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材料プロセス
教授 奥宮正洋

掲載年度

2019

個別研究テーマ
(日本語)

粉末活性化バレル法を用いたアルミニウム表面窒化における窒化層厚さと窒素濃度が窒化層純度に及ぼす影響(Effect of nitride layer thickness and nitrogen concentration on aluminum surface nitridation by powder activated barrel method on nitride layer purity)

個別研究テーマ
(英語)

研究者 奥宮正洋
南部紘一郎
佐用一貴(修士2年)
研究概要

本方法で形成させた窒化アルミニウム層の純度を向上させ,熱伝導性の良好な絶縁皮膜の形成を試みた.バレル槽に投入する活性化粉末にAl-Mg粉末を用いると改質層のAlNの純度が向上した.ただし,窒化層の純度が向上すると基材との熱膨張係数の差が大きくなるため,窒化後の冷却中に改質層が剥離する問題が生じた.これについては,冷却速度を小さくして,拡散時間を設けることにより改質層の剥離を防止することに成功した.また、マスキングにより堆積層の形成を防止し、窒化後の表面粗さを改善した。

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