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研究室情報

機械システム分野

研究室名 マイクロメカトロニクス研究室   
研究室スタッフ 佐々木 実(教授) ハン ガン(PD研究員) 
研究室概略 機能性構造の加工やマイクロ機械に関する研究
研究室紹介 最近の機械に求められる性能は、快適(情報)、 安全、躁境性能に関連したものが少なくない。これらの実現には、部品表面に機能性の微細構造を加えたり、センサによる各種の状態検出が重要となる。車を例にすれば、搭乗者や室内環境の測定、車体が受ける慣性力測定などである。構造と材料両方の工夫を活用できるMEMS 技術によって、新しい付加価値創出に取り組む。
主な研究テーマ ・生産性を伴う3次元フォトリソグラフィ
・マイクロプラズマ応用
・振動型センサ
・波長選択赤外光源など光MEMSデバイス
研究室HP http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
個別研究テーマ
テーマ 研究者
フォトリソグラフィによる立体加工技術[大学間連携等による共同研究](Photolithography on three-dimensional samples) 佐々木 実
マイクロセンサとマイクロアクチュエータ(Micro-sensors and micro-actuators) 佐々木 実
MEMS応用プラズマ技術[大学間連携等による共同研究](Plasma-techniques for MEMS applications) 佐々木 実

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