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機械システム分野
研究室名
マイクロメカトロニクス研究室
研究室スタッフ
佐々木 実（教授）
ハン ガン（ＰＤ研究員）
研究室概略
機能性構造の加工やマイクロ機械に関する研究
研究室紹介
最近の機械に求められる性能は、快適（情報）、 安全、躁境性能に関連したものが少なくない。これらの実現には、部品表面に機能性の微細構造を加えたり、センサによる各種の状態検出が重要となる。車を例にすれば、搭乗者や室内環境の測定、車体が受ける慣性力測定などである。構造と材料両方の工夫を活用できるMEMS 技術によって、新しい付加価値創出に取り組む。
主な研究テーマ
・生産性を伴う3次元フォトリソグラフィ
・マイクロプラズマ応用
・振動型センサ
・波長選択赤外光源など光MEMSデバイス
研究室HP
http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
個別研究テーマ
テーマ
研究者
フォトリソグラフィによる立体加工技術[大学間連携等による共同研究](Photolithography on three-dimensional samples)
佐々木 実
マイクロセンサとマイクロアクチュエータ(Micro-sensors and micro-actuators)
佐々木 実
MEMS応用プラズマ技術[大学間連携等による共同研究](Plasma-techniques for MEMS applications)
佐々木 実
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