学会発表

半導体
招聘研究員 林 豊

掲載年度 2018
種類 国外
学会名 28th Workshop on Crystalline Silicon Solar Cells & Modules: Materials and Processes
発表題目 ITO reactive plasma deposition damage analysis by C-V and QSSPC measurement
発表者 Yuki Isogai, Takefumi Kamioka*
Yutaka Hayashi
Yoshio Ohshita
主催団体 NREL
発表場所 Winter Park Mountain Lodge, Colorado, USA
発表日 2018/08/14
講演内容