個別研究テーマ編集

マイクロメカトロニクス
教授 佐々木 実

掲載年度

2019

個別研究テーマ
(日本語)

マイクロセンサとマイクロアクチュエータ(Micro-sensors and micro-actuators)

個別研究テーマ
(英語)

研究者 佐々木 実
研究概要

微細加工を応用して新しい、マイクロセンサやマイクロアクチュエータを創る。例えば、~10Vの低電圧で動作する静電駆動型マイクロミラーが実現できる。原理的工夫は、マイクロミラーを数100nm厚の薄い紐状ねじれバネで支えることでバネ定数を小さくしたことである。但し、静電引力がミラーの上下変位ではなく回転運動を生じるように、紐をピンと張って上下方向には硬く、回転には柔らかさを保つようにした。アモルファスから結晶化したポリシリコン膜を利用し、大きな張力と温度安定性を実現した。また、静電アクチュエータの性質を利用して、高電圧バッテリの出力を測定する絶縁型電圧センサ、人の皮膚の性質を利用したウェアラブル型の呼吸センサの研究を手掛けている。

close

ページのトップへ戻る