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表面科学
教授 吉村雅満

掲載年度

2019

個別研究テーマ
(日本語)

カーボン材料のナノ加工に関する研究 (Nanofabrication of nano carbon materials)

個別研究テーマ
(英語)

研究者 吉村雅満
研究概要

グラフェンは炭素の一原子層であり,電気的,熱的,機械的に優れた性質をもつ。但し、単層グラフェンはゼロギャップ半導体であるため、ギャップを持たせるにはナノリボン化などの加工が必要となる。現在、二つの方法を試みている。一つは、化学気相成長法により大面積のグラフェンを合成し、カーボンナノチューブをマスクにしてナノリボン化を行っている。オゾンによりエッチングを試みた結果、ナノチューブが配置された場所以外ではすべてのグラフェンがエッチングにより消滅した。その後、カーボンナノチューブをプローブ顕微鏡探針を用いて分子操作により除去し、ナノリボン形成を確認した。もう一つの方法は、金属ナノ粒子を高温で反応させることにより、グラファイト上に欠陥を導入する方法であり、実験条件により直線状のエッチング痕ができることを見出した。

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