| 研究室概略 |
半導体微細加工を応用して創る、小さくて高機能な電気機械に関する研究 |
| 研究室紹介 |
安全やエネルギー効率を高める 機能性構造の加工とセンサデバイスの研究
微細加工技術を駆使して、機能性構造やデバイスを創る。ロボットなど、人と機械が肉薄する未来を見据えて、安全やエネルギー効率を高めることにデバイス面から取り組んでいる。また機械部品を含む立体サンプルへのフォトリソグラフィ加工、MEMSセンサ・アクチュエータ、マイクロプラズマなどの研究も行っている。 |
| 主な研究テーマ |
・立体サンプルへの３次元フォトリソグラフィ
・MEMS応用プラズマ技術
・マイクロセンサとマイクロアクチュエータ |
| 研究室HP |
http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm |
| 個別研究テーマ |
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