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教授 佐々木 実(Minoru Sasaki / ササキ ミノル)

業績

年度 書名 著者・編著者 発行日
2018 Micro and Nano Fabrication Technology Minoru Sasaki 2018年06月30日
2012 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 佐々木 実 2012年11月01日
2011 アクチュエータ研究開発の最前線 佐々木 実 2011年08月08日
2010 “Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs” Minoru Sasaki 2010年01月
2009 マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 佐々木 実、 他 2009年10月30日
2009 MEMS/NEMS工学全集 佐々木 実、 他 2009年04月22日
2009 Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs 佐々木 実、 他
2009 Service Robotics and Mechatronics Takuro Aonuma、 kumagai shinya、 Minoru Sasaki、 Motoki Tabata、 Kazuhiro Hane
2008 微細転写・加工技術全集 佐々木 実、 他 2008年08月29日
2008 次世代センサハンドブック 佐々木 実、 他 2008年07月08日
2007 講座ちょっとMEMS 第7回 アセンブリを支援するMEMS構造(エレクトロニクス実装学会誌 第11巻第2号) 佐々木 実、 羽根一博(東北大学) 2008年02月
2007 国際会議報告IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2007 佐々木 実 2008年01月
2007 講座ちょっとMEMS 第6回 MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(エレクトロニクス実装学会誌 第11巻第1号) 佐々木 実、 羽根一博(東北大学) 2008年01月
2007 Comprehensive Microsystems : Fundamentals,technology and applications Kazuhiro Hane、 佐々木 実 2007年12月
2007 MEMSマテリアルの最新技術 佐々木 実 2007年11月

プロフィール

学位 博士(工学)  
生年月日 年齢
所属研究室 マイクロメカトロニクス
研究分野 立体部品への微細加工(三次元フォトリソグラフィ)、MEMS
URL http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
最終学歴 名古屋大学 大学院工学研究科博士課程
職歴 豊田工業大学 教授 (2007年04月~現在)
東北大学大学院工学研究科 助教授 (2001年11月~2007年03月)
東北大学大学院工学研究科  講師 (2000年07月~2001年10月)
東北大学工学部 助手 (1996年01月~2000年07月)
日本学術振興会 特別研究員(PD) (1995年04月~1995年12月)
主な研究論文 ・佐々木実, 弓削英翔, 鈴木大瑛「フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成 ― テクスチャリング用レリーフの一括形成 ―」日本塑性加工学会論文誌「塑性と加工」Vol. 60, No.702, pp.195-202 (2019-7)
・T.-T.-N. Nguyen, M. Sasaki, H. Odaka, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Hori, “Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass,J. Appl. Phys. Vol. 125, pp. 063304(2019)
・Hiroki Ishihara, Katsuya Masuno, Makoto Ishii, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, “Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for CO2 Gas Sensing, Materials,10 (9), No. 1085, pp. 2017
・和田祐樹,延永尚記,熊谷慎也,石原裕己,石居真,佐々木実, “MEMS 振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化,電気学会論文誌E Vol. 137, No. 8, pp. 239-244 (2017)
・Makie Terazawa, Momoko Karita, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, “Respiratory Motion Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin in Daily Activities, Micromachines Vol. 9, pp. 543(2018)
学会活動 ・2018 Program Committee of Solid State Devices and Materials, Area 7 Organic / Molecular / Bio-electronics
・2018 Guest Editor, MDPI Micromachines, Special Issue on "Advanced MEMS/NEMS Technology"
・2018年4月~ 電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム(MSS)技術委員会 委員長
・2013 General Chair of IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
・2010年5月~2013年4月(社)電気学会 スマートグリッド特別研究グループ E部門委員
・2009~2010年度 JSTイノベーションプラザ東海「マイクロシステム応用研究会」座長
社会活動(研究に関する学会活動以外) 文部科学省 ナノテクノロジープラットフォーム 平成24-33年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム 実施責任者
日本機械学会 東海支部「小中学生のためのハイテクイベント」2011.8.2 への出展参加 
学内運営(委員会活動等) ナノテクノロジープラットフォーム運営部会 議長 2012- 
担当授業科目 学部:機械振動学、特別講義(台湾中興大学とweb接続)、機構学、工学実験 
修士:微小機械学aおよびb、機械力学 
教育実践上の主な業績 1 教育内容・方法の工夫(授業評価等を含む)

機械振動学(2017-2019年度)
2014年度から立ち上げた機械振動学の授業を改善してきた。中間テストは解答を詳細に説明して、後半の学びに支障が生じ難いように配慮した。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。

工学実験(2017-2019年度)
「連続体の振動」を担当した。機械振動学の内容と接続を高め、理解し易くした。

機構学(2019年度から)
新しく授業担当となった。前任者が使っていた教科書を見て、学生の興味を出させること、教科書で理解を促進させること、を目指して教科書を変更した。歯車機構までを(例年と同じ範囲)授業でカバーできた。

特別講義(エネルギー関係)(2017-2019年度)
特別講義2回分(台湾 中興大と共同web配信)の授業内容を更新し、レポート課題を毎回新しくした。

機械力学特論(2017-2019年度)
前半は英語テキストを使い、後半は日本語テキストとMatlabを利用した。各人の計算機を利用してFEM解析の基礎を学ぶ。少しずつ後半の内容を充実させた。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。

微小機械学 aおよびb(2017-2019年度)
微小機械学の授業内容を更新した。2017年度からaとbの各々1単位科目に分け、クオーター制に対応した。

創造性開発セミナー(2017-2019年度)
創造性開発セミナーを進める学生に、付き添う形でコメント等をした。

マイクロメカトロニクスセミナー(2017-2019年度)
修士学生(ダブルディグリー学生を含む)の研究テーマに合わせて、基礎となる学術部分の学習を行った。


2 作成した教科書、教材、参考書

機械振動学(2017-2019年度)
Moodleに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

工学実験(2017-2019年度)
「連続体の振動」実験テキストを推敲した。高校レベルからの前提となる基礎を復習して実験に臨むことで位置付けを明確にした。南棟への引越しに伴う設備調整を行った。振動を引き起こす力の強いアクチュエータを見つけて、振動振幅を大きくし、学生に見易くする改良を行った。

機構学(2019年度)
Moodleに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。

特別講義(エネルギー関係)(2017-2019年度)
学生に配布する講義資料を推敲した。

機械力学特論(2017-2019年度)
Moodleに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

微小機械学 aおよびb(2017-2019年度)
学生に配布する講義資料を推敲した。Moodleに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。


3 教育方法・教育実践に関する発表、講演等

該当なし


4 その他教育活動上特記すべき事項

社会人向け実習・講習会(有料、例年9月開催、定員約40名満員)(2017-2019年度)
熱電対デバイスの試作テーマを立ち上げ、毎年少しずつ内容とテキストを改善した。「MEMSセンサと製作プロセス -車載・人検出センサ-」のテーマにて講演を行う。関係教員が減ったため、講演だけでなく実習でも電子ビーム蒸着の担当をこなした(2019年度は名古屋大学の支援員の協力を受けた。実習のための事前指導を行った。)。2018と2019年度はトヨタ自動車から1名の参加者。

社会人向け MEMS集中講義(会場費の収入有、2018/8/2-4)受講者 約70名(2018年度)
東北大学の江刺教授が、例年行っている集中講義を、2018年は本学で開催した。3日間の集中講義の中で、佐々木は1コマ(1.5時間「豊田工大と、その施設およびMEMS研究紹介」)の授業を担当した。

ナノテクPF学生研修(有料)(2018年度)
上記の、社会人向け実習・講習会に、一緒に参加する形で、群馬大学と大島商船高等専門学校の学生1名ずつを学生研修として受け入れた(希望は毎年募集している)。後の9/28に、東大で発表会があったさいに、挨拶等を行うことも担当した。

企業向け個別講習会(有料、2018/9/14のデンソー向け個別講習)(2018年度)
(株)デンソーむけに、MEMS関連テーマの講演を企業研修として実施した。日程の制限から、上記の一般向け実習・講習会と同時に実施。

社会人向け実習・講習会(有料、2018年度は2/27-28と、3/20と、3/26-27の3回、2019年度は3/4-5の1回)(2018、2019年度)
マスクレスリソグラフィによる小規模講習会を行った。試作サンプルのCADデザインを工夫することで、撥水パターンの領域をほぼウェハ全面に用意できるように改良した。また、利用する撥水剤の薬品を、新しいものを試して使った。毎回、受講者の要望を汲取って、実習内容を改善している。

ナノテクPFのナノ・マイクロ加工実践セミナー実習コース(無料、2020年の2/27, 3/3, コロナ対策で実験キット送付の3回)(2019年度)
バイオ応用向けマイクロ流路試作に本学が対応できるようにするため、小規模講習会を行った。企業から2名、他大学教員1名が参加。

オープンキャンパスでの授業と実験(7/14)(2018年度)
オープンキャンパスの中で「小さなセンサが拓く世界」の授業を行った。加速度センサの簡単な実験を合わせて実施した。

高校生向け授業と実験 2018は8/1と8/27、2019は7/23と10/19(2018、2019年度)
2015年度に「加速度センサ」実験テーマを立ち上げたが、これを大幅改良した。以前は、市販の加速度センサを電気配線して利用する内容で、高校生向け実験としては長時間の用意とコストがかかった。これを、スマートフォンに内蔵されているものでできるようにした。スマートフォンはハードオフ店で売っている中古品なら1台4000円程度で入手でき、フリーWifiを使って通信契約しなくてもアプリがインストールできる方法を見い出した。高校生にとって、より馴染み易いテーマに変更することができた。

ナノテクPF関係の高校生向け実験 3/7(2018年度)
大阪の清風南海高校が、体験実験をしに来校するのをアレンジした。後の報告書作成でもアドバイスした。

1年生むけアカデミックアドバイザー(2018年度)
1年生Jグループのアカデミックアドバイザーを担当した

ナノテクPF技術支援員(新人)の技術指導(2018-2019年度)
2018年7月で完全退職した梶原氏を一部でも補うため、技術支援員のアルバイト雇用を6/21から開始した。週2-3日ながら、毎回の仕事内容を設定した。特に、ナノテクの代表である電子ビーム描画装置の操作を習得してもらい、名古屋大学向け支援に対応できるようにした。その後も、マスクレス露光装置や金属エッチングにて技能を高めている。

台湾中興大からのダブルディグリー学生の指導(2018年度)
ダブルディグリー学生1名を指導した。当該学生は帰国後、台湾の大学で博士課程に進学した。

サマーセミナーでのベトナム学生1名を受け入れ(2019年度)
「振動計測(微小振動子の応用を目指して)」のテーマで、実験と考察を指導した。

他大学 博士学生3名の学位論文の副査担当(2017年度)
博士学生(名古屋大学の機械系1名と電気系1名、シンガポール南洋理工大学(Nanyang Technological University)1名)学位論文の副査を担当した。

ナノテクPF微細加工のシンポジウムにて「曲面・立体への3次元フォトリソグラフィ微細加工」を発表し技術紹介。(2020年3月6日)

応用物理学会春季学術講演会における、半導体Bからの分科企画シンポジウム世話人代表(2017, 2018, 2019年度)
シンポジウムタイトル「生産現場での活用が進むIoTデバイス技術(2020.3.12)」は新型コロナ感染症拡大防止で予稿集配布で発表扱い、「IoTの発展を支える集積化システム (2019. 3. 10)」、「特別シンポジウム 集積化MEMSの発展と展望(2018.3.18)」では自身も発表。

電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム(MSS)技術委員会 委員長(2018年度から)
年4回程度開催する研究会の実行委員メンバーとして参画。特に、2020.7.6-7のE部門総合研究会では実行委員長を担う。 
その他

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