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研究室情報

機械システム分野

研究室名 マイクロメカトロニクス   
研究室スタッフ 佐々木 実(教授) ハン ガン(PD研究員) 
研究室概略 半導体微細加工を応用して創る、小さくて高機能な電気機械に関する研究
研究室紹介 安全やエネルギー効率を高める 機能性構造の加工とセンサデバイスの研究
 微細加工技術を駆使して、機能性構造やデバイスを創る。ロボットなど、人と機械が肉薄する未来を見据えて、安全やエネルギー効率を高めることにデバイス面から取り組んでいる。また機械部品を含む立体サンプルへのフォトリソグラフィ加工、MEMSセンサ・アクチュエータ、マイクロプラズマなどの研究も行っている。
主な研究テーマ ・立体サンプルへの3次元フォトリソグラフィ
・MEMS応用プラズマ技術
・マイクロセンサとマイクロアクチュエータ
研究室HP http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
個別研究テーマ
テーマ 研究者
フォトリソグラフィによる立体加工技術(Photolithography on three-dimensional samples)[大学間連携等による共同研究] 佐々木 実
マイクロセンサとマイクロアクチュエータ(Micro-sensors and micro-actuators) 佐々木 実
MEMS応用プラズマ技術(Plasma-techniques for MEMS applications)[大学間連携等による共同研究] 佐々木 実

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