個別研究テーマ編集

マイクロメカトロニクス
教授 佐々木 実

掲載年度

2019

個別研究テーマ
(日本語)

MEMS応用プラズマ技術(Plasma-techniques for MEMS applications)[大学間連携等による共同研究]

個別研究テーマ
(英語)

研究者 佐々木 実
研究概要

大気圧プラズマの特徴と、MEMS微細加工の技術を生かし、微小なマイクロプラズマ光源を実現する。例えば、5Wで点灯する誘導結合型プラズマ(ICP)の真空紫外光源、細胞のような小さなサンプルをトラップするインターフェース機能付きプラズマ源を実現した。真空封止したガスチャンバにて、電力を加えるだけで大気圧プラズマを点灯できることも確認した。

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