 60, No.702, pp.195-202 (2019-7)
・T.-T.-N. Nguyen, M. Sasaki, H. Odaka, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Hori, “Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass,J. Appl. Phys. Vol. 125, pp. 063304(2019)
・Hiroki Ishihara, Katsuya Masuno, Makoto Ishii, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, “Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for CO2 Gas Sensing, Materials,10 (9), No. 1085, pp. 2017
・和田祐樹,延永尚記,熊谷慎也,石原裕己,石居真,佐々木実, “MEMS 振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化,電気学会論文誌E Vol. 137, No. 8, pp. 239-244 (2017)
・Makie Terazawa, Momoko Karita, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, “Respiratory Motion Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin in Daily Activities, Micromachines Vol. 9, pp. 543(2018)
学会活動 ・2018 Program Committee of Solid State Devices and Materials, Area 7 Organic / Molecular / Bio-electronics
・2018 Guest Editor, MDPI Micromachines, Special Issue on "Advanced MEMS/NEMS Technology"
・2018年4月~ 電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム(MSS)技術委員会 委員長
・2013 General Chair of IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
・2010年5月~2013年4月(社)電気学会 スマートグリッド特別研究グループ E部門委員
・2009~2010年度 JSTイノベーションプラザ東海「マイクロシステム応用研究会」座長
社会活動(研究に関する学会活動以外) 文部科学省 ナノテクノロジープラットフォーム 平成24-33年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム 実施責任者
日本機械学会 東海支部「小中学生のためのハイテクイベント」2011.8.2 への出展参加 
学内運営(委員会活動等) ナノテクノロジープラットフォーム運営部会 議長 2012- 
担当授業科目 学部:機械振動学、特別講義(台湾中興大学とweb接続)、機構学、工学実験 
修士:微小機械学aおよびb、機械力学 
教育実践上の主な業績 1 教育内容・方法の工夫(授業評価等を含む)

機械振動学(2017-2019年度)
2014年度から立ち上げた機械振動学の授業を改善してきた。中間テストは解答を詳細に説明して、後半の学びに支障が生じ難いように配慮した。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。

工学実験(2017-2019年度)
「連続体の振動」を担当した。機械振動学の内容と接続を高め、理解し易くした。

機構学(2019年度から)
新しく授業担当となった。前任者が使っていた教科書を見て、学生の興味を出させること、教科書で理解を促進させること、を目指して教科書を変更した。歯車機構までを(例年と同じ範囲)授業でカバーできた。

特別講義(エネルギー関係)(2017-2019年度)
特別講義2回分(台湾 中興大と共同web配信)の授業内容を更新し、レポート課題を毎回新しくした。

機械力学特論(2017-2019年度)
前半は英語テキストを使い、後半は日本語テキストとMatlabを利用した。各人の計算機を利用してFEM解析の基礎を学ぶ。少しずつ後半の内容を充実させた。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。

微小機械学 aおよびb(2017-2019年度)
微小機械学の授業内容を更新した。2017年度からaとbの各々1単位科目に分け、クオーター制に対応した。

創造性開発セミナー(2017-2019年度)
創造性開発セミナーを進める学生に、付き添う形でコメント等をした。

マイクロメカトロニクスセミナー(2017-2019年度)
修士学生(ダブルディグリー学生を含む)の研究テーマに合わせて、基礎となる学術部分の学習を行った。


2 作成した教科書、教材、参考書

機械振動学(2017-2019年度)
Moodleに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

工学実験(2017-2019年度)
「連続体の振動」実験テキストを推敲した。高校レベルからの前提となる基礎を復習して実験に臨むことで位置付けを明確にした。南棟への引越しに伴う設備調整を行った。振動を引き起こす力の強いアクチュエータを見つけて、振動振幅を大きくし、学生に見易くする改良を行った。

機構学(2019年度)
Moodleに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。

特別講義(エネルギー関係)(2017-2019年度)
学生に配布する講義資料を推敲した。

機械力学特論(2017-2019年度)
Moodleに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

微小機械学 aおよびb(2017-2019年度)
学生に配布する講義資料を推敲した。Moodleに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。


3 教育方法・教育実践に関する発表、講演等

該当なし


4 その他教育活動上特記すべき事項

社会人向け実習・講習会(有料、例年9月開催、定員約40名満員)(2017-2019年度)
熱電対デバイスの試作テーマを立ち上げ、毎年少しずつ内容とテキストを改善した。「MEMSセンサと製作プロセス -車載・人検出センサ-」のテーマにて講演を行う。関係教員が減ったため、講演だけでなく実習でも電子ビーム蒸着の担当をこなした(2019年度は名古屋大学の支援員の協力を受けた。実習のための事前指導を行った。)。2018と2019年度はトヨタ自動車から1名の参加者。

社会人向け MEMS集中講義(会場費の収入有、2018/8/2-4)受講者 約70名(2018年度)
東北大学の江刺教授が、例年行っている集中講義を、2018年は本学で開催した。3日間の集中講義の中で、佐々木は1コマ(1.5時間「豊田工大と、その施設およびMEMS研究紹介」)の授業を担当した。

ナノテクPF学生研修(有料)(2018年度)
上記の、社会人向け実習・講習会に、一緒に参加する形で、群馬大学と大島商船高等専門学校の学生1名ずつを学生研修として受け入れた(希望は毎年募集している)。後の9/28に、東大で発表会があったさいに、挨拶等を行うことも担当した。

企業向け個別講習会(有料、2018/9/14のデンソー向け個別講習)(2018年度)
(株)デンソーむけに、MEMS関連テーマの講演を企業研修として実施した。日程の制限から、上記の一般向け実習・講習会と同時に実施。

社会人向け実習・講習会(有料、2018年度は2/27-28と、3/20と、3/26-27の3回、2019年度は3/4-5の1回)(2018、2019年度)
マスクレスリソグラフィによる小規模講習会を行った。試作サンプルのCADデザインを工夫することで、撥水パターンの領域をほぼウェハ全面に用意できるように改良した。また、利用する撥水剤の薬品を、新しいものを試して使った。毎回、受講者の要望を汲取って、実習内容を改善している。

ナノテクPFのナノ・マイクロ加工実践セミナー実習コース(無料、2020年の2/27, 3/3, コロナ対策で実験キット送付の3回)(2019年度)
バイオ応用向けマイクロ流路試作に本学が対応できるようにするため、小規模講習会を行った。企業から2名、他大学教員1名が参加。

オープンキャンパスでの授業と実験(7/14)(2018年度)
オープンキャンパスの中で「小さなセンサが拓く世界」の授業を行った。加速度センサの簡単な実験を合わせて実施した。

高校生向け授業と実験 2018は8/1と8/27、2019は7/23と10/19(2018、2019年度)
2015年度に「加速度センサ」実験テーマを立ち上げたが、これを大幅改良した。以前は、市販の加速度センサを電気配線して利用する内容で、高校生向け実験としては長時間の用意とコストがかかった。これを、スマートフォンに内蔵されているものでできるようにした。スマートフォンはハードオフ店で売っている中古品なら1台4000円程度で入手でき、フリーWifiを使って通信契約しなくてもアプリがインストールできる方法を見い出した。高校生にとって、より馴染み易いテーマに変更することができた。

ナノテクPF関係の高校生向け実験 3/7(2018年度)
大阪の清風南海高校が、体験実験をしに来校するのをアレンジした。後の報告書作成でもアドバイスした。

1年生むけアカデミックアドバイザー(2018年度)
1年生Jグループのアカデミックアドバイザーを担当した

ナノテクPF技術支援員(新人)の技術指導(2018-2019年度)
2018年7月で完全退職した梶原氏を一部でも補うため、技術支援員のアルバイト雇用を6/21から開始した。週2-3日ながら、毎回の仕事内容を設定した。特に、ナノテクの代表である電子ビーム描画装置の操作を習得してもらい、名古屋大学向け支援に対応できるようにした。その後も、マスクレス露光装置や金属エッチングにて技能を高めている。

台湾中興大からのダブルディグリー学生の指導(2018年度)
ダブルディグリー学生1名を指導した。当該学生は帰国後、台湾の大学で博士課程に進学した。

サマーセミナーでのベトナム学生1名を受け入れ(2019年度)
「振動計測(微小振動子の応用を目指して)」のテーマで、実験と考察を指導した。

他大学 博士学生3名の学位論文の副査担当(2017年度)
博士学生(名古屋大学の機械系1名と電気系1名、シンガポール南洋理工大学(Nanyang Technological University)1名)学位論文の副査を担当した。

ナノテクPF微細加工のシンポジウムにて「曲面・立体への3次元フォトリソグラフィ微細加工」を発表し技術紹介。(2020年3月6日)

応用物理学会春季学術講演会における、半導体Bからの分科企画シンポジウム世話人代表(2017, 2018, 2019年度)
シンポジウムタイトル「生産現場での活用が進むIoTデバイス技術(2020.3.12)」は新型コロナ感染症拡大防止で予稿集配布で発表扱い、「IoTの発展を支える集積化システム (2019. 3. 10)」、「特別シンポジウム 集積化MEMSの発展と展望(2018.3.18)」では自身も発表。

電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム(MSS)技術委員会 委員長(2018年度から)
年4回程度開催する研究会の実行委員メンバーとして参画。特に、2020.7.6-7のE部門総合研究会では実行委員長を担う。 
その他

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